TaC Coating Reservedel

VeTek SemiconductorTaC belægningspladeer et særligt materiale, der er meget udbredt ihalvlederfremstillingsprocessen. Kombineret med dens høje hårdhed og slidstyrke, høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, lave friktionskoefficient og gode termiske ledningsevne, spiller TaC Coating Plate en uerstattelig rolle i mange led af halvlederbehandling.

Generelt er anvendelserne afTaC belagte pladeri halvlederbehandling er som følger:

CVD/ALD vækstsubstrat: Den høje temperaturbestandighed, kemiske stabilitet og lave friktionskoefficient for TaC-belagte plader gør dem til ideelle CVD/ALD-vækstsubstrater. Det kan give et stabilt vækstmiljø for at sikre ensartethed og tæthed af filmen.

Ætsende maskeplade: Den høje hårdhed og korrosionsbestandighed af TaC-belagte plader gør dem i stand til at modstå højenergiprocesser såsom plasmaætsning, som ætsende maskeplader, der beskytter den underliggende film.

CMP polerpude: Slidstyrken og den lave friktionskoefficient for TaC-belagte plader gør dem til ideelle materialer til CMP-poleringspuder, som effektivt kan fjerne partikler og defekter på filmens overflade.

Højtemperatur ovnrør: Højtemperaturbestandigheden og korrosionsbestandigheden af ​​TaC-belagte plader gør det muligt at bruge dem som ovnrør i højtemperaturovne til højtemperaturudglødning, diffusion og andre processer.

Kombineret med produktets egenskaberTaC belægningsplade, fastslår det, at dette produkt spiller en uerstattelig nøglerolle i at forbedre enhedens ydeevne, forlænge udstyrets levetid og forbedre produktionseffektiviteten. 

Som en professionel producent afGaN på SiC epi-acceptor, Porøs grafitogTaC belægningspladei Kina insisterer VeTek Semiconductor altid på at levere skræddersyede produkttjenester og er forpligtet til at forsyne industrien med topteknologi og produktløsninger. Vi ser frem til din videre konsultation.

CVD TAC COATING Tekniske parametre：

TaC Coating reservedelsbutikker：

Oversigt over halvlederchip-epitaksi-industrikæden：