Kina SiC epitaksiproces producent, leverandør, fabrik

VeTek Semiconductors unikke karbidbelægninger giver overlegen beskyttelse af grafitdele i SiC Epitaxy Processen til bearbejdning af krævende halvleder- og komposithalvledermaterialer. Resultatet er forlænget grafitkomponentlevetid, bevarelse af reaktionsstøkiometri, hæmning af urenhedsmigrering til epitaksi- og krystalvækstapplikationer, hvilket resulterer i øget udbytte og kvalitet.

Vores tantalcarbid (TaC)-belægninger beskytter kritiske ovn- og reaktorkomponenter ved høje temperaturer (op til 2200°C) mod varm ammoniak, brint, siliciumdampe og smeltede metaller. VeTek Semiconductor har en bred vifte af grafitbehandlings- og målefunktioner for at opfylde dine skræddersyede krav, så vi kan tilbyde en gebyrbetalende belægning eller fuld service, med vores team af ekspertingeniører klar til at designe den rigtige løsning til dig og din specifikke applikation .

Sammensatte halvlederkrystaller

VeTek Semiconductor kan levere specielle TaC-belægninger til forskellige komponenter og bærere. Gennem VeTek Semiconductors brancheførende belægningsproces kan TaC-belægningen opnå høj renhed, høj temperaturstabilitet og høj kemisk resistens, og derved forbedre produktkvaliteten af krystal-Tac/GaN)- og EPL-lag og forlænge levetiden af kritiske reaktorkomponenter.

Termiske isolatorer

SiC, GaN og AlN krystalvækstkomponenter inklusive digler, frøholdere, deflektorer og filtre. Industrielle samlinger, herunder resistive varmeelementer, dyser, afskærmningsringe og lodningsarmaturer, GaN- og SiC-epitaksiale CVD-reaktorkomponenter, herunder wafer-bærere, satellitbakker, brusehoveder, hætter og piedestaler, MOCVD-komponenter.

Formål:

LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(Semiconductor) modtager

EPI-receptor (SiC-epitaksiproces)

TaC-belagt satellitsusceptor TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating dele Halfmoon dele med TaC Coating

Sammenligning af SiC Coating og TaC Coating:

	SiC	TaC
Hovedtræk	Ultra høj renhed, fremragende plasmabestandighed	Fremragende høj temperatur stabilitet (høj temperatur proces overensstemmelse)
Renhed	>99,9999 %	>99,9999 %
Massefylde (g/cm 3)	3.21	15
Hårdhed (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistivitet [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Termisk ledningsevne (W/m-K)	200-360	22
Termisk udvidelseskoefficient (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Ansøgning	Halvlederudstyr Keramisk jig (fokusring, brusehoved, dummy wafer)	SiC Enkelt krystal vækst, Epi, UV LED Udstyr dele

View as

CVD TaC Coating Carrier

VeTek Semiconductors CVD TaC Coating-bærer er hovedsageligt designet til den epitaksiale proces af halvlederfremstilling. CVD TaC Coating-bærerens ultrahøje smeltepunkt, fremragende korrosionsbestandighed og enestående termisk stabilitet bestemmer uundværligheden af dette produkt i halvlederepitaksiale processer. Vi håber inderligt at opbygge et langsigtet forretningsforhold med dig.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coating Guide Ring

VeTek Semiconductors TaC Coating Guide Ring er skabt ved at påføre tantalcarbid coating på grafitdele ved hjælp af en meget avanceret teknik kaldet kemisk dampaflejring (CVD). Denne metode er veletableret og tilbyder exceptionelle belægningsegenskaber. Ved at bruge TaC Coating Guide Ring kan levetiden for grafitkomponenter forlænges betydeligt, bevægelsen af grafiturenheder kan undertrykkes, og SiC og AIN enkeltkrystalkvaliteten kan opretholdes pålideligt. Velkommen til at forespørge os.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coated Grafit Susceptor

VeTek Semiconductors TaC Coated Graphite Susceptor bruger kemisk dampaflejring (CVD) metode til at forberede tantalcarbid coating på overfladen af grafitdele. Denne proces er den mest modne og har de bedste belægningsegenskaber. TaC Coated Graphite Susceptor kan forlænge levetiden af grafitkomponenter, hæmme migrationen af grafiturenheder og sikre kvaliteten af epitaksi. VeTek Semiconductor ser frem til din forespørgsel.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coating Susceptor

VeTek Semiconductor præsenterer TaC Coating Susceptor, Med sin exceptionelle TaC coating tilbyder denne susceptor en lang række fordele, der adskiller den fra konventionelle løsninger. TaC Coating Susceptoren integreres problemfrit i eksisterende systemer og garanterer kompatibilitet og effektiv drift. Dens pålidelige ydeevne og højkvalitets TaC-belægning leverer konsekvent exceptionelle resultater i SiC-epitaksiprocesser. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coating Rotationsplade

VeTek Semiconductor's TaC Coating Rotation Plate kan prale af en enestående TaC-belægning, Med sin enestående TaC-belægning har TaC Coating Rotation Plate bemærkelsesværdig højtemperaturresistens og kemisk inerthed, som adskiller den fra traditionelle løsninger. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

TaC belægningsplade

VeTek Semiconductors TaC Coating Plate er et bemærkelsesværdigt produkt, der tilbyder exceptionelle funktioner og fordele. Designet med præcision og konstrueret til perfektion, vores TaC Coating Plade er specielt skræddersyet til forskellige anvendelser i siliciumcarbid (SiC) enkeltkrystal vækstprocesser. TaC Coating Pladens præcise dimensioner og robuste konstruktion gør det nemt at integrere i eksisterende systemer, hvilket sikrer sømløs kompatibilitet og effektiv drift. Dens pålidelige ydeevne og højkvalitetsbelægning bidrager til ensartede og ensartede resultater i SiC krystalvækst applikationer. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

<...2 3 4 5 6...7 >

Som en professionel SiC epitaksiproces producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar SiC epitaksiproces fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.