TaC Coating Susceptor

VeTek Semiconductor præsenterer TaC Coating Susceptor, Med sin exceptionelle TaC coating tilbyder denne susceptor en lang række fordele, der adskiller den fra konventionelle løsninger. TaC Coating Susceptoren integreres problemfrit i eksisterende systemer og garanterer kompatibilitet og effektiv drift. Dens pålidelige ydeevne og højkvalitets TaC-belægning leverer konsekvent exceptionelle resultater i SiC-epitaksiprocesser. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

VeTek Semiconductors TaC-belagte susceptor og ring arbejder sammen i LPE-siliciumcarbid-epitaksial vækstreaktoren:

Højtemperaturmodstand: TaC-belægningssusceptoren har fremragende højtemperaturmodstand, der er i stand til at modstå de ekstreme temperaturer op til 1500°C i LPE-reaktoren. Dette sikrer, at udstyret og komponenterne ikke deformeres eller bliver beskadiget under langvarig drift.

Kemisk stabilitet: TaC-belægningssusceptoren fungerer exceptionelt godt i det korrosive siliciumcarbidvækstmiljø, og beskytter effektivt reaktorkomponenterne mod korrosive kemiske angreb og forlænger derved deres levetid.

Termisk stabilitet: TaC-belægningssusceptoren har god termisk stabilitet, opretholder overflademorfologien og ruheden for at sikre ensartetheden af temperaturfeltet i reaktoren, hvilket er gavnligt for højkvalitetsvæksten af siliciumcarbid-epitaksiale lag.

Anti-kontaminering: Den glatte TaC-coatede overflade og overlegne TPD (Temperature Programmed Desorption) ydeevne kan minimere akkumulering og adsorption af partikler og urenheder inde i reaktoren, hvilket forhindrer kontaminering af de epitaksiale lag.

Sammenfattende spiller den TaC-belagte susceptor og ring en kritisk beskyttende rolle i LPE-siliciumcarbid-epitaksialvækstreaktoren, hvilket sikrer den langsigtede stabile drift af udstyret og højkvalitetsvæksten af de epitaksiale lag.

Produktparameter for TaC Coating Susceptor:

Physical properties of TaC coating
Tæthed	14.3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne	0.3
Termisk udvidelseskoefficient	6,3 10-6/K
Hårdhed (HK)	2000 HK
Modstand	1×10-5 Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstørrelsen ændres	-10~-20um
Belægningstykkelse	≥20um typisk værdi (35um±10um)