> Produkter > Siliciumcarbid keramik

Nye produkter

Kina Siliciumcarbid keramik producent, leverandør, fabrik

VeTek Semiconductor er din innovative partner inden for halvlederbehandling. Med vores omfattende portefølje af materialekombinationer af siliciumcarbidkeramik i halvlederkvalitet, komponentfremstillingskapaciteter og applikationsingeniørtjenester kan vi hjælpe dig med at overvinde betydelige udfordringer. Teknisk teknisk siliciumcarbidkeramik anvendes i vid udstrækning i halvlederindustrien på grund af deres exceptionelle materialeydelse. VeTek Semiconductors ultrarene siliciumcarbidkeramik bruges ofte gennem hele cyklussen af halvlederfremstilling og -behandling.

DIFFUSION & LPCVD BEHANDLING

VeTek Semiconductor leverer konstruerede keramiske komponenter, der er specielt designet til batchdiffusion og LPCVD-krav, herunder:

• Bafler & holdere
• Injektorer
• Liners & procesrør
• Cantilever-padler af siliciumcarbid
• Waferbåde og piedestaler

SiC Cantilever-pagaj SiC procesrør Siliciumcarbid procesrør SiC lodret wafer båd SiC vandret wafer båd SiC horizontals firkantet wafer båd SiC LPCVD wafer båd SiC vandret pladebåd SiC rund wafer båd

ÆTSNINGSPROCESKOMPONENTER

Minimer kontaminering og uplanlagt vedligeholdelse med komponenter af høj renhed, der er udviklet til belastningen af plasmaætsningsbehandling, herunder:

Fokus ringe

Dyser

Skjolde

Brusehoveder

Vinduer / låg

Andre brugerdefinerede komponenter

HURTIG TERMISK BEHANDLING & EPITAXIAL PROCESKOMPONENTER

VeTek Semiconductor leverer avancerede materialekomponenter, der er skræddersyet til højtemperatur termisk behandlingsapplikationer i halvlederindustrien. Disse applikationer omfatter RTP, Epi-processer, diffusion, oxidation og annealing. Vores tekniske keramik er designet til at modstå termiske stød og leverer pålidelig og ensartet ydeevne. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvlederproducenter opnå effektiv termisk behandling af høj kvalitet, hvilket bidrager til den overordnede succes for halvlederproduktion.

• Diffusorer

• Isolatorer

• Susceptorer

• Andre brugerdefinerede termiske komponenter

Fysiske egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid
Ejendom	Typisk værdi
Arbejdstemperatur (°C)	1600°C (med ilt), 1700°C (reducerende miljø)
SiC / SiC indhold	> 99,96 %
Si / Gratis Si indhold	< 0,1 %
Bulkdensitet	2,60-2,70 g/cm3
Tilsyneladende porøsitet	< 16 %
Kompressionsstyrke	> 600 MPa
Koldbøjningsstyrke	80-90 MPa (20°C)
Varmbøjningsstyrke	90-100 MPa (1400°C)
Termisk ekspansion ved 1500°C	4,70 10-6/°C
Termisk ledningsevne @1200°C	23 W/m•K
Elastikmodul	240 GPa
Termisk stødmodstand	Yderst god

View as

SiC procesrør

VeTek Semiconductor leverer højtydende SiC-procesrør til halvlederfremstilling. Vores SiC-procesrør udmærker sig i oxidations- og diffusionsprocesser. Med overlegen kvalitet og håndværk tilbyder disse rør højtemperaturstabilitet og termisk ledningsevne til effektiv halvlederbehandling. Vi tilbyder konkurrencedygtige priser og søger at være din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

SiC Cantilever-pagaj

VeTek Semiconductors SiC Cantilever Paddle er et meget højtydende produkt. Vores SiC Cantilever Paddle bruges normalt i varmebehandlingsovne til håndtering og understøttelse af siliciumwafers, kemisk dampaflejring (CVD) og andre behandlingsprocesser i halvlederfremstillingsprocesser. SiC-materialets høje temperaturstabilitet og høje termiske ledningsevne sikrer høj effektivitet og pålidelighed i halvlederbehandlingsprocessen. Vi er forpligtet til at levere produkter af høj kvalitet til konkurrencedygtige priser og ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

Siliciumcarbid waferbåd til vandret ovn

VeTek Semiconductor er en professionel producent og leverandør i Kina for siliciumcarbid wafer båd til horisontal ovn, med mange års erfaring i R&D og produktion, kan kontrollere kvaliteten godt og tilbyde en konkurrencedygtig pris. Du kan være sikker på at købe siliciumcarbid waferbåden til horisontal ovn hos os.

Læs mere Send forespørgsel

SiC Coated Silicium Carbide Wafer Boat

VeTek Semiconductor er professionel producent og leverandør i Kina til SiC-belagt siliciumcarbid wafer-båd, med mange års erfaring inden for R&D og produktion, kan kontrollere kvaliteten godt og tilbyde en konkurrencedygtig pris. Velkommen til at besøge vores fabrik og have yderligere diskussion om samarbejde.

Læs mere Send forespørgsel

Siliciumcarbid Cantilever-pagaj

VeTek Semiconductors Silicon Carbide Cantilever Paddle er en vigtig komponent i halvlederfremstillingsprocessen, især velegnet til diffusionsovne eller LPCVD-ovne i højtemperaturprocesser som diffusion og RTP. Vores siliciumcarbid Cantilever Paddle er omhyggeligt designet og fremstillet med fremragende højtemperaturmodstand og mekanisk styrke, og kan sikkert og pålideligt transportere wafere til procesrøret under barske procesforhold til forskellige højtemperaturprocesser såsom diffusion og RTP. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

High Pure Silicium Carbide Wafer Carrier

VeTek Semiconductor High Pure Silicium Carbide Wafer Carrier er vigtige komponenter i halvlederbehandling, designet til sikkert at holde og transportere sarte siliciumwafers, der spiller en nøglerolle i alle stadier af fremstillingen. VeTek Semiconductors High Pure Silicium Carbide Wafer Carrier er omhyggeligt designet og fremstillet for at sikre fremragende ydeevne og pålidelighed. VeTek Semiconductor er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, og vi ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

<1 2 3 >

Som en professionel Siliciumcarbid keramik producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Siliciumcarbid keramik fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.