VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.
Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.
Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.
Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.
Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning | |
Ejendom | Typisk værdi |
Krystal struktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret |
Tæthed | 3,21 g/cm³ |
Hårdhed | 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kemisk renhed | 99,99995 % |
Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor er en professionel producent og leverandør, dedikeret til at levere højkvalitets siliciumbaseret GaN Epitaxial Susceptor. Susceptor-halvlederen bruges i VEECO K465i GaN MOCVD-system, høj renhed, høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, velkommen til at forespørge og samarbejde med os!
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende 8 tommer halvmånedel til LPE-reaktorproducent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC-belægningsmateriale i mange år.Vi tilbyder en 8-tommers halvmånedel til LPE-reaktor designet specifikt til LPE SiC-epitaksireaktor. Denne halvmånedel er en alsidig og effektiv løsning til halvlederfremstilling med dens optimale størrelse, kompatibilitet og høje produktivitet. Vi byder dig velkommen til at besøge vores fabrik i Kina.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende SiC Coated Pancake Susceptor til LPE PE3061S 6'' wafers producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC coating materiale i mange år. Vi tilbyder en SiC coated pandekage susceptor designet specifikt til LPE PE3061S 6" wafers . Denne epitaksiale susceptor har høj korrosionsbestandighed, god varmeledningsevne, god ensartethed. Vi byder dig velkommen til at besøge vores fabrik i Kina.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende SiC Coated Support til LPE PE2061S producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC coating materiale i mange år. Vi tilbyder en SiC Coated Support til LPE PE2061S designet specifikt til LPE silicium epitaksereaktorer. Denne SiC Coated Support til LPE PE2061S er bunden af tønde susceptor. Den kan modstå 1600 grader Celsius høj temperatur, forlænge produktets levetid af grafit reservedel. Velkommen til at sende os forespørgsel.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende SiC-belagt topplade til LPE PE2061S-producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC-belægningsmateriale i mange år.Vi tilbyder en SiC-belagt topplade til LPE PE2061S designet specifikt til LPE-siliciumepitaksireaktorer. Denne SiC-belagte topplade til LPE PE2061S er toppen sammen med tøndesusceptor. Denne CVD SiC-belagte plade har høj renhed, fremragende termisk stabilitet og ensartethed, hvilket gør den velegnet til dyrkning af epitaksiale lag af høj kvalitet. Vi byder dig velkommen til at besøge vores fabrik i Kina.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende SiC Coated Barrel Susceptor til LPE PE2061S producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC coating materiale i mange år. Vi tilbyder en SiC coated barrel susceptor designet specifikt til LPE PE2061S 4'' wafere. Denne susceptor har en holdbar siliciumcarbidbelægning, der forbedrer ydeevnen og holdbarheden under LPE-processen (Liquid Phase Epitaxy). Vi byder dig velkommen til at besøge vores fabrik i Kina.
Læs mereSend forespørgsel