Siliciumcarbid wafer Chuck

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck bruger siliciumcarbidmaterialernes fremragende egenskaber til at opfylde de strenge krav til halvlederproduktion, især inden for halvlederbehandling, der kræver ekstrem høj præcision og pålidelighed.

I halvlederbehandlingsprocessen,Siliciumcarbidhar fremragende højtemperaturmodstand (kan arbejde stabilt ved op til 1400°C), lav ledningsevne (SiC har en relativt lav ledningsevne, typisk 10^^-3S/m) og lav termisk udvidelseskoefficient (ca. 4,0 × 10^^-6/°C), som er et uundværligt og vigtigt materiale, især velegnet til fremstilling af siliciumcarbidwafer-chuck.

I løbet afepitaksial vækstproces, aflejres et tyndt lag af halvledermateriale på et substrat, hvilket kræver absolut stabilitet fra waferen for at sikre ensartede filmaflejringslag af høj kvalitet. SiC Vacuum Chuck opnår dette ved at skabe et fast, ensartet vakuumhold for at forhindre enhver bevægelse eller deformation af waferen.

Siliciumcarbid Wafer Chuck tilbyder også fremragende modstand mod termisk stød. Hurtige temperaturændringer er almindelige i halvlederfremstilling, og materialer, der ikke kan modstå disse udsving, kan revne, bøje eller svigte. Siliciumcarbid har en lav termisk udvidelseskoefficient og kan bevare sin form og funktion selv under drastiske temperaturændringer, hvilket sikrer, at waferen forbliver sikker under epitaksiprocessen uden bevægelse eller fejljustering.

Desudenepitaksi procesinvolverer ofte reaktive gasser og andre ætsende kemikalier. Den kemiske inertitet af SiC Wafer Chuck sikrer, at den ikke påvirkes af disse barske miljøer, bevarer dens ydeevne og forlænger dens levetid. Denne kemiske holdbarhed reducerer ikke kun hyppigheden af ​​udskiftning af Wafer Chuck, men sikrer også ensartet produktydelse over flere produktionscyklusser, hvilket hjælper med at forbedre den overordnede effektivitet og omkostningseffektivitet af halvlederfremstillingsprocessen.

VeTek Semiconductor er en førende producent og leverandør af Silicon Carbide Wafer Chuck-produkter i Kina. Vi kan levere forskellige typer Chuck produkter som f.eksPorøs SiC Keramisk Chuck, Porøs SiC Vakuum Chuck, Porøs keramisk vakuumpatronogTaC Coated Chuck, etc. VeTek Semiconductor er forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien. Vi håber inderligt at blive din langsigtede partner i Kina.

SEM DATA AF CVDSIC FILM KRYSTAL STRUKTUR：

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck Shops：