Siliciumcarbid keramisk belægning

Vetek Semiconductor Siliciumcarbid keramisk belægninger en højtydende beskyttende belægning lavet af ekstremt hårdt og slidstærkt siliciumcarbid (SiC) materiale, som giver fremragende kemisk korrosionsbestandighed og høj temperaturstabilitet. Disse egenskaber er afgørende i halvlederproduktion, så siliciumcarbid keramisk belægning er meget udbredt på nøglekomponenter i halvlederfremstillingsudstyr.

Den specifikke rolle, som Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating spiller i halvlederproduktion ersom følger:

Forbedre udstyrets holdbarhed: Siliciumcarbid keramisk belægning giver fremragende overfladebeskyttelse til halvlederfremstillingsudstyr med sin ekstremt høje hårdhed og slidstyrke. Især i højtemperatur, stærkt korrosive procesmiljøer, såsom kemisk dampaflejring (CVD) og plasmaætsning, kan siliciumcarbid keramisk belægning effektivt forhindre beskadigelse af udstyrets overflade på grund af kemisk erosion eller fysisk slid og derved forlænge levetiden af udstyret og reducere nedetid forårsaget af hyppig udskiftning og vedligeholdelse.

Forbedre processens renhed: I halvlederfremstillingsprocessen kan enhver lille forurening forårsage produktfejl. Den kemiske inertitet af siliciumcarbid keramisk belægning gør det muligt at forblive stabilt under ekstreme forhold, forhindre materialet i at frigive partikler eller urenheder og sikre renheden af ​​miljøet under processen. Dette er især vigtigt for fremstillingstrin, der kræver høj præcision og høj renlighed, såsom PECVD og ionimplantation.

Optimer termisk styring: Ved højtemperatur-halvlederbehandling, såsom hurtig termisk behandling (RTP) og oxidationsprocesser, muliggør den høje termiske ledningsevne af siliciumcarbidkeramisk belægning en ensartet temperaturfordeling inde i udstyret. Dette hjælper med at reducere termisk stress og materialedeformation forårsaget af temperaturudsving og forbedrer derved produktets fremstillingsnøjagtighed og konsistens.

Understøtte komplekse procesmiljøer: I processer, der kræver kompleks atmosfærekontrol, såsom ICP-ætsnings- og PSS-ætsningsprocesser, sikrer stabiliteten og oxidationsmodstanden af ​​den keramiske siliciumcarbidbelægningsvarmer udstyrets stabile ydeevne i langtidsdrift, hvilket reducerer risikoen for materialenedbrydning eller udstyr. skader som følge af miljøændringer.

Vetek Semiconductorfokuserer på at fremstille og levere højtydendeSiliciumcarbid keramisk belægning, og er forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien.Vi håber inderligt at være din langsigtede partner i Kina.

Grundlæggende fysiske egenskaber vedSiliciumcarbid keramisk belægning:

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Keramisk Coating butikker:

Oversigt over halvlederchip-epitaksi-industrikæden: