Solid SiC skiveformet brusehoved

Rollen af ​​Solid SiC Disc-formet brusehoved i CVD-processen er at fordele reaktionsgassen jævnt over aflejringsområdet, så gassen kan fordeles jævnt gennem reaktoren for at opnå en flad og ensartet film.

Solid SiC-brusehovedet er placeret i toppen af ​​CVD-ovnen eller nær gasindtaget. Reaktionsgassen kommer ind i den skiveformede struktur gennem hullerne fordelt på brusehovedet og diffunderer rundt langs brusehovedets overflade. Gennem flerkanalsdesignet og jævnt fordelte udløb kan reaktionsgassen strømme jævnt til hele reaktorområdet, undgå koncentration eller turbulens og sikre konsistensen af ​​lagtykkelsen aflejret på substratet.

Samtidig har strukturen af ​​halvlederskiveformede brusehoved også en diffusionseffekt, som effektivt kan reducere gassens strømningshastighed, så den kan spredes jævnt ved dyseudløbet og reducere påvirkningen af ​​lokal gas flowændringer på aflejringseffekten. Det hjælper med at undgå direkte gaspåvirkning på underlaget og forhindrer problemet med ujævn aflejring.

Fra et materialeperspektiv er Solid SiC Gas Shower Head lavet af højtemperaturbestandigt, korrosionsbestandigt og højstyrke Solid SiC-materiale med meget høj stabilitet. Det kan arbejde stabilt i lang tid i CVD-ovnen og har en lang levetid.

VeTek Semiconductorleverer skræddersyede tjenester af høj kvalitet. Formen og hullayoutet af det Solid SiC skiveformede brusehoved kan justeres fleksibelt i henhold til kundens proceskrav for at tilpasse sig forskellige gastyper, strømningshastigheder og aflejringsmaterialer. Til forskellige størrelser af reaktorer eller substratstørrelser kan skiveformede brusehoveder med forskellige diametre og hulfordelinger tilpasses for at optimere gasfordelingseffekten.

VeTek Semiconductorhar modne processer og avancerede teknologier til Solid SiC Semiconductor Shower Head-produkter, der hjælper et stort antal kunder med at opnå kontinuerlige fremskridt i CVD-processer. VeTek Semiconductor ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Fysiske egenskaber af fast SiC

VeTek SemiconductorSolid SiC skiveformet brusehoved produktionsbutikker