Kina Solid siliciumcarbid producent, leverandør, fabrik

VeTek Semiconductor Solid Silicium Carbide er en vigtig keramisk komponent i plasmaætsningsudstyr, fast siliciumcarbid (CVD siliciumcarbid) dele i ætseudstyret omfatterfokusringe, gasbrusehoved, bakke, kantringe osv. På grund af den lave reaktivitet og ledningsevne af fast siliciumcarbid (CVD siliciumcarbid) til klor- og fluorholdige ætsegasser, er det et ideelt materiale til plasmaætsningsudstyr, der fokuserer ringe og andre komponenter.

For eksempel er fokusringen en vigtig del placeret uden for waferen og i direkte kontakt med waferen, ved at påføre en spænding til ringen for at fokusere plasmaet, der passerer gennem ringen, og derved fokusere plasmaet på waferen for at forbedre ensartetheden af forarbejdning. Den traditionelle fokusring er lavet af silicium elkvarts, ledende silicium som et almindeligt fokusringmateriale, det er næsten tæt på ledningsevnen af siliciumwafers, men manglen er dårlig ætsningsmodstand i fluorholdigt plasma, ætsemaskinedele materialer, der ofte bruges i en periode, vil der være alvorlige korrosionsfænomen, hvilket alvorligt reducerer dets produktionseffektivitet.

Solid SiC Focus RingArbejdsprincip：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Sammenligning af Si-baseret fokusring og CVD SiC-fokusring:

Sammenligning af Si-baseret fokusring og CVD SiC fokusring
Punkt	Og	CVD SiC
Massefylde (g/cm³)	2.33	3.21
Båndgab (eV)	1.12	2.3
Termisk ledningsevne (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Elastikmodul (GPa)	150	440
Hårdhed (GPa)	11.4	24.5
Modstandsdygtighed over for slid og korrosion	Dårlig	Fremragende

VeTek Semiconductor tilbyder avancerede solid siliciumcarbid (CVD siliciumcarbid) dele som SiC fokusringe til halvlederudstyr. Vores fokusringe af massivt siliciumcarbid overgår traditionelt silicium med hensyn til mekanisk styrke, kemisk resistens, termisk ledningsevne, holdbarhed ved høje temperaturer og modstand mod ionætsning.

Nøglefunktioner i vores SiC-fokusringe inkluderer:

Høj densitet for reducerede ætsningshastigheder.

Fremragende isolering med et højt båndgab.

Høj varmeledningsevne og lav varmeudvidelseskoefficient.

Overlegen mekanisk slagfasthed og elasticitet.

Høj hårdhed, slidstyrke og korrosionsbestandighed.

Fremstillet vhaplasma-forstærket kemisk dampaflejring (PECVD)teknikker opfylder vores SiC-fokuseringsringe de stigende krav til ætsningsprocesser i halvlederfremstilling. De er designet til at modstå højere plasmaeffekt og energi, specielt ikapacitivt koblet plasma (CCP)systemer.

VeTek Semiconductors SiC-fokusringe giver enestående ydeevne og pålidelighed ved fremstilling af halvlederenheder. Vælg vores SiC-komponenter for overlegen kvalitet og effektivitet.

View as

Solid SiC wafer-bærer

VeTek Semiconductors solide SiC-waferbærer er designet til højtemperatur- og korrosionsbestandige miljøer i halvlederepitaksiale processer og er velegnet til alle typer waferfremstillingsprocesser med høje renhedskrav. VeTek Semiconductor er en førende wafer-bærerleverandør i Kina og ser frem til at blive din langsigtede partner i halvlederindustrien.

Læs mere Send forespørgsel

Solid SiC skiveformet brusehoved

VeTek Semiconductor er en førende producent af halvlederudstyr i Kina og en professionel producent og leverandør af Solid SiC Disc-formet brusehoved. Vores skiveformede brusehoved bruges i vid udstrækning til produktion af tynd filmaflejring såsom CVD-proces for at sikre ensartet fordeling af reaktionsgas og er en af kernekomponenterne i CVD-ovnen.

Læs mere Send forespørgsel

SiC Tætningsdel

Som en avanceret SiC-forseglingsdel-produktproducent og fabrik i Kina. VeTek Semiconducto SiC Sealing Part er en højtydende tætningskomponent, der er meget udbredt i halvlederbehandling og andre ekstreme høje temperaturer og højtryksprocesser. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

Siliciumcarbid brusehoved

VeTek Semiconductor er en førende producent og leverandør af Silicon Carbide Shower Head-produkter i Kina. SiC brusehoved har fremragende højtemperaturtolerance, kemisk stabilitet, termisk ledningsevne og god gasfordelingsydelse, som kan opnå ensartet gasfordeling og forbedre filmkvaliteten. Derfor bruges det normalt i højtemperaturprocesser såsom kemisk dampaflejring (CVD) eller fysisk dampaflejring (PVD) processer. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

Siliciumcarbid tætningsring

Som en professionel siliciumcarbid tætningsring produktproducent og fabrik i Kina, er VeTek Semiconductor Silicon Carbide tætningsring meget udbredt i halvlederbehandlingsudstyr på grund af dets fremragende varmebestandighed, korrosionsbestandighed, mekanisk styrke og termisk ledningsevne. Det er især velegnet til processer, der involverer højtemperatur- og reaktive gasser såsom CVD, PVD og plasmaætsning, og er et nøglematerialevalg i halvlederfremstillingsprocessen. Dine yderligere henvendelser er velkomne.

Læs mere Send forespørgsel

CVD SiC-blok til SiC-krystalvækst

VeTek Semiconductor fokuserer på forskning og udvikling og industrialisering af CVD-SiC-bulkkilder, CVD SiC-belægninger og CVD TaC-belægninger. Tager man CVD SiC-blok til SiC-krystalvækst som et eksempel, er produktbehandlingsteknologien avanceret, væksthastigheden er hurtig, højtemperaturbestandighed og korrosionsbestandighed er stærk. Velkommen til at spørge.

Læs mere Send forespørgsel

<1 2 >

Som en professionel Solid siliciumcarbid producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Solid siliciumcarbid fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.