TaC-belagt ring med tre kronblade

VeTek Semiconductor er en førende TaC Coated Three-Pal Ring producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i TaC og SiC coating i mange år. Vores produkter har en korrosionsbestandighed, høj styrke. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

VeTek Semiconductor er en professionel producent og leverandør af TaC-belagte 3-bladsringe i Kina. Den TaC-belagte 3-bladede ring bruges i Aixtron G10-aflejringssystem til sammensatte halvledere, G10-GaN 150/200 mm høj gennemløbsepitaxi til GaN-strøm og RF applikationer.

VeTek Semiconductor TaC-belægning er en ny generation af højtemperaturbestandigt materiale med bedre højtemperaturstabilitet end SiC, da en korrosionsbestandig belægning, oxidationsbestandig belægning, slidbestandig belægning, kan bruges i miljøet over 2000 ℃, meget udbredt i aerospace ultra-høj temperatur varme ende dele, tredje generation af halvleder enkelt krystal vækst og andre områder.

Produktegenskaber:

1. Høj renhed, urenhedsindhold < 5 ppm

2. Høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, høj densitet, høj densitet

3. Det er kemisk inert over for ammoniak, hydrogen, silan og silicium ved høj temperatur og har god termisk stabilitet.

4. Termisk stødmodstand, kan fremskynde operationscyklussen

5. Stærk grafitvedhæftning sikrer lang levetid og ingen belægningsdelaminering.

6. Strenge dimensionstolerancer.

Hovedapplikationer:

1. Epitaksial vækst

2. Enkelt krystal vækst

3. Korrosionsafledning ved høj temperatur

4. Høj temperatur og oxidationsbestandig dyse

5. Gasturbine vinger

Produktparameter for den TaC-coatede trebladede ring

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Massefylde	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne	0.3
Termisk udvidelseskoefficient	6,3 10-6/K
Hårdhed (HK)	2000 HK
Modstand	1×10-5 Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstørrelsen ændres	-10~-20um
Belægningstykkelse	≥20um typisk værdi (35um±10um)