TaC Coating Guide Ring

VeTek Semiconductor er en professionel Kina TaC Coating Guide Ring, TaC coating Crucible, frøholder producent og leverandør.

TaC-belægning Digel, frøholder og TaC-belægningsguidering i SiC- og AIN-enkrystalovn blev dyrket ved PVT-metoden.

Når den fysiske damptransportmetode (PVT) bruges til at fremstille SiC, er frøkrystallen i det relativt lave temperaturområde, og SiC-råmaterialet er i det relativt høje temperaturområde (over 2400 ℃). Råmaterialets nedbrydning producerer SiXCy (hovedsageligt inklusiv Si, SiC₂, Si₂C osv.). Dampfasematerialet transporteres fra højtemperaturområdet til frøkrystallen i lavtemperaturområdet og danner kerne og vokser. At danne en enkelt krystal. De termiske feltmaterialer, der anvendes i denne proces, såsom digel, flowguidering, frøkrystalholder, bør være modstandsdygtige over for høje temperaturer og vil ikke forurene SiC-råmaterialer og SiC-enkeltkrystaller. Tilsvarende skal varmeelementerne i væksten af ​​AlN-enkeltkrystaller være modstandsdygtige over for Al-damp, N2-korrosion og skal have en høj eutektisk temperatur (og AlN) for at forkorte krystalfremstillingsperioden.

Det viste sig, at SiC og AlN fremstillet af TaC-belagte grafit termiske feltmaterialer var renere, næsten ingen kulstof (ilt, nitrogen) og andre urenheder, færre kantdefekter, mindre resistivitet i hver region, og mikroporetætheden og ætsningshuldensiteten var betydeligt reduceret (efter KOH-ætsning), og krystalkvaliteten blev væsentligt forbedret. Derudover er TaC-diglens vægttabshastighed næsten nul, udseendet er ikke-destruktivt, kan genbruges (levetid op til 200 timer), kan forbedre bæredygtigheden og effektiviteten af ​​en sådan enkeltkrystalpræparation.

Produktparameter for TaC Coating Guide Ring:

Produktionsbutikker:

Oversigt over halvlederchip-epitaksi-industrikæden: