Kina SiC epitaksiproces producent, leverandør, fabrik

VeTek Semiconductors unikke karbidbelægninger giver overlegen beskyttelse af grafitdele i SiC Epitaxy Processen til bearbejdning af krævende halvleder- og komposithalvledermaterialer. Resultatet er forlænget grafitkomponentlevetid, bevarelse af reaktionsstøkiometri, hæmning af urenhedsmigrering til epitaksi- og krystalvækstapplikationer, hvilket resulterer i øget udbytte og kvalitet.

Vores tantalcarbid (TaC)-belægninger beskytter kritiske ovn- og reaktorkomponenter ved høje temperaturer (op til 2200°C) mod varm ammoniak, brint, siliciumdampe og smeltede metaller. VeTek Semiconductor har en bred vifte af grafitbehandlings- og målefunktioner for at opfylde dine skræddersyede krav, så vi kan tilbyde en gebyrbetalende belægning eller fuld service, med vores team af ekspertingeniører klar til at designe den rigtige løsning til dig og din specifikke applikation .

Sammensatte halvlederkrystaller

VeTek Semiconductor kan levere specielle TaC-belægninger til forskellige komponenter og bærere. Gennem VeTek Semiconductors brancheførende belægningsproces kan TaC-belægningen opnå høj renhed, høj temperaturstabilitet og høj kemisk resistens, og derved forbedre produktkvaliteten af krystal-Tac/GaN)- og EPL-lag og forlænge levetiden af kritiske reaktorkomponenter.

Termiske isolatorer

SiC, GaN og AlN krystalvækstkomponenter inklusive digler, frøholdere, deflektorer og filtre. Industrielle samlinger, herunder resistive varmeelementer, dyser, afskærmningsringe og lodningsarmaturer, GaN- og SiC-epitaksiale CVD-reaktorkomponenter, herunder wafer-bærere, satellitbakker, brusehoveder, hætter og piedestaler, MOCVD-komponenter.

Formål:

LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(Semiconductor) modtager

EPI-receptor (SiC-epitaksiproces)

TaC-belagt satellitsusceptor TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating dele Halfmoon dele med TaC Coating

Sammenligning af SiC Coating og TaC Coating:

	SiC	TaC
Hovedtræk	Ultra høj renhed, fremragende plasmabestandighed	Fremragende høj temperatur stabilitet (høj temperatur proces overensstemmelse)
Renhed	>99,9999 %	>99,9999 %
Massefylde (g/cm 3)	3.21	15
Hårdhed (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistivitet [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Termisk ledningsevne (W/m-K)	200-360	22
Termisk udvidelseskoefficient (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Ansøgning	Halvlederudstyr Keramisk jig (fokusring, brusehoved, dummy wafer)	SiC Enkelt krystal vækst, Epi, UV LED Udstyr dele

View as

Tantalcarbid belagt porøs grafit

Tantalcarbid coated porøs grafit er et uundværligt produkt i halvlederbehandlingsprocessen, især i SIC krystalvækstprocessen. Efter kontinuerlige R&D-investeringer og teknologiopgraderinger har VeTek Semiconductors TaC Coated Porous Graphite-produktkvalitet vundet stor ros fra europæiske og amerikanske kunder. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor

CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor er en af kernekomponenterne i MOCVD planetreaktor. Gennem CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor roterer den store skive og den lille skive, og den horisontale strømningsmodel udvides til multi-chip maskiner, så den har både højkvalitets epitaksial bølgelængde ensartethed styring og defekt optimering af enkelt -chip-maskiner og produktionsomkostningsfordelene ved multi-chip-maskiner.VeTek Semiconductor kan give kunderne meget tilpasset CVD TaC-belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor. Hvis du også vil lave en planetarisk MOCVD-ovn som Aixtron, så kom til os!

Læs mere Send forespørgsel

GaN-epitaksimodtager

VeTek Semiconductor er et kinesisk firma, der er en verdensklasse producent og leverandør af GaN Epitaxy susceptor. Vi har arbejdet i halvlederindustrien, såsom siliciumcarbidbelægninger og GaN Epitaxy susceptor i lang tid. Vi kan give dig fremragende produkter og favorable priser. VeTek Semiconductor ser frem til at blive din langsigtede partner.

Læs mere Send forespørgsel

TaC coated wafer susceptor

eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor er en grafitbakke belagt med tantalcarbid til epitaksial siliciumcarbidvækst for at forbedre waferkvalitet og ydeevne. VeTek er valgt på grund af sin avancerede belægningsteknologi og holdbare løsninger for at sikre fremragende SiC-epitaksiresultater og forlænget susceptorlevetid, velkommen til dine yderligere forespørgsler.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coating Guide Ringe

Som en førende producent af TaC Coating Guide Rings-produkter i Kina er VeTek Semiconductor TaC-coatede styreringe vigtige komponenter i MOCVD-udstyr, der sikrer nøjagtig og stabil gaslevering under epitaksial vækst og er et uundværligt materiale i halvlederepitaksial vækst. Velkommen til at konsultere os.

Læs mere Send forespørgsel

Porøst tantalcarbid

VeTek Semiconductor er en professionel producent og leder af porøse tantalcarbidprodukter i Kina. Porøst tantalcarbid fremstilles normalt ved kemisk dampaflejring (CVD) metode, der sikrer præcis kontrol af dets porestørrelse og fordeling, og er et materialeværktøj dedikeret til ekstreme miljøer med høj temperatur. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

<1 2 3 4 5...7 >

Som en professionel SiC epitaksiproces producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar SiC epitaksiproces fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.