siliciumcarbid keramisk belægning grafit varmelegeme

VeTek Semiconductor Siliciumcarbid keramisk belægning grafitvarmerkombinerer den fremragende elektriske og termiske ledningsevne af grafit med høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed og slidstyrke af silicium carbon keramisk belægning, og er designet til barske halvleder fremstillingsmiljøer. 

Siliciumcarbid keramisk belægning grafitvarmeranvendes hovedsageligt i vakuumbelægningsudstyr (fordampning), og de almindeligt anvendte metoder er PCD (Plasma Chemical Drying) og PVD (Physical vapor deposition). Dette produkt har spillet en vigtig rolle i at fremme teknologiske fremskridt og forbedre produktionseffektiviteten i halvlederindustrien.Vi ser oprigtigt frem til yderligere samarbejde med dig.

Materiale og strukturelle egenskaber af siliciumcarbid keramisk belægning grafitvarmer er som følger:

Grafit substrat: Grafit er kendt for sin høje termiske ledningsevne og lave termiske udvidelseskoefficient. Den kan reagere hurtigt på temperaturændringer og opretholde strukturel stabilitet ved høje temperaturer.

Silicium carbon keramisk belægning: SiC-belægning er jævnt belagt på grafitoverfladen gennem kemisk dampaflejring eller andre avancerede processer. SiC har ekstrem høj hårdhed og kemisk korrosionsbestandighed, hvilket kan beskytte grafitsubstratet mod højtemperaturoxidation og korrosive miljøer.

Det særlige produkt strukturelle design af siliciumcarbid keramisk belægning grafitvarmer bestemmerde uerstattelige produktfordele ved dette produkt i halvlederbehandlingsprocessen:

Effektiv og ensartet opvarmning:

Termisk ledningsevne: Den høje termiske ledningsevne af grafit gør det muligt for varmelegemet hurtigt at nå og opretholde den nødvendige temperatur, og SiC-belægningen sikrer ensartet fordeling af varme. Dette er især vigtigt for halvlederprocesser, der kræver præcis temperaturkontrol, såsom hurtig termisk behandling (RTP) og kemisk dampaflejring (CVD).

Temperaturensartethed: Gennem ensartet varmefordeling kan Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater effektivt reducere termisk stress og temperaturgradient, hvilket sikrer konsistensen og kvalitetsstabiliteten af ​​halvlederwafere gennem hele opvarmningsprocessen.

Anti-korrosionsbeskyttelse:

Kemisk resistens: SiC-belægningens kemiske korrosionsbestandighed gør det muligt for varmeren at fungere stabilt og i lang tid i ætsende gas- og kemiske miljøer, hvilket undgår beskadigelse af grafitsubstratet. Denne egenskab er især kritisk i processer som kemisk dampaflejring (CVD) og plasmaforstærket kemisk dampaflejring (PECVD).

Oxidationsmodstand: Ved høje temperaturer kan SiC-belægning forhindre oxidation af grafitsubstratet, forlænge varmerens levetid og reducere hyppigheden og omkostningerne ved vedligeholdelse af udstyr.

Reducer partikelforurening:

Overfladestabilitet: SiC-belægning er ikke kun slidstærk, men forhindrer også partikler i at falde af materialeoverfladen på grund af termiske cyklusser eller kemiske reaktioner, og reducerer derved risikoen for partikelforurening, der kan forekomme under halvlederfremstilling, og sikrer et procesmiljø med høj renhed.

Forbedre procespålidelighed og effektivitet:

Design med lang levetid: På grund af kombinationen af ​​den mekaniske styrke af grafit og slidstyrken af ​​SiC-belægning kan Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater opretholde højeffektiv drift i lang tid under barske procesforhold, hvilket væsentligt forbedrer udstyrets overordnede pålidelighed.

Effektiv energiudnyttelse: Den høje termiske ledningsevne af grafit og højtemperaturstabiliteten af ​​SiC-belægningen gør det muligt for varmeren at reducere energiforbruget og samtidig forbedre temperaturstyringens nøjagtighed og derved forbedre den overordnede effektivitet af halvlederproduktion.

Grundlæggende fysiske egenskaber vedSiliciumcarbid keramisk belægning grafitvarmer:

VeTek SemiconductorSiliciumcarbid keramisk belægning grafitvarmerbutikker:

Oversigt over halvlederchip-epitaksi-industrikæden:

/anden-proces