Kina SiC epitaksiproces producent, leverandør, fabrik

VeTek Semiconductors unikke karbidbelægninger giver overlegen beskyttelse af grafitdele i SiC Epitaxy Processen til bearbejdning af krævende halvleder- og komposithalvledermaterialer. Resultatet er forlænget grafitkomponentlevetid, bevarelse af reaktionsstøkiometri, hæmning af urenhedsmigrering til epitaksi- og krystalvækstapplikationer, hvilket resulterer i øget udbytte og kvalitet.

Vores tantalcarbid (TaC)-belægninger beskytter kritiske ovn- og reaktorkomponenter ved høje temperaturer (op til 2200°C) mod varm ammoniak, brint, siliciumdampe og smeltede metaller. VeTek Semiconductor har en bred vifte af grafitbehandlings- og målefunktioner for at opfylde dine skræddersyede krav, så vi kan tilbyde en gebyrbetalende belægning eller fuld service, med vores team af ekspertingeniører klar til at designe den rigtige løsning til dig og din specifikke applikation .

Sammensatte halvlederkrystaller

VeTek Semiconductor kan levere specielle TaC-belægninger til forskellige komponenter og bærere. Gennem VeTek Semiconductors brancheførende belægningsproces kan TaC-belægningen opnå høj renhed, høj temperaturstabilitet og høj kemisk resistens, og derved forbedre produktkvaliteten af krystal-Tac/GaN)- og EPL-lag og forlænge levetiden af kritiske reaktorkomponenter.

Termiske isolatorer

SiC, GaN og AlN krystalvækstkomponenter inklusive digler, frøholdere, deflektorer og filtre. Industrielle samlinger, herunder resistive varmeelementer, dyser, afskærmningsringe og lodningsarmaturer, GaN- og SiC-epitaksiale CVD-reaktorkomponenter, herunder wafer-bærere, satellitbakker, brusehoveder, hætter og piedestaler, MOCVD-komponenter.

Formål:

LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(Semiconductor) modtager

EPI-receptor (SiC-epitaksiproces)

TaC-belagt satellitsusceptor TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating dele Halfmoon dele med TaC Coating

Sammenligning af SiC Coating og TaC Coating:

	SiC	TaC
Hovedtræk	Ultra høj renhed, fremragende plasmabestandighed	Fremragende høj temperatur stabilitet (høj temperatur proces overensstemmelse)
Renhed	>99,9999 %	>99,9999 %
Massefylde (g/cm 3)	3.21	15
Hårdhed (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistivitet [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Termisk ledningsevne (W/m-K)	200-360	22
Termisk udvidelseskoefficient (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Ansøgning	Halvlederudstyr Keramisk jig (fokusring, brusehoved, dummy wafer)	SiC Enkelt krystal vækst, Epi, UV LED Udstyr dele

View as

TaC belægningsplade

VeTek Semiconductors TaC Coating Plate er et bemærkelsesværdigt produkt, der tilbyder exceptionelle funktioner og fordele. Designet med præcision og konstrueret til perfektion, vores TaC Coating Plade er specielt skræddersyet til forskellige anvendelser i siliciumcarbid (SiC) enkeltkrystal vækstprocesser. TaC Coating Pladens præcise dimensioner og robuste konstruktion gør det nemt at integrere i eksisterende systemer, hvilket sikrer sømløs kompatibilitet og effektiv drift. Dens pålidelige ydeevne og højkvalitetsbelægning bidrager til ensartede og ensartede resultater i SiC krystalvækst applikationer. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

CVD TaC Coating Cover

CVD TaC belægningsdæksel leveret af VeTek Semiconductor er en højt specialiseret komponent designet specielt til krævende applikationer. Med sine avancerede funktioner og enestående ydeevne tilbyder vores CVD TaC belægningsdæksel adskillige vigtige fordele. Vores CVD TaC belægningsdæksel giver den nødvendige beskyttelse og ydeevne, der kræves for succes. Vi ser frem til at udforske potentielle samarbejder med dig!

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coating Planetarisk Susceptor

VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor er et exceptionelt produkt til Aixtron-epitaxiudstyr. Den robuste TaC-belægning giver fremragende modstandsdygtighed over for høje temperaturer og kemisk inertitet. Denne unikke kombination sikrer pålidelig ydeevne og lang levetid, selv i krævende miljøer. VeTek er forpligtet til at levere produkter af høj kvalitet og fungere som en langsigtet partner på det kinesiske marked med konkurrencedygtige priser.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coating piedestal støtteplade

VeTek Semiconductors TaC Coating Piedestal Support Plate er et højpræcisionsprodukt designet til at opfylde de specifikke krav til halvlederepitaksiprocesser. Med sin TaC-belægning, modstandsdygtighed over for høje temperaturer og kemiske inertitet giver vores produkt dig mulighed for at producere EPI-lag af høj kvalitet med høj kvalitet. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coating Chuck

VeTek Semiconductors TaC Coating Chuck har en TaC-belægning af høj kvalitet, kendt for sin enestående højtemperaturresistens og kemiske inerthed, især i siliciumcarbid (SiC) epitaksi (EPI) processer. Med sine enestående egenskaber og overlegne ydeevne tilbyder vores TaC Coating Chuck flere vigtige fordele. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

LPE SiC EPI Halvmåne

LPE SiC Epi Halfmoon af VeTek Semiconductor, et revolutionerende produkt designet til at hæve LPE-reaktor SiC-epitaksiprocesser. Denne banebrydende løsning kan prale af adskillige nøglefunktioner, der sikrer overlegen ydeevne og effektivitet gennem hele din fremstillingsproces. Ser frem til at etablere et langsigtet samarbejde med dig.

Læs mere Send forespørgsel

<...2 3 4 5 6 >

Som en professionel SiC epitaksiproces producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar SiC epitaksiproces fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.