Kina SiC epitaksiproces producent, leverandør, fabrik

VeTek Semiconductors unikke karbidbelægninger giver overlegen beskyttelse af grafitdele i SiC Epitaxy Processen til bearbejdning af krævende halvleder- og komposithalvledermaterialer. Resultatet er forlænget grafitkomponentlevetid, bevarelse af reaktionsstøkiometri, hæmning af urenhedsmigrering til epitaksi- og krystalvækstapplikationer, hvilket resulterer i øget udbytte og kvalitet.

Vores tantalcarbid (TaC)-belægninger beskytter kritiske ovn- og reaktorkomponenter ved høje temperaturer (op til 2200°C) mod varm ammoniak, brint, siliciumdampe og smeltede metaller. VeTek Semiconductor har en bred vifte af grafitbehandlings- og målefunktioner for at opfylde dine skræddersyede krav, så vi kan tilbyde en gebyrbetalende belægning eller fuld service, med vores team af ekspertingeniører klar til at designe den rigtige løsning til dig og din specifikke applikation .

Sammensatte halvlederkrystaller

VeTek Semiconductor kan levere specielle TaC-belægninger til forskellige komponenter og bærere. Gennem VeTek Semiconductors brancheførende belægningsproces kan TaC-belægningen opnå høj renhed, høj temperaturstabilitet og høj kemisk resistens, og derved forbedre produktkvaliteten af krystal-Tac/GaN)- og EPL-lag og forlænge levetiden af kritiske reaktorkomponenter.

Termiske isolatorer

SiC, GaN og AlN krystalvækstkomponenter inklusive digler, frøholdere, deflektorer og filtre. Industrielle samlinger, herunder resistive varmeelementer, dyser, afskærmningsringe og lodningsarmaturer, GaN- og SiC-epitaksiale CVD-reaktorkomponenter, herunder wafer-bærere, satellitbakker, brusehoveder, hætter og piedestaler, MOCVD-komponenter.

Formål:

LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(Semiconductor) modtager

EPI-receptor (SiC-epitaksiproces)

TaC-belagt satellitsusceptor TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating dele Halfmoon dele med TaC Coating

Sammenligning af SiC Coating og TaC Coating:

	SiC	TaC
Hovedtræk	Ultra høj renhed, fremragende plasmabestandighed	Fremragende høj temperatur stabilitet (høj temperatur proces overensstemmelse)
Renhed	>99,9999 %	>99,9999 %
Massefylde (g/cm 3)	3.21	15
Hårdhed (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistivitet [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Termisk ledningsevne (W/m-K)	200-360	22
Termisk udvidelseskoefficient (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Ansøgning	Halvlederudstyr Keramisk jig (fokusring, brusehoved, dummy wafer)	SiC Enkelt krystal vækst, Epi, UV LED Udstyr dele

View as

Porøst tantalcarbid

VeTek Semiconductor er en professionel producent og leder af porøse tantalcarbidprodukter i Kina. Porøst tantalcarbid fremstilles normalt ved kemisk dampaflejring (CVD) metode, der sikrer præcis kontrol af dets porestørrelse og fordeling, og er et materialeværktøj dedikeret til ekstreme miljøer med høj temperatur. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

Tantalcarbid ring

Som en avanceret producent og producent af tantalkarbidringprodukter i Kina har VeTek Semiconductor tantalkarbidring ekstrem høj hårdhed, slidstyrke, høj temperaturbestandighed og kemisk stabilitet og er meget udbredt inden for halvlederfremstilling. Især i CVD, PVD, ionimplantationsproces, ætseproces og waferbehandling og -transport er det et uundværligt produkt til halvlederbehandling og -fremstilling. Ser frem til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

Tantalcarbid belægningsstøtte

Som en professionel producent af tantalcarbide belægningsstøtte-produkt og fabrik i Kina, bruges VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support normalt til overfladebelægning af strukturelle komponenter eller støttekomponenter i halvlederudstyr, især til overfladebeskyttelse af nøgleudstyrskomponenter i halvlederfremstillingsprocesser som f.eks. CVD og PVD. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

Tantalcarbid guidering

VeTek Semiconductor er en professionel producent og leder af Tantalcarbide Guide Ring-produkter i Kina. Vores tantalcarbide (TaC) guidering er en højtydende ringkomponent lavet af tantalcarbid, som er almindeligt anvendt i halvlederbehandlingsudstyr, især i høje temperaturer og stærkt korrosive miljøer såsom CVD, PVD, ætsning og diffusion. VeTek Semiconductor er forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien og hilser dine yderligere forespørgsler velkommen.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coating Rotations Susceptor

Som en professionel producent, innovator og leder af TaC Coating Rotation Susceptor-produkter i Kina. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor er normalt installeret i kemisk dampaflejring (CVD) og molekylær stråleepitaksi (MBE) udstyr til at understøtte og rotere wafere for at sikre ensartet materialeaflejring og effektiv reaktion. Det er en nøglekomponent i halvlederbehandling. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

CVD TaC belægningsdigel

VeTek Semiconductor er en professionel producent og leder af CVD TaC Coating Crucible-produkter i Kina. CVD TaC Coating Crucible er baseret på tantal carbon (TaC) coating. Tantal-carbonbelægningen er jævnt dækket på overfladen af digelen gennem kemisk dampaflejring (CVD) proces for at forbedre dens varmebestandighed og korrosionsbestandighed. Det er et materialeværktøj specielt brugt i ekstreme højtemperaturmiljøer. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

<1 2 3 4 5...6 >

Som en professionel SiC epitaksiproces producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar SiC epitaksiproces fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.