Hjem > Produkter > Siliciumcarbid belægning

Kina Siliciumcarbid belægning producent, leverandør, fabrik

VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.

Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.

Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.


Reaktordele vi kan lave:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Siliciumcarbidbelægning flere unikke fordele:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom Typisk værdi
Krystal struktur FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
Tæthed 3,21 g/cm³
Hårdhed 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Kornstørrelse 2~10μm
Kemisk renhed 99,99995 %
Varmekapacitet 640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Bøjestyrke 415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
Termisk ledningsevne 300W·m-1·K-1
Termisk ekspansion (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Øvre Halfmoon Del SiC Coated

Øvre Halfmoon Del SiC Coated

VeTek Semiconductor er en førende leverandør af tilpasset Upper Halfmoon Part SiC coated i Kina, med speciale i avancerede materialer i over 20 år. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC coated er specielt designet til SiC epitaksialt udstyr, der tjener som en afgørende komponent i reaktionskammeret. Den er fremstillet af ultraren grafit i halvlederkvalitet og sikrer fremragende ydeevne. Vi inviterer dig til at besøge vores fabrik i Kina.

Læs mereSend forespørgsel
Siliciumcarbid Epitaxy Wafer Carrier

Siliciumcarbid Epitaxy Wafer Carrier

VeTek Semiconductor er en førende tilpasset Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier-leverandør i Kina. Vi har været specialiseret i avanceret materiale i mere end 20 år. Vi tilbyder en Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier til at bære SiC-substrat, voksende SiC-epitaksilag i SiC-epitaksialreaktor. Denne Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier er en vigtig SiC-belagt del af halvmånedelen, højtemperaturbestandighed, oxidationsmodstand, slidstyrke. Vi byder dig velkommen til at besøge vores fabrik i Kina.

Læs mereSend forespørgsel
SiC belagt MOCVD Susceptor

SiC belagt MOCVD Susceptor

VeTek Semiconductors SiC Coated MOCVD Susceptor er en enhed med fremragende proces, holdbarhed og pålidelighed. De kan modstå høje temperaturer og kemiske miljøer, opretholde stabil ydeevne og lang levetid, og derved reducere hyppigheden af ​​udskiftning og vedligeholdelse og forbedre produktionseffektiviteten. Vores MOCVD Epitaxial Susceptor er kendt for sin høje tæthed, fremragende fladhed og fremragende termiske kontrol, hvilket gør den til det foretrukne udstyr i barske produktionsmiljøer. Ser frem til at samarbejde med dig.

Læs mereSend forespørgsel
SiC Coated ICP Etching Carrier

SiC Coated ICP Etching Carrier

VeTek Semiconductors SiC Coated ICP Etching Carrier er designet til de mest krævende epitaksiudstyrsapplikationer. Lavet af højkvalitets ultrarent grafitmateriale, vores SiC Coated ICP Etching Carrier har en meget flad overflade og fremragende korrosionsbestandighed til at modstå de barske forhold under håndtering. Den høje termiske ledningsevne af den SiC-belagte bærer sikrer en jævn varmefordeling for fremragende ætseresultater. VeTek Semiconductor ser frem til at bygge et langsigtet partnerskab med dig.

Læs mereSend forespørgsel
PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor

PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor

VeTek Semiconductors PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor er en højkvalitets, ultraren grafitbærer designet til waferhåndteringsprocesser. Vores bærere har fremragende ydeevne og kan fungere godt i barske miljøer, høje temperaturer og barske kemiske rengøringsforhold. Vores produkter er meget udbredt på mange europæiske og amerikanske markeder, og vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mereSend forespørgsel
Hurtig termisk udglødningssusceptor

Hurtig termisk udglødningssusceptor

VeTek Semiconductor er en førende Rapid Thermal Annealing Susceptor producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC belægningsmateriale i mange år.Vi tilbyder Rapid Thermal Annealing Susceptor med høj kvalitet, høj temperatur modstand, super tynd.Vi byder dig velkommen til at besøge vores fabrik i Kina.

Læs mereSend forespørgsel
Som en professionel Siliciumcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Siliciumcarbid belægning fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept