> Produkter > Siliciumcarbid keramik

Nye produkter

Kina Siliciumcarbid keramik producent, leverandør, fabrik

VeTek Semiconductor er din innovative partner inden for halvlederbehandling. Med vores omfattende portefølje af materialekombinationer af siliciumcarbidkeramik i halvlederkvalitet, komponentfremstillingskapaciteter og applikationsingeniørtjenester kan vi hjælpe dig med at overvinde betydelige udfordringer. Teknisk teknisk siliciumcarbidkeramik anvendes i vid udstrækning i halvlederindustrien på grund af deres exceptionelle materialeydelse. VeTek Semiconductors ultrarene siliciumcarbidkeramik bruges ofte gennem hele cyklussen af halvlederfremstilling og -behandling.

DIFFUSION & LPCVD BEHANDLING

VeTek Semiconductor leverer konstruerede keramiske komponenter, der er specielt designet til batchdiffusion og LPCVD-krav, herunder:

• Bafler & holdere
• Injektorer
• Liners & procesrør
• Cantilever-padler af siliciumcarbid
• Waferbåde og piedestaler

SiC Cantilever-pagaj SiC procesrør Siliciumcarbid procesrør SiC lodret wafer båd SiC vandret wafer båd SiC horizontals firkantet wafer båd SiC LPCVD wafer båd SiC vandret pladebåd SiC rund wafer båd

ÆTSNINGSPROCESKOMPONENTER

Minimer kontaminering og uplanlagt vedligeholdelse med komponenter af høj renhed, der er udviklet til belastningen af plasmaætsningsbehandling, herunder:

Fokus ringe

Dyser

Skjolde

Brusehoveder

Vinduer / låg

Andre brugerdefinerede komponenter

HURTIG TERMISK BEHANDLING & EPITAXIAL PROCESKOMPONENTER

VeTek Semiconductor leverer avancerede materialekomponenter, der er skræddersyet til højtemperatur termisk behandlingsapplikationer i halvlederindustrien. Disse applikationer omfatter RTP, Epi-processer, diffusion, oxidation og annealing. Vores tekniske keramik er designet til at modstå termiske stød og leverer pålidelig og ensartet ydeevne. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvlederproducenter opnå effektiv termisk behandling af høj kvalitet, hvilket bidrager til den overordnede succes for halvlederproduktion.

• Diffusorer

• Isolatorer

• Susceptorer

• Andre brugerdefinerede termiske komponenter

Fysiske egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid
Ejendom	Typisk værdi
Arbejdstemperatur (°C)	1600°C (med ilt), 1700°C (reducerende miljø)
SiC / SiC indhold	> 99,96 %
Si / Gratis Si indhold	< 0,1 %
Bulkdensitet	2,60-2,70 g/cm3
Tilsyneladende porøsitet	< 16 %
Kompressionsstyrke	> 600 MPa
Koldbøjningsstyrke	80-90 MPa (20°C)
Varmbøjningsstyrke	90-100 MPa (1400°C)
Termisk ekspansion ved 1500°C	4,70 10-6/°C
Termisk ledningsevne @1200°C	23 W/m•K
Elastikmodul	240 GPa
Termisk stødmodstand	Yderst god

View as

High Purity SiC Cantilever-pagaj

VeTek Semiconductor er en førende producent og innovator af High Purity SiC Cantilever Paddle i Kina. High Purity SiC Cantilever Paddles bruges almindeligvis i halvlederdiffusionsovne som wafer-overførsels- eller ladeplatforme. VeTek Semiconductor er forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

Lodret søjle wafer båd & piedestal

Som en professionel Vertical Column Wafer Boat & Pedestal producent og leverandør i Kina er Vetek Semiconductor's Vertical Column Wafer Boat & Pedestal lavet af højrent kvarts eller silicium carbon keramiske (SiC) materialer, med fremragende høj temperaturbestandighed, kemisk stabilitet og mekanisk styrke , og er en uundværlig kernekomponent i halvlederfremstillingsprocessen. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

Sammenhængende wafer båd

Vetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat er et avanceret udstyr til halvlederbehandling. Produktstrukturen af Contiguous Wafer Boat er omhyggeligt designet til at sikre effektiv behandling og produktion af præcisionswafers. Vetek Semiconductor er forpligtet til at levere fremragende teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

Silicium på isoleringswafer

VeTek Semiconductor er en professionel kinesisk producent af Silicon On Insulator Wafer, ALD Planetary Base og TaC Coated Graphite Base. VeTek Semiconductors Silicon On Insulator Wafer er et vigtigt halvledersubstratmateriale, og dets fremragende produktegenskaber gør det til at spille en nøglerolle i højtydende, lav-effekt, højintegration og RF-applikationer. Vi ser frem til yderligere samarbejde med dig.

Læs mere Send forespørgsel

Horisontal SiC Wafer Carrier

VeTek Semiconductor er en professionel producent og leverandør af TaC-coated guidering, horisontal SiC wafer carrier og SiC-coated susceptorer i Kina. Vi er forpligtet til at levere perfekt teknisk support og ultimative produktløsninger til halvlederindustrien. Velkommen til at kontakte os.

Læs mere Send forespørgsel

SiC Wafer båd

VeTek Semiconductors SiC Wafer Boat er et meget højtydende produkt. Vores SiC Wafer Boat bruges normalt i halvlederoxidationsdiffusionsovne for at sikre, at temperaturen er jævnt fordelt på waferen og forbedre siliciumwaferens behandlingskvalitet. SiC-materialernes høje temperaturstabilitet og høje termiske ledningsevne sikrer effektiv og pålidelig halvlederbehandling. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

<1 2 3 >

Som en professionel Siliciumcarbid keramik producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Siliciumcarbid keramik fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.