> Produkter > Tantalcarbid belægning

Nye produkter

Kina Tantalcarbid belægning producent, leverandør, fabrik

VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiproces. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.

De vigtigste produkter erTantalcarbid-belægningsdefektorring, TaC-belagt afledningsring, TaC-belagte halvmånedele, Tantalcarbide-belagt planetrotationsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringe; TaC belagt porøs grafit; Tantalkarbidbelægning grafitsusceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalcarbid belagt plade; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC belægningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunkosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.

TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystalvækstproces.

Nøglefunktioner:

Temperaturstabilitet

Ultra høj renhed

Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si

Modstandsdygtighed over for termisk materiale

Stærk vedhæftning til grafit

Konform belægningsdækning

Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)

Ansøgninger:

Wafer bærer

Induktiv varmemodtager

Resistivt varmeelement

Satellit disk

Brusehoved

Styrering

LED Epi modtager

Indsprøjtningsdyse

Maskeringsring

Varmeskjold

Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne	0.3
Termisk udvidelseskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhed (HK)	2000 HK
Modstand	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstørrelsen ændres	-10~-20um
Belægningstykkelse	≥20um typisk værdi (35um±10um)

TaC coating EDX data：

TaC coating EDX data

TaC coating krystal struktur data

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gennemsnit
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk TaC belagt plade TaC Coating Rotationsplade TaC coating susceptor CVD TaC belægningsdæksel CVD TaC belægningsring TaC belægningsplade

View as

CVD TaC belægningsdigel

VeTek Semiconductor er en professionel producent og leder af CVD TaC Coating Crucible-produkter i Kina. CVD TaC Coating Crucible er baseret på tantal carbon (TaC) coating. Tantal-carbonbelægningen er jævnt dækket på overfladen af digelen gennem kemisk dampaflejring (CVD) proces for at forbedre dens varmebestandighed og korrosionsbestandighed. Det er et materialeværktøj specielt brugt i ekstreme højtemperaturmiljøer. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

CVD TaC Coating Wafer Carrier

Som en professionel CVD TaC Coating Wafer Carrier produktproducent og fabrik i Kina, er VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier et waferbærende værktøj specielt designet til høje temperaturer og korrosive miljøer i halvlederfremstilling. Dette produkt har høj mekanisk styrke, fremragende korrosionsbestandighed og termisk stabilitet, hvilket giver den nødvendige garanti for fremstilling af højkvalitets halvlederenheder. Dine yderligere henvendelser er velkomne.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coating Heater

VeTek Semiconductor er en førende producent og innovator af TaC Coating Heater i Kina. Dette produkt har et ekstremt højt smeltepunkt (ca. 3880°C). Det høje smeltepunkt af TaC Coating Heater gør det muligt for den at fungere ved ekstremt høje temperaturer, især i væksten af galliumnitrid (GaN) epitaksiale lag i den metalorganiske kemiske dampudfældning (MOCVD). VeTek Semiconductor er forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coated Chuck

Som en professionel producent og leverandør af TaC Coated Chuck i Kina er VeTek Semiconductors TaC Coating Chuck specielt designet til halvlederovne. Med sin høje temperaturbestandighed, kemiske inertitet og fremragende ydeevne giver Vetek Semiconductors innovative teknologi en pålidelig løsning til halvlederfremstillingsindustrien for at sikre højkvalitets produktionsstandarder. Vi tror på, at vores produkter kan bringe dig avanceret teknologi og produktløsninger af høj kvalitet.

Læs mere Send forespørgsel

TaC belægningsrør

Som en professionel TaC Coating Tube producent og leverandør i Kina er VeTek Semiconductor's TaC coating tube en nøglekomponent for den succesfulde vækst af siliciumcarbid enkeltkrystaller. Med sin høje temperaturbestandighed, kemiske inerthed og fremragende ydeevne sikrer den produktionen af højkvalitetskrystaller med ensartede resultater. Stol på vores innovative løsninger til at forbedre din PVT-metode SiC krystalvækstproces og opnå fremragende resultater. Velkommen til at forespørge os.

Læs mere Send forespørgsel

CVD TAC belægning

VeTek Semiconductor er en førende producent, innovator og leder af CVD TAC Coating i Kina. I mange år har vi haft fokus på forskellige CVD TAC Coating produkter såsom CVD TaC coating cover, CVD TaC Coating Ring, CVD TaC Coating carrier osv. VeTek Semiconductor understøtter kundetilpassede produktservices og tilfredsstillende produktpriser, og ser frem til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

<1 2 3 4 5...7 >

Som en professionel Tantalcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Tantalcarbid belægning fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.