VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.
Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.
Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.
Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.
Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning | |
Ejendom | Typisk værdi |
Krystal struktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret |
Tæthed | 3,21 g/cm³ |
Hårdhed | 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kemisk renhed | 99,99995 % |
Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor fokuserer på forskning og udvikling og industrialisering af CVD-SiC-bulkkilder, CVD SiC-belægninger og CVD TaC-belægninger. Tager man CVD SiC-blok til SiC-krystalvækst som et eksempel, er produktbehandlingsteknologien avanceret, væksthastigheden er hurtig, højtemperaturbestandighed og korrosionsbestandighed er stærk. Velkommen til at spørge.
Læs mereSend forespørgselVetek Semiconductors siliciumcarbid (SiC) med ultrahøj renhed dannet ved kemisk dampaflejring (CVD) kan bruges som kildemateriale til dyrkning af siliciumcarbidkrystaller ved fysisk damptransport (PVT). I SiC Crystal Growth New Technology fyldes kildematerialet i en digel og sublimeres på en frøkrystal. Brug de kasserede CVD-SiC-blokke til at genbruge materialet som en kilde til dyrkning af SiC-krystaller. Velkommen til at etablere et partnerskab med os.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende CVD SiC brusehoved producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC materiale i mange år. CVD SiC brusehoved er valgt som et fokuseringsring materiale på grund af dets fremragende termokemiske stabilitet, høje mekaniske styrke og modstandsdygtighed over for plasmaerosion.Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende SiC-brusehovedproducent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC-materiale i mange år.SiC-brusehoved er valgt som et fokusringmateriale på grund af dets fremragende termokemiske stabilitet, høje mekaniske styrke og modstandsdygtighed over for plasmaerosion .Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor, en førende producent af CVD SiC-belægninger, tilbyder SiC Coating Set Disc i Aixtron MOCVD-reaktorer. Disse SiC Coating Set Disc er fremstillet af grafit med høj renhed og har en CVD SiC coating med urenheder under 5 ppm. Vi modtager gerne forespørgsler om dette produkt.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor, en velrenommeret CVD SiC-belægningsproducent, bringer dig det banebrydende SiC Coating Collector Center i Aixtron G5 MOCVD-system. Disse SiC Coating Collector Center er omhyggeligt designet med høj renhed grafit og kan prale af en avanceret CVD SiC coating, der sikrer høj temperatur stabilitet, korrosionsbestandighed, høj renhed. Ser frem til at samarbejde med dig!
Læs mereSend forespørgsel