VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.
Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.
Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.
Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.
Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning | |
Ejendom | Typisk værdi |
Krystal struktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret |
Tæthed | 3,21 g/cm³ |
Hårdhed | 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kemisk renhed | 99,99995 % |
Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor er en førende producent og innovatør af solidt SiC-gasbrusehoved i Kina. Vi har været specialiseret i halvledermateriale i mange år.VeTek Semiconductor Solid SiC-gasbrusehoveds design med flere porøsitet sikrer, at den varme, der genereres i CVD-processen, kan spredes , der sikrer, at underlaget opvarmes jævnt. Vi ser frem til at etablere langsigtet med dig i Kina.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende kemisk dampaflejringsproces, solid SiC kantringproducent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i halvledermateriale i mange år.VeTek Semiconductor solid SiC kantring tilbyder forbedret ætsningsensartethed og præcis waferpositionering, når den bruges med en elektrostatisk spændepatron , hvilket sikrer ensartede og pålidelige ætsningsresultater. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende Solid SiC Etching Focusing Ring-producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC-materiale i mange år. Solid SiC er valgt som et fokusringsmateriale på grund af dets fremragende termokemiske stabilitet, høje mekaniske styrke og modstandsdygtighed over for plasma erosion.Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgsel