VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.
Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.
Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.
Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.
Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning | |
Ejendom | Typisk værdi |
Krystal struktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret |
Tæthed | 3,21 g/cm³ |
Hårdhed | 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kemisk renhed | 99,99995 % |
Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTeK Semiconductor producerer SiC Coating grafit MOCVD varmelegeme, som er en nøglekomponent i MOCVD processen. Baseret på et højrent grafitsubstrat er overfladen belagt med en højrent SiC-belægning for at give fremragende højtemperaturstabilitet og korrosionsbestandighed. Med høj kvalitet og meget tilpassede produktservices er VeTeK Semiconductors SiC Coating grafit MOCVD varmelegeme et ideelt valg til at sikre MOCVD processtabilitet og tynd film aflejringskvalitet. VeTeK Semiconductor ser frem til at blive din partner.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende producent og leverandør af SiC-belægningsprodukter i Kina. VeTek Semiconductors SiC-belagte Epi-susceptor har branchens højeste kvalitetsniveau, er velegnet til flere typer epitaksiale vækstovne og leverer meget tilpassede produkttjenester. VeTek Semiconductor ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSiC belægning Monokrystallinsk silicium epitaksial bakke er et vigtigt tilbehør til monokrystallinsk silicium epitaksial vækstovn, hvilket sikrer minimal forurening og stabilt epitaksial vækstmiljø. VeTek Semiconductors SiC-belægning Monokrystallinsk silicium-epitaksialbakke har en ultralang levetid og giver en række tilpasningsmuligheder. VeTek Semiconductor ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductors solide SiC-waferbærer er designet til højtemperatur- og korrosionsbestandige miljøer i halvlederepitaksiale processer og er velegnet til alle typer waferfremstillingsprocesser med høje renhedskrav. VeTek Semiconductor er en førende wafer-bærerleverandør i Kina og ser frem til at blive din langsigtede partner i halvlederindustrien.
Læs mereSend forespørgselSom en førende producent og leverandør af SiC-belagt satellitafdækning til MOCVD-produkter i Kina, har Vetek Semiconductor SiC-belagt satellitafdækning til MOCVD-produkter ekstrem høj temperaturbestandighed, fremragende oxidationsbestandighed og fremragende korrosionsbestandighed, hvilket spiller en uerstattelig rolle i at sikre højkvalitets epitaksial vækst på oblater. Velkommen til dine yderligere forespørgsler.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende producent af halvlederudstyr i Kina og en professionel producent og leverandør af Solid SiC Disc-formet brusehoved. Vores skiveformede brusehoved bruges i vid udstrækning til produktion af tynd filmaflejring såsom CVD-proces for at sikre ensartet fordeling af reaktionsgas og er en af kernekomponenterne i CVD-ovnen.
Læs mereSend forespørgsel