Tantalcarbid belægningsstøtte

VeTek Semiconductors hovedfunktionTantalcarbid (TaC) belægningSupport er at forbedrevarmebestandighed, slidstyrke og korrosionsbestandighedaf substratet ved at belægge et lag tantalcarbidbelægning for at forbedre processens nøjagtighed og pålidelighed og forlænge komponenternes levetid. Det er et højtydende belægningsprodukt, der anvendes inden for halvlederbehandling.

VeTek Semiconductors tantalkarbidbelægningsstøtte har en Mohs-hårdhed på næsten 9~10, kun næst efter diamant. Det har ekstremt stærk slidstyrke og kan effektivt modstå overfladeslid og slag under forarbejdning, hvorved levetiden for udstyrskomponenter effektivt forlænges. Kombineret med dets høje smeltepunkt på omkring 3880°C bruges det ofte til belægning af nøglekomponenter i halvlederudstyr, såsom overfladebelægninger af støttestrukturer, varmebehandlingsudstyr, kamre eller pakninger i halvlederudstyr for at forbedre slidstyrken og høje temperaturer. modstand.

På grund af det ekstremt høje smeltepunkt af tantalcarbid på omkring 3880°C, i halvlederprocesser som f.eks.kemisk dampaflejring (CVD)ogfysisk dampaflejring (PVD), TaC Coating med stærk højtemperaturbestandighed og kemisk korrosionsbestandighed kan effektivt beskytte udstyrskomponenter og forhindre korrosion eller beskadigelse af underlaget i ekstreme miljøer, hvilket giver effektiv beskyttelse til højtemperaturmiljøer i waferfremstilling. Denne funktion bestemmer også, at VeTek Semiconductors tantalkarbidbelægningsstøtte ofte bruges i ætsnings- og korrosive processer.

Tantalcarbide Coating Support har også funktionen til at reducere partikelforurening. Under waferbehandling producerer overfladeslid sædvanligvis partikelforurening, hvilket påvirker waferens produktkvalitet. TaC Coatings ekstreme produktegenskaber på tæt på 9-10 Mohs hårdhed kan effektivt reducere dette slid og derved reducere dannelsen af ​​partikler. Kombineret med TaC Coatings fremragende termiske ledningsevne (ca. 21 W/m·K), kan den opretholde en god termisk ledningsevne under høje temperaturforhold, og derved i høj grad forbedre udbyttet og konsistensen af ​​wafer-fremstilling.

VeTek Semiconductors vigtigste TaC Coating produkter omfatterTaC Coating Heater, CVD TaC belægningsdigel, TaC Coating Rotations SusceptorogTaC Coating Reservedelosv., og understøtter tilpassede produkttjenester. VeTek Semiconductor er forpligtet til at levere fremragende produkter og tekniske løsninger til halvlederindustrien. Vi håber inderligt at blive din langsigtede partner i Kina.

Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD TaC belægning：