VeTek Semiconductor er en førende producent og innovator af tantalkarbidbelagte planetariske rotationsskiver i Kina. Vi har været specialiseret i keramisk belægning i mange år. Vores produkter har en høj renhed og høj temperaturbestandighed. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Tantalkarbidbelagt planetrotationsskive af høj kvalitet tilbydes af den kinesiske producent VeTek Semiconductor. KøbeTantalcarbid belagtPlanetary Rotation Disk som er af høj kvalitet direkte til lav pris.
Den tantalkarbidbelagte planetrotationsskive er et tilbehør designet til AIXTRON G10 MOCVD-systemet, der sigter mod at øge effektiviteten og kvaliteten i halvlederfremstilling. Fremstillet af materialer af høj kvalitet og fremstillet med præcision, tilbyder den tantalkarbidbelagte planetariske rotationsskive enestående ydeevne og pålidelighed tilMetal-organisk kemisk dampaflejring (MOCVD) processer.
Planetskiven er konstrueret ved hjælp af et grafitsubstrat belagt medCVD TaC, der giver fremragende termisk stabilitet, høj renhed og modstandsdygtighed over for høje temperaturer.
Planetarisk disk kan tilpasses til forskellige halvlederwaferstørrelser og er velegnet til forskellige produktionskrav. Dens robuste konstruktion er specielt designet til at modstå de krævende driftsforhold for MOCVD-systemet, hvilket sikrer langvarig ydeevne og minimerer nedetid og vedligeholdelsesomkostninger forbundet med wafer-bærere og susceptorer.
Med den planetariske disk, denAIXTRON G10 MOCVD systemkan opnå højere effektivitet og overlegne resultater i halvlederfremstilling. Dens exceptionelle termiske stabilitet, kompatibilitet med forskellige waferstørrelser og pålidelige ydeevne gør det til et vigtigt værktøj til at optimere produktionseffektiviteten og opnå fremragende resultater i det udfordrende MOCVD-miljø.
Fysiske egenskaber ved TaC-belægning | |
Tæthed | 14,3 (g/cm³) |
Specifik emissionsevne | 0.3 |
Termisk udvidelseskoefficient | 6,3*10-6/K |
Hårdhed (HK) | 2000 HK |
Modstand | 1×10-5Ohm*cm |
Termisk stabilitet | <2500℃ |
Grafitstørrelsen ændres | -10~-20um |
Belægningstykkelse | ≥20um typisk værdi (35um±10um) |