Kina Siliciumnitrid producent, leverandør, fabrik

VeTek Semiconductor fokuserer på fremstilling af siliciumnitrid og har et forsknings- og udviklingsteam bestående af senioreksperter og top tekniske talenter. Siliciumnitridkeramik har fordelene ved hårdhed, varmebestandighed, slidstyrke og korrosionsbestandighed af generelle keramiske materialer og har fordelene ved god termisk stødmodstand, højtemperaturkrybemodstand, god selvsmøring og god kemisk stabilitet og er bredt bruges inden for ny energi, kemisk industri, rumfart og halvlederområder.

Siliciumnitridmaterialerne fra VeTek Semiconductor har følgende fremtrædende fordele:

1. Fremragende kemisk stabilitet

Siliciumnitridkeramik har fremragende kemisk stabilitet og kan modstå en række stærke syrer, baser og ætsende gasser. I halvlederfremstillingsprocessen er det ofte nødvendigt at håndtere ætsende kemikalier, siliciumnitridkeramik kan give langsigtet stabil ydeevnegaranti.

2. Fremragende mekaniske egenskaber

Siliciumnitridkeramik har høj hårdhed, fremragende trykstyrke og slidstyrke, i stand til at modstå mekanisk belastning og overfladeslid, ikke let at deformere eller briste. Denne mekaniske egenskab gør den meget velegnet som materiale til struktur- og procesdele i halvlederudstyr.

3. Høj temperatur stabilitet

Siliciumnitridkeramik kan opretholde stabilitet i højtemperaturmiljøer, ikke let at blødgøre eller smelte og kan modstå højtemperaturbehandling og håndtering i halvlederfremstillingsprocessen. Dette gør det muligt at bruge det til fremstilling af nøglekomponenter til højtemperatur-procesudstyr, såsom gribere, reaktionskammerkomponenter og så videre.

4. Fremragende isoleringsegenskaber

Isolerende egenskaber er kritiske ved fremstilling af halvlederenheder. Siliciumnitridkeramik har gode isolerende egenskaber, som effektivt kan isolere og beskytte kredsløbskomponenter mod strømlækage eller elektromagnetisk interferens, hvilket hjælper med at forbedre enhedens stabilitet og pålidelighed.

5. Termisk ledningsevne og termisk ledningsevne

Siliciumnitridkeramik har en høj termisk ledningsevne, kan effektivt lede og sprede den varme, der genereres af enheden, hvilket hjælper med at opretholde enhedens temperaturstabilitet i driftsprocessen. Dette er afgørende for højtydende drift af halvlederenheder.

Anvendelserne af VeTek Semiconductors siliciumnitridmaterialer i sol- og halvlederindustrien omfatter hovedsageligt:

1. Elektrostatiske patroner og ætsekammerkomponenter

Siliciumnitridkeramik bruges ofte som materialer til elektrostatiske patroner og ætsekammerkomponenter i halvlederfremstilling på grund af deres fremragende kemiske stabilitet og høje temperaturbestandighed. Elektrostatiske patroner bruges til at fiksere og stabilisere wafers eller substrater, mens ætsekammerkomponenter bruges til at modstå korrosive gasser og høje temperaturer.

2. gasfordelingsplader og reflektorer

Siliciumnitridkeramik bruges også til fremstilling af halvlederudstyr i gasfordelingsplader og reflektorer. Gasfordelingsplader bruges til ensartet fordeling af reaktive eller beskyttende gasser ind i reaktionskammeret, mens reflektorer bruges til at optimere fordelingen og reflektionen af ​​lys i reaktionskammeret for at forbedre reaktionseffektiviteten og ensartetheden.

3. Holdere og termiske komponenter

Siliciumnitridkeramik bruges ofte som holdere og termiske styringskomponenter i halvlederfremstillingsudstyr. Disse komponenter skal have god mekanisk styrke, slidstyrke og termisk ledningsevne for at sikre stabil udstyrsdrift og enhedsbehandlingsnøjagtighed.

4. Kemisk mekanisk polering (CMP) puder

Siliciumnitridkeramik er meget brugt som pudemateriale i den kemiske mekaniske polering (CMP)-processen. Den har fremragende fladhed og slidstyrke og kan give stabil støtte under poleringsprocessen for at sikre fladheden og præcisionen af ​​halvlederwaferoverfladen.