Tantalcarbid belagt borepatron

VeTek Semiconductor er en førende producent og innovatør af tantalcarbid belagt chuck i Kina. Vi har været specialiseret i TaC-belægning i mange år. Vores produkter har en høj renhed og høj temperaturbestandighed op til 2000 ℃. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

VeTek Semiconductor leverer højkvalitets tantalcarbide belagt chuck, SiC belægningsdele med konkurrencedygtig pris.Velkommen til forespørgsel os.VeTek Semiconductor tantalcarbide belagt chuck, specielt designet til AIXTRON G10 MOCVD systemet. Dette tilbehør øger effektiviteten og kvaliteten i halvlederfremstilling og leverer enestående ydeevne og pålidelighed.

Fremstillet af materialer af høj kvalitet og fremstillet med præcision, har borepatronen et grafitsubstrat belagt med CVD tantalcarbid (TaC). Denne belægning giver fremragende termisk stabilitet, høj renhed og modstandsdygtighed over for høje temperaturer. Det sikrer pålidelig ydeevne under de krævende forhold ved MOCVD-processer.

Borepatronen kan tilpasses til at rumme forskellige halvlederwaferstørrelser, hvilket gør den velegnet til forskellige produktionskrav. Dens robuste konstruktion minimerer nedetid og vedligeholdelsesomkostninger forbundet med waferbærere og susceptorer.

Med VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck opnår AIXTRON G10 MOCVD-systemet højere effektivitet og overlegne resultater i halvlederfremstilling. Dens exceptionelle termiske stabilitet, kompatibilitet med forskellige waferstørrelser og pålidelige ydeevne gør det til et vigtigt værktøj til at optimere produktionseffektiviteten og opnå fremragende resultater i det udfordrende MOCVD-miljø.

Produktparameter for den tantalkarbidbelagte chuck

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Massefylde	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne	0.3
Termisk udvidelseskoefficient	6,3 10-6/K
Hårdhed (HK)	2000 HK
Modstand	1×10-5 Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstørrelsen ændres	-10~-20um
Belægningstykkelse	≥20um typisk værdi (35um±10um)