Ovne til oxidation og diffusion bruges inden for forskellige områder, såsom halvlederenheder, diskrete enheder, optoelektroniske enheder, kraftelektroniske enheder, solceller og storstilet fremstilling af integrerede kredsløb. De bruges til processer, herunder diffusion, oxidation, udglødning, legering og sintring af wafers.
VeTek Semiconductor er en førende producent med speciale i produktion af højrent grafit, siliciumcarbid og kvarts komponenter i oxidations- og diffusionsovne. Vi er forpligtet til at levere højkvalitets ovnkomponenter til halvleder- og fotovoltaiske industrier og er på forkant med overfladebelægningsteknologi, såsom CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbon osv.
Høj temperatur modstand (op til 1600 ℃)
Fremragende varmeledningsevne og termisk stabilitet
God kemisk korrosionsbestandighed
Lav termisk udvidelseskoefficient
Høj styrke og hårdhed
Lang levetid
I oxidations- og diffusionsovne kræver mange komponenter på grund af tilstedeværelsen af høje temperaturer og korrosive gasser brug af højtemperatur- og korrosionsbestandige materialer, blandt hvilke siliciumcarbid (SiC) er et almindeligt anvendt valg. Følgende er almindelige siliciumcarbidkomponenter, der findes i oxidationsovne og diffusionsovne:
Wafer båd
Siliciumcarbid wafer boat er en beholder, der bruges til at bære silicium wafers, som kan modstå høje temperaturer og ikke vil reagere med silicium wafers.
Ovnrør
Ovnrøret er kernekomponenten i diffusionsovnen, der bruges til at rumme siliciumwafers og styre reaktionsmiljøet. Siliciumcarbid ovnrør har fremragende ydeevne ved høj temperatur og korrosionsbestandighed.
Baffelplade
Bruges til at regulere luftstrømmen og temperaturfordelingen inde i ovnen
Termoelement beskyttelsesrør
Anvendes til at beskytte temperaturmålende termoelementer mod direkte kontakt med ætsende gasser.
Cantilever pagaj
Siliciumcarbid udkragede skovle er modstandsdygtige over for høj temperatur og korrosion og bruges til at transportere siliciumbåde eller kvartsbåde, der bærer siliciumwafers ind i diffusionsovnsrørene.
Gasinjektor
Bruges til at indføre reaktionsgas i ovnen, den skal være modstandsdygtig over for høj temperatur og korrosion.
Bådtransportør
Siliciumcarbid wafer bådholder bruges til at fiksere og understøtte silicium wafers, som har fordele såsom høj styrke, korrosionsbestandighed og god strukturel stabilitet.
Ovndør
Siliciumcarbidbelægninger eller -komponenter kan også anvendes på indersiden af ovndøren.
Varmeelement
Siliciumcarbid varmeelementer er velegnede til høje temperaturer, høj effekt og kan hurtigt hæve temperaturer til over 1000 ℃.
SiC Liner
Brugt til at beskytte den indvendige væg af ovnrør, kan det hjælpe med at reducere tabet af varmeenergi og modstå barske miljøer såsom høj temperatur og højt tryk.
VeTek Semiconductor er en førende leverandør og producent af kvartsdigel i Kina. de kvartsdigler, vi producerer, bruges hovedsageligt i halvleder- og fotovoltaiske felter. De har egenskaberne renlighed og høj temperaturbestandighed. Og vores kvartsdigel til halvledere understøtter produktionsprocesserne for siliciumstangstrækning, lastning og losning af polysiliciumråmaterialer i halvledersiliciumwaferproduktionsprocessen og er vigtige forbrugsstoffer til siliciumwaferproduktion. VeTek Semiconductor ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSom en professionel Silicon Carbide wafer carrier leverandør i Kina er VeTek Semiconductor SiC wafer carrier et værktøj, der er specielt brugt til håndtering og behandling af halvleder wafers, som spiller en uerstattelig rolle i halvleder wafer processen. Velkommen til din videre konsultation.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor Silicon Piedestal er en nøglekomponent i halvlederdiffusions- og oxidationsprocesser. Som en dedikeret platform til at transportere siliciumbåde i højtemperaturovne har Silicon Piedestal mange unikke fordele, herunder forbedret temperaturensartethed, optimeret waferkvalitet og forbedret ydeevne af halvlederenheder. For mere produktinformation er du velkommen til at kontakte os.
Læs mereSend forespørgselSom en storstilet fabrik og leverandør af SiC Ceramic Seal Ring-produkter i Kina har VeTek Semiconductor SiC Ceramic Seal Ring en bred vifte af applikationer på det industrielle område på grund af sin fremragende varmeledningsevne, fremragende kemiske og korrosionsbestandighed og høje styrke og stivhed. Velkommen til dine yderligere forespørgsler.
Læs mereSend forespørgselSom en førende producent og leverandør af diffusionsovnsudstyr i Kina har VeTek Semiconductor SiC Diffusion Furnace Tube betydelig høj bøjningsstyrke, fremragende modstandsdygtighed over for oxidation, korrosionsbestandighed, høj slidstyrke og fremragende højtemperatur mekaniske egenskaber. Gør det til et uundværligt udstyrsmateriale i diffusionsovne. VeTek Semiconductor er forpligtet til at fremstille og levere højkvalitets SiC Diffusion Furnace Tube og hilser dine yderligere forespørgsler velkommen.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor tilbyder skræddersyet High renity SiC wafer bådholder. Den er lavet af siliciumcarbid med høj renhed og har slidser til at holde waferen på plads, hvilket forhindrer den i at glide under behandlingen. CVD SiC-belægning er også tilgængelig efter behov. Som en professionel og stærk halvlederproducent og leverandør er VeTek Semiconductors High purity SiC wafer bådholder priskonkurrencedygtig og høj kvalitet. VeTek Semiconductor ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgsel