CVD TaC belægningsdigel

TaC belægning Rotation Susceptor spiller en nøglerolle i højtemperaturaflejringsprocesser såsom CVD og MBE, og er en vigtig komponent til waferbehandling i halvlederfremstilling. Blandt dem,TaC belægninghar fremragende højtemperaturbestandighed, korrosionsbestandighed og kemisk stabilitet, hvilket sikrer høj præcision og høj kvalitet under waferbehandling.

CVD TaC Coating Crucible består normalt af TaC Coating oggrafitsubstrat. Blandt dem er TaC et keramisk materiale med højt smeltepunkt med et smeltepunkt på op til 3880°C. Den har ekstrem høj hårdhed (Vickers hårdhed op til 2000 HV), kemisk korrosionsbestandighed og stærk oxidationsbestandighed. Derfor er TaC Coating et fremragende højtemperaturbestandigt materiale inden for halvlederbehandlingsteknologi.

Grafitsubstratet har god termisk ledningsevne (termisk ledningsevne er ca. 21 W/m·K) og fremragende mekanisk stabilitet. Denne egenskab bestemmer, at grafit bliver en ideel belægningsubstrat.

CVD TaC Coating Crucible bruges hovedsageligt i følgende halvlederbehandlingsteknologier:

Fremstilling af wafers: VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Crucible har fremragende højtemperaturbestandighed (smeltepunkt op til 3880°C) og korrosionsbestandighed, så den bruges ofte i vigtige waferfremstillingsprocesser såsom højtemperaturdampaflejring (CVD) og epitaksial vækst. Kombineret med produktets fremragende strukturelle stabilitet i miljøer med ultrahøje temperaturer, sikrer det, at udstyret kan fungere stabilt i lang tid under ekstremt barske forhold, og derved effektivt forbedre produktionseffektiviteten og kvaliteten af ​​wafere.

Epitaksial vækstproces: I epitaksiale processer som f.ekskemisk dampaflejring (CVD)og molekylær stråleepitaksi (MBE), CVD TaC Coating Crucible spiller en nøglerolle i at bære. Dens TaC Coating kan ikke kun opretholde materialets høje renhed under ekstrem temperatur og korrosiv atmosfære, men også effektivt forhindre forurening af reaktanterne på materialet og korrosion af reaktoren, hvilket sikrer nøjagtigheden af ​​produktionsprocessen og produktkonsistens.

Som Kinas førende CVD TaC Coating Crucible producent og leder, kan VeTek Semiconductor levere tilpassede produkter og tekniske tjenester i henhold til dit udstyr og proceskrav. Vi håber inderligt at blive din langsigtede partner i Kina.

Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit：

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning：

VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Crucible butikker: