- English
- Español
- Português
- русский
- Français
- 日本語
- Deutsch
- tiếng Việt
- Italiano
- Nederlands
- ภาษาไทย
- Polski
- 한국어
- Svenska
- magyar
- Malay
- বাংলা ভাষার
- Dansk
- Suomi
- हिन्दी
- Pilipino
- Türkçe
- Gaeilge
- العربية
- Indonesia
- Norsk
- تمل
- český
- ελληνικά
- український
- Javanese
- فارسی
- தமிழ்
- తెలుగు
- नेपाली
- Burmese
- български
- ລາວ
- Latine
- Қазақша
- Euskal
- Azərbaycan
- Slovenský jazyk
- Македонски
- Lietuvos
- Eesti Keel
- Română
- Slovenski
- मराठी
- Srpski језик
Kina Tantalcarbid belægning producent, leverandør, fabrik
VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiproces. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.
De vigtigste produkter erTantalcarbid-belægningsdefektorring, TaC-belagt afledningsring, TaC-belagte halvmånedele, Tantalcarbide-belagt planetrotationsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringe; TaC belagt porøs grafit; Tantalkarbidbelægning grafitsusceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalcarbid belagt plade; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC belægningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunkosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.
TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:
Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystalvækstproces.
Nøglefunktioner:
Temperaturstabilitet
Ultra høj renhed
Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si
Modstandsdygtighed over for termisk materiale
Stærk vedhæftning til grafit
Konform belægningsdækning
Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)
Ansøgninger:
Wafer bærer
Induktiv varmemodtager
Resistivt varmeelement
Satellit disk
Brusehoved
Styrering
LED Epi modtager
Indsprøjtningsdyse
Maskeringsring
Varmeskjold
Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:
Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:
| Fysiske egenskaber ved TaC-belægning | |
| Tæthed | 14,3 (g/cm³) |
| Specifik emissionsevne | 0.3 |
| Termisk udvidelseskoefficient | 6,3 10-6/K |
| Hårdhed (HK) | 2000 HK |
| Modstand | 1×10-5Ohm*cm |
| Termisk stabilitet | <2500℃ |
| Grafitstørrelsen ændres | -10~-20um |
| Belægningstykkelse | ≥20um typisk værdi (35um±10um) |
TaC coating EDX data：
TaC coating krystal struktur data
| Element | Atomprocent | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Gennemsnit | |
| C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
- View as
TaC Coating Rotationsplade
VeTek Semiconductor's TaC Coating Rotation Plate kan prale af en enestående TaC-belægning, Med sin enestående TaC-belægning har TaC Coating Rotation Plate bemærkelsesværdig højtemperaturresistens og kemisk inerthed, som adskiller den fra traditionelle løsninger. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgsel
TaC belægningsplade
VeTek Semiconductors TaC Coating Plate er et bemærkelsesværdigt produkt, der tilbyder exceptionelle funktioner og fordele. Designet med præcision og konstrueret til perfektion, vores TaC Coating Plade er specielt skræddersyet til forskellige anvendelser i siliciumcarbid (SiC) enkeltkrystal vækstprocesser. TaC Coating Pladens præcise dimensioner og robuste konstruktion gør det nemt at integrere i eksisterende systemer, hvilket sikrer sømløs kompatibilitet og effektiv drift. Dens pålidelige ydeevne og højkvalitetsbelægning bidrager til ensartede og ensartede resultater i SiC krystalvækst applikationer. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgsel
CVD TaC Coating Cover
CVD TaC belægningsdæksel leveret af VeTek Semiconductor er en højt specialiseret komponent designet specielt til krævende applikationer. Med sine avancerede funktioner og enestående ydeevne tilbyder vores CVD TaC belægningsdæksel adskillige vigtige fordele. Vores CVD TaC belægningsdæksel giver den nødvendige beskyttelse og ydeevne, der kræves for succes. Vi ser frem til at udforske potentielle samarbejder med dig!
Læs mereSend forespørgsel
TaC Coating Planetarisk Susceptor
VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor er et exceptionelt produkt til Aixtron-epitaxiudstyr. Den robuste TaC-belægning giver fremragende modstandsdygtighed over for høje temperaturer og kemisk inertitet. Denne unikke kombination sikrer pålidelig ydeevne og lang levetid, selv i krævende miljøer. VeTek er forpligtet til at levere produkter af høj kvalitet og fungere som en langsigtet partner på det kinesiske marked med konkurrencedygtige priser.
Læs mereSend forespørgsel
TaC Coating piedestal støtteplade
VeTek Semiconductors TaC Coating Piedestal Support Plate er et højpræcisionsprodukt designet til at opfylde de specifikke krav til halvlederepitaksiprocesser. Med sin TaC-belægning, modstandsdygtighed over for høje temperaturer og kemiske inertitet giver vores produkt dig mulighed for at producere EPI-lag af høj kvalitet med høj kvalitet. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgsel
TaC Coating Chuck
VeTek Semiconductors TaC Coating Chuck har en TaC-belægning af høj kvalitet, kendt for sin enestående højtemperaturresistens og kemiske inerthed, især i siliciumcarbid (SiC) epitaksi (EPI) processer. Med sine enestående egenskaber og overlegne ydeevne tilbyder vores TaC Coating Chuck flere vigtige fordele. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgsel
Som en professionel Tantalcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Tantalcarbid belægning fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.
