Kina Siliciumcarbid belægning producent, leverandør, fabrik

VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.

Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.

Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.

Reaktordele vi kan lave:

Siliciumcarbidbelægning flere unikke fordele:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom	Typisk værdi
Krystal struktur	FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
Tæthed	3,21 g/cm³
Hårdhed	2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Kornstørrelse	2~10μm
Kemisk renhed	99,99995 %
Varmekapacitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Bøjestyrke	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
Termisk ledningsevne	300W·m-1·K-1
Termisk ekspansion (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

Siliciumcarbid wafer Chuck

Som en førende producent og leverandør af Silicon Carbide Wafer Chuck-produkter i Kina, spiller VeTek Semiconductor's Silicon Carbide Wafer Chuck en uerstattelig rolle i den epitaksiale vækstproces med sin fremragende højtemperaturbestandighed, kemiske korrosionsbestandighed og termisk stødbestandighed. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

Siliciumcarbid brusehoved

VeTek Semiconductor er en førende producent og leverandør af Silicon Carbide Shower Head-produkter i Kina. SiC brusehoved har fremragende højtemperaturtolerance, kemisk stabilitet, termisk ledningsevne og god gasfordelingsydelse, som kan opnå ensartet gasfordeling og forbedre filmkvaliteten. Derfor bruges det normalt i højtemperaturprocesser såsom kemisk dampaflejring (CVD) eller fysisk dampaflejring (PVD) processer. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

Siliciumcarbid tætningsring

Som en professionel siliciumcarbid tætningsring produktproducent og fabrik i Kina, er VeTek Semiconductor Silicon Carbide tætningsring meget udbredt i halvlederbehandlingsudstyr på grund af dets fremragende varmebestandighed, korrosionsbestandighed, mekanisk styrke og termisk ledningsevne. Det er især velegnet til processer, der involverer højtemperatur- og reaktive gasser såsom CVD, PVD og plasmaætsning, og er et nøglematerialevalg i halvlederfremstillingsprocessen. Dine yderligere henvendelser er velkomne.

Læs mere Send forespørgsel

SiC coated Wafer Holder

VeTek Semiconductor er en professionel producent og leder af SiC-belagte waferholderprodukter i Kina. SiC-belagt waferholder er en waferholder til epitaksiprocessen i halvlederbehandling. Det er en uerstattelig enhed, der stabiliserer waferen og sikrer en ensartet vækst af det epitaksiale lag. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

Epi wafer holder

VeTek Semiconductor er en professionel Epi Wafer Holder-producent og fabrik i Kina. Epi Wafer Holder er en waferholder til epitaksiprocessen i halvlederbehandling. Det er et nøgleværktøj til at stabilisere waferen og sikre ensartet vækst af det epitaksiale lag. Det er meget udbredt i epitaksiudstyr som MOCVD og LPCVD. Det er en uerstattelig enhed i epitaksiprocessen. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

Aixtron satellit wafer bærer

Som en professionel Aixtron Satellite Wafer Carrier-produktproducent og innovator i Kina, er VeTek Semiconductors Aixtron Satellite Wafer Carrier en wafer-bærer, der bruges i AIXTRON-udstyr, hovedsageligt brugt i MOCVD-processer i halvlederbehandling, og er særligt velegnet til høj temperatur og høj præcision halvlederbehandlingsprocesser. Bæreren kan give stabil waferunderstøttelse og ensartet filmaflejring under MOCVD epitaksial vækst, hvilket er essentielt for lagaflejringsprocessen. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

<1 2 3 4 5...12 >

Som en professionel Siliciumcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Siliciumcarbid belægning fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.