> Produkter > Tantalcarbid belægning

Nye produkter

Kina Tantalcarbid belægning producent, leverandør, fabrik

VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiprocessen. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.

De vigtigste produkter erTantalcarbid-belægningsdefektorring, TaC-belagt afledningsring, TaC-belagte halvmånedele, Tantalcarbide-belagt planetrotationsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringe; TaC belagt porøs grafit; Tantalkarbidbelægning grafitsusceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalcarbid belagt plade; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC belægningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunkosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.

TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystalvækstproces.

Nøglefunktioner:

●Temperaturstabilitet

●Ultra høj renhed

●Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si

●Modstandsdygtighed over for termisk materiale

●Stærk vedhæftning til grafit

●Konform belægningsdækning

● Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)

Ansøgninger:

●Wafer bærer

● Induktiv varmemodtager

● Resistivt varmeelement

●Satellit disk

●Brusehoved

●Styrering

●LED Epi modtager

●Indsprøjtningsdyse

●Maskeringsring

● Varmeskjold

Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne	0.3
Termisk udvidelseskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhed (HK)	2000 HK
Modstand	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstørrelsen ændres	-10~-20um
Belægningstykkelse	≥20um typisk værdi (35um±10um)

TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating

TaC coating krystal struktur data:

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gennemsnit
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk TaC belagt plade TaC Coating Rotationsplade TaC coating modtager CVD TaC belægningsdæksel CVD TaC belægningsring TaC belægningsplade

View as

Tantalcarbid belagt porøs grafit

Tantalcarbid coated porøs grafit er et uundværligt produkt i halvlederbehandlingsprocessen, især i SIC krystalvækstprocessen. Efter kontinuerlige R&D-investeringer og teknologiopgraderinger har VeTek Semiconductors TaC Coated Porous Graphite-produktkvalitet vundet stor ros fra europæiske og amerikanske kunder. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor

CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor er en af kernekomponenterne i MOCVD planetreaktor. Gennem CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor roterer den store skive og den lille skive, og den horisontale strømningsmodel udvides til multi-chip maskiner, så den har både højkvalitets epitaksial bølgelængde ensartethed styring og defekt optimering af enkelt -chip-maskiner og produktionsomkostningsfordelene ved multi-chip-maskiner.VeTek Semiconductor kan give kunderne meget tilpasset CVD TaC-belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor. Hvis du også vil lave en planetarisk MOCVD-ovn som Aixtron, så kom til os!

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coated ring

Som en førende producent og leverandør af TaC Coated ringprodukter i Kina har VeTek Semiconductor fokuseret på R&D og produktion af forskellige TaC coatingprodukter. Som hovedkunder af TaC Coating-produkter har europæiske og amerikanske producenter givet stor ros til vores coatingprodukter. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

GaN-epitaksimodtager

VeTek Semiconductor er et kinesisk firma, der er en verdensklasse producent og leverandør af GaN Epitaxy susceptor. Vi har arbejdet i halvlederindustrien, såsom siliciumcarbidbelægninger og GaN Epitaxy susceptor i lang tid. Vi kan give dig fremragende produkter og favorable priser. VeTek Semiconductor ser frem til at blive din langsigtede partner.

Læs mere Send forespørgsel

TaC coated wafer susceptor

eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor er en grafitbakke belagt med tantalcarbid til epitaksial siliciumcarbidvækst for at forbedre waferkvalitet og ydeevne. VeTek er valgt på grund af sin avancerede belægningsteknologi og holdbare løsninger for at sikre fremragende SiC-epitaksiresultater og forlænget susceptorlevetid, velkommen til dine yderligere forespørgsler.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coating Guide Ringe

Som en førende producent af TaC Coating Guide Rings-produkter i Kina er VeTek Semiconductor TaC-coatede styreringe vigtige komponenter i MOCVD-udstyr, der sikrer nøjagtig og stabil gaslevering under epitaksial vækst og er et uundværligt materiale i halvlederepitaksial vækst. Velkommen til at konsultere os.

Læs mere Send forespørgsel

<1 2 3 4 5...8 >

Som en professionel Tantalcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Tantalcarbid belægning fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.