Kina SiC epitaksiproces producent, leverandør, fabrik

VeTek Semiconductors unikke karbidbelægninger giver overlegen beskyttelse af grafitdele i SiC Epitaxy Processen til bearbejdning af krævende halvleder- og komposithalvledermaterialer. Resultatet er forlænget grafitkomponentlevetid, bevarelse af reaktionsstøkiometri, hæmning af urenhedsmigrering til epitaksi- og krystalvækstapplikationer, hvilket resulterer i øget udbytte og kvalitet.

Vores tantalcarbid (TaC)-belægninger beskytter kritiske ovn- og reaktorkomponenter ved høje temperaturer (op til 2200°C) mod varm ammoniak, brint, siliciumdampe og smeltede metaller. VeTek Semiconductor har en bred vifte af grafitbehandlings- og målefunktioner for at opfylde dine skræddersyede krav, så vi kan tilbyde en gebyrbetalende belægning eller fuld service, med vores team af ekspertingeniører klar til at designe den rigtige løsning til dig og din specifikke applikation .

Sammensatte halvlederkrystaller

VeTek Semiconductor kan levere specielle TaC-belægninger til forskellige komponenter og bærere. Gennem VeTek Semiconductors brancheførende belægningsproces kan TaC-belægningen opnå høj renhed, høj temperaturstabilitet og høj kemisk resistens, og derved forbedre produktkvaliteten af krystal-Tac/GaN)- og EPL-lag og forlænge levetiden af kritiske reaktorkomponenter.

Termiske isolatorer

SiC, GaN og AlN krystalvækstkomponenter inklusive digler, frøholdere, deflektorer og filtre. Industrielle samlinger, herunder resistive varmeelementer, dyser, afskærmningsringe og lodningsarmaturer, GaN- og SiC-epitaksiale CVD-reaktorkomponenter, herunder wafer-bærere, satellitbakker, brusehoveder, hætter og piedestaler, MOCVD-komponenter.

Formål:

LED (Light Emitting Diode) Wafer Carrier

ALD(Semiconductor) modtager

EPI-receptor (SiC-epitaksiproces)

TaC-belagt satellitsusceptor TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating dele Halfmoon dele med TaC Coating

Sammenligning af SiC Coating og TaC Coating:

	SiC	TaC
Hovedtræk	Ultra høj renhed, fremragende plasmabestandighed	Fremragende høj temperatur stabilitet (høj temperatur proces overensstemmelse)
Renhed	>99,9999 %	>99,9999 %
Massefylde (g/cm 3)	3.21	15
Hårdhed (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistivitet [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Termisk ledningsevne (W/m-K)	200-360	22
Termisk udvidelseskoefficient (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Ansøgning	Halvlederudstyr Keramisk jig (fokusring, brusehoved, dummy wafer)	SiC Enkelt krystal vækst, Epi, UV LED Udstyr dele

View as

TaC belagt ring til SiC epitaksial reaktor

VeTek Semiconductor er en storstilet TaC Coated Ring til SiC Epitaxial Reactor producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i TaC coating i mange år. Vores produkter har høj renhed, høj stabilitet, fremragende korrosionsbestandighed, høj bindingsstyrke. frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

Tantalkarbidbelagt halvmånedel til LPE

VeTek Semiconductor er en storskala tantalkarbidbelagt halvmånedel til LPE-producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i TaC-belægning i mange år.Vores produkter kan modstå temperaturer over 2000 grader Celsius, forlænge levetiden af forbrugsstoffer.Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

Tantalkarbidbelagt planetrotationsskive

VeTek Semiconductor er en førende producent og innovator af tantalkarbidbelagte planetariske rotationsskiver i Kina. Vi har været specialiseret i keramisk belægning i mange år. Vores produkter har en høj renhed og høj temperaturbestandighed. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

<...2 3 4 5 6 >

Som en professionel SiC epitaksiproces producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar SiC epitaksiproces fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.