varmelegeme i siliciumcarbid keramisk belægning

VeTek SemiconductorSilicon Carbide Ceramic Coating Heater er en varmelegeme designet til høje temperaturer og barske miljøer. Det belægger et lag af silicium carbon keramisk belægning (SiC) på overfladen af ​​varmeelementet for at give udstyret fremragende varmebestandighed, korrosionsbestandighed og termisk ledningsevne. 

Siliciumcarbid keramisk belægningsvarmerbruges hovedsageligt i vakuumbelægningsudstyr (fordampning). De almindeligt anvendte metoder er PCD (Plasma Chemical Drying) og PVD (Physical vapour deposition), som er meget udbredt i halvlederfremstilling og andre høje krav industrielle applikationer.

Kombineret med det højtydende belægningsdesign af siliciumcarbid keramisk belægningsvarmer,det kan give en fremragende varmeløsning til højtemperaturprocesser.

Fremragende varmeledningsevne: SiC-materiale har fremragende varmeledningsevne, hvilket sikrer, at varmeren kan opnå ensartet varmefordeling i arbejdsområdet og reducere temperaturgradienter.

Sørg for ensartet varmefordeling: Siliciumcarbid keramisk belægningsvarmer bruger SiC-materialets høje termiske ledningsevne til at opnå ensartet temperaturfordeling i hele varmeområdet. Dette er afgørende for at sikre ensartet varmebehandling af halvlederskiver i forskellige højtemperaturprocesser såsom hurtig termisk behandling (RTP), diffusion og oxidation, for at undgå produktfejl forårsaget af lokal overophedning eller ujævn temperatur.

Høj temperaturtolerance: SiC-belægning gør, at varmelegemet kan modstå ekstremt høje temperaturer, typisk op til 1600°C, velegnet til forskellige højtemperaturbehandlingsprocesser.

Forbedre varmemodstanden: Fordi belægningen kan modstå ekstremt høje temperaturer, klarer den sig godt i processer, der kræver langvarig højtemperaturdrift. For eksempel i processer med kemisk dampudfældning (CVD) kan Silicon Carbide Ceramic Coating Heater sikre langsigtet stabil drift af udstyret ved høje temperaturer og opretholde en ensartet opvarmningsydelse, hvorved processens repeterbarhed og pålidelighed forbedres.

Kemisk korrosionsbestandighed: SiC-belægning har ekstrem høj modstandsdygtighed over for syre, alkali og ætsende gasser og kan forblive stabil i lang tid i et komplekst kemisk atmosfæremiljø, hvilket forlænger udstyrets levetid. 

Forlængelse af udstyrets levetid: SiC-belægning har fremragende oxidationsbestandighed og korrosionsbestandighed og kan effektivt modstå kemisk erosion og oxidation ved høje temperaturer. Dette er meget kritisk i halvlederfremstillingsprocessen, især i et miljø, der håndterer ætsende gasser og kemikalier. Belægningens beskyttende effekt kan forlænge varmerens levetid betydeligt og reducere hyppigheden af ​​udstyrsudskiftning og vedligeholdelsesomkostninger.

Grundlæggende fysiske egenskaber af siliciumcarbid keramisk belægningsvarmer:

VeTek Semiconductor siliciumcarbid keramiske belægningsvarmeværksteder:

Oversigt over VeTek halvlederchip-epitaxy-industrikæden: