Keramisk elektrostatisk chuck

Halvlederproduktionsprocesser, især waferbehandling, udføres i et vakuummiljø, og mekanisk fastspændende wafers bærer 

visse risici. Når kraften er koncentreret om spændepunktet, kan skøre siliciumwafere afgive små fragmenter, hvilket forårsager alvorlig skade på waferproduktionen.

I dette tilfælde bliver den keramiske elektrostatiske chuck et bedre valg, som fikserer waferen ved elektrostatisk kraft. Den elektrostatiske kraft virker jævnt på waferen, så waferen kan fastgøres fladt, hvilket forbedrer processens nøjagtighed.

Ifølge relevante forskningsartikler har keramisk elektrostatisk chuck stærkere sugekraft end andre elektrostatiske patroner. For eksempel har keramisk elektrostatisk chuck meget stærkere sugekraft end elektrostatisk PET-film.

Ceramics Chuck er normalt lavet af højtydende keramiske materialer såsom Al2O3, AlN eller SiC, som har høj varmebestandighed, isolering og korrosionsbestandighed. Porøs SiC Ceramic Chuck er ikke kun stabil ved ekstreme temperaturer, men forhindrer også effektivt Ceramic E-chuck fra nedbrydning på grund af kemiske reagenser og plasmaætsning under fremstillingsprocessen.

Temperaturkontrol: Keramiske materialers høje termiske ledningsevne og stabile termiske egenskaber gør det muligt for Alumina Ceramic Vacuum Chuck effektivt at kontrollere temperaturen og derved optimere temperaturfordelingen under processen.

Vakuum tilpasningsevne: Keramisk elektrostatisk chuck er velegnet til vakuummiljøer, især i lavtryks- og højpræcisionsætsningsprocesser.

Lav partikeldannelse: Porøs SiC keramisk E-patron har en glat overflade, som kan reducere partikelforurening under waferfiksering og hjælpe med at forbedre produktudbyttet.

Anvendelse: Anvendes hovedsageligt til fremstilling af halvledere, aftagelig keramisk elektrostatisk chuck, der giver præcis positionering og stabilitet, hvilket er meget nyttigt til litografi, ætsning og andre fremstillingsprocesser til fremstilling af halvlederwafer. Sørg for, at waferen er intakt under forarbejdning og forbedre kvaliteten af ​​spånproduktionen.

VeTek SemiconductorKeramiske E-patronproduktionsbutikker: