Kina SiC epitaksiproces producent, leverandør, fabrik

VeTek Semiconductors unikke karbidbelægninger giver overlegen beskyttelse af grafitdele i SiC Epitaxy Processen til bearbejdning af krævende halvleder- og komposithalvledermaterialer. Resultatet er forlænget grafitkomponentlevetid, bevarelse af reaktionsstøkiometri, hæmning af urenhedsmigrering til epitaksi- og krystalvækstapplikationer, hvilket resulterer i øget udbytte og kvalitet.

Vores tantalcarbid (TaC)-belægninger beskytter kritiske ovn- og reaktorkomponenter ved høje temperaturer (op til 2200°C) mod varm ammoniak, brint, siliciumdampe og smeltede metaller. VeTek Semiconductor har en bred vifte af grafitbehandlings- og målefunktioner for at opfylde dine skræddersyede krav, så vi kan tilbyde en gebyrbetalende belægning eller fuld service, med vores team af ekspertingeniører klar til at designe den rigtige løsning til dig og din specifikke applikation .

Sammensatte halvlederkrystaller

VeTek Semiconductor kan levere specielle TaC-belægninger til forskellige komponenter og bærere. Gennem VeTek Semiconductors brancheførende belægningsproces kan TaC-belægningen opnå høj renhed, høj temperaturstabilitet og høj kemisk resistens, og derved forbedre produktkvaliteten af krystal-Tac/GaN)- og EPL-lag og forlænge levetiden af kritiske reaktorkomponenter.

Termiske isolatorer

SiC, GaN og AlN krystalvækstkomponenter inklusive digler, frøholdere, deflektorer og filtre. Industrielle samlinger, herunder resistive varmeelementer, dyser, afskærmningsringe og lodningsarmaturer, GaN- og SiC-epitaksiale CVD-reaktorkomponenter, herunder wafer-bærere, satellitbakker, brusehoveder, hætter og piedestaler, MOCVD-komponenter.

Formål:

LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(Semiconductor) modtager

EPI-receptor (SiC-epitaksiproces)

TaC-belagt satellitsusceptor TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating dele Halfmoon dele med TaC Coating

Sammenligning af SiC Coating og TaC Coating:

	SiC	TaC
Hovedtræk	Ultra høj renhed, fremragende plasmabestandighed	Fremragende høj temperatur stabilitet (høj temperatur proces overensstemmelse)
Renhed	>99,9999 %	>99,9999 %
Massefylde (g/cm 3)	3.21	15
Hårdhed (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistivitet [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Termisk ledningsevne (W/m-K)	200-360	22
Termisk udvidelseskoefficient (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Ansøgning	Halvlederudstyr Keramisk jig (fokusring, brusehoved, dummy wafer)	SiC Enkelt krystal vækst, Epi, UV LED Udstyr dele

View as

CVD TaC Coating Wafer Carrier

Som en professionel CVD TaC Coating Wafer Carrier produktproducent og fabrik i Kina, er VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier et waferbærende værktøj specielt designet til høje temperaturer og korrosive miljøer i halvlederfremstilling. Dette produkt har høj mekanisk styrke, fremragende korrosionsbestandighed og termisk stabilitet, hvilket giver den nødvendige garanti for fremstilling af højkvalitets halvlederenheder. Dine yderligere henvendelser er velkomne.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coating Heater

VeTek Semiconductor er en førende producent og innovator af TaC Coating Heater i Kina. Dette produkt har et ekstremt højt smeltepunkt (ca. 3880°C). Det høje smeltepunkt af TaC Coating Heater gør det muligt for den at fungere ved ekstremt høje temperaturer, især i væksten af galliumnitrid (GaN) epitaksiale lag i den metalorganiske kemiske dampudfældning (MOCVD). VeTek Semiconductor er forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coated Chuck

Som en professionel producent og leverandør af TaC Coated Chuck i Kina er VeTek Semiconductors TaC Coating Chuck specielt designet til halvlederovne. Med sin høje temperaturbestandighed, kemiske inertitet og fremragende ydeevne giver Vetek Semiconductors innovative teknologi en pålidelig løsning til halvlederfremstillingsindustrien for at sikre højkvalitets produktionsstandarder. Vi tror på, at vores produkter kan bringe dig avanceret teknologi og produktløsninger af høj kvalitet.

Læs mere Send forespørgsel

TaC belægningsrør

Som en professionel TaC Coating Tube producent og leverandør i Kina er VeTek Semiconductor's TaC coating tube en nøglekomponent for den succesfulde vækst af siliciumcarbid enkeltkrystaller. Med sin høje temperaturbestandighed, kemiske inerthed og fremragende ydeevne sikrer den produktionen af højkvalitetskrystaller med ensartede resultater. Stol på vores innovative løsninger til at forbedre din PVT-metode SiC krystalvækstproces og opnå fremragende resultater. Velkommen til at forespørge os.

Læs mere Send forespørgsel

CVD TAC belægning

VeTek Semiconductor er en førende producent, innovator og leder af CVD TAC Coating i Kina. I mange år har vi haft fokus på forskellige CVD TAC Coating produkter såsom CVD TaC coating cover, CVD TaC Coating Ring, CVD TaC Coating carrier osv. VeTek Semiconductor understøtter kundetilpassede produktservices og tilfredsstillende produktpriser, og ser frem til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coating Reservedel

VeTek Semiconductor er en professionel producent af TaC Coating Plate og andre TaC Coating reservedele i Kina. TaC Coating bruges i øjeblikket hovedsageligt i processer som siliciumcarbid-enkeltkrystalvækst (PVT-metoden), epitaksialskive (inklusive siliciumcarbidepitaksi, LED-epitaksi) osv. Kombineret med den gode langsigtede stabilitet af TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate er blevet benchmark for TaC Coating reservedele. Vi ser frem til, at du bliver vores langsigtede partner.

Læs mere Send forespørgsel

<1 2 3 4 5...6 >

Som en professionel SiC epitaksiproces producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar SiC epitaksiproces fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.