> Produkter > Tantalcarbid belægning

Nye produkter

Kina Tantalcarbid belægning producent, leverandør, fabrik

VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiprocessen. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.

De vigtigste produkter erTantalcarbid-belægningsdefektorring, TaC-belagt afledningsring, TaC-belagte halvmånedele, Tantalcarbide-belagt planetrotationsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringe; TaC belagt porøs grafit; Tantalkarbidbelægning grafitsusceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalcarbid belagt plade; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC belægningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunkosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.

TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystalvækstproces.

Nøglefunktioner:

●Temperaturstabilitet

●Ultra høj renhed

●Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si

●Modstandsdygtighed over for termisk materiale

●Stærk vedhæftning til grafit

●Konform belægningsdækning

● Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)

Ansøgninger:

●Wafer bærer

● Induktiv varmemodtager

● Resistivt varmeelement

●Satellit disk

●Brusehoved

●Styrering

●LED Epi modtager

●Indsprøjtningsdyse

●Maskeringsring

● Varmeskjold

Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne	0.3
Termisk udvidelseskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhed (HK)	2000 HK
Modstand	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstørrelsen ændres	-10~-20um
Belægningstykkelse	≥20um typisk værdi (35um±10um)

TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating

TaC coating krystal struktur data:

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gennemsnit
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk TaC belagt plade TaC Coating Rotationsplade TaC coating modtager CVD TaC belægningsdæksel CVD TaC belægningsring TaC belægningsplade

View as

Tantalcarbid belagt ring

Som en professionel innovator og leder af tantalcarbide-belagte ringprodukter i Kina, spiller VeTek-halvleder-tantalcarbide-belagte ring en uerstattelig rolle i SiC-krystalvækst med sin fremragende højtemperaturbestandighed, slidstyrke og fremragende varmeledningsevne. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

Porøst tantalcarbid

VeTek Semiconductor er en professionel producent og leder af porøse tantalcarbidprodukter i Kina. Porøst tantalcarbid fremstilles normalt ved kemisk dampaflejring (CVD) metode, der sikrer præcis kontrol af dets porestørrelse og fordeling, og er et materialeværktøj dedikeret til ekstreme miljøer med høj temperatur. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

Tantalcarbid ring

Som en avanceret producent og producent af tantalkarbidringprodukter i Kina har VeTek Semiconductor tantalkarbidring ekstrem høj hårdhed, slidstyrke, høj temperaturbestandighed og kemisk stabilitet og er meget udbredt inden for halvlederfremstilling. Især i CVD, PVD, ionimplantationsproces, ætseproces og waferbehandling og -transport er det et uundværligt produkt til halvlederbehandling og -fremstilling. Ser frem til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

Tantalcarbid belægningsstøtte

Som en professionel producent af tantalcarbide belægningsstøtte-produkt og fabrik i Kina, bruges VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support normalt til overfladebelægning af strukturelle komponenter eller støttekomponenter i halvlederudstyr, især til overfladebeskyttelse af nøgleudstyrskomponenter i halvlederfremstillingsprocesser som f.eks. CVD og PVD. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

Tantalcarbid guidering

VeTek Semiconductor er en professionel producent og leder af Tantalcarbide Guide Ring-produkter i Kina. Vores tantalcarbide (TaC) guidering er en højtydende ringkomponent lavet af tantalcarbid, som er almindeligt anvendt i halvlederbehandlingsudstyr, især i høje temperaturer og stærkt korrosive miljøer såsom CVD, PVD, ætsning og diffusion. VeTek Semiconductor er forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien og hilser dine yderligere forespørgsler velkommen.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coating Rotations Susceptor

Som en professionel producent, innovator og leder af TaC Coating Rotation Susceptor-produkter i Kina. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor er normalt installeret i kemisk dampaflejring (CVD) og molekylær stråleepitaksi (MBE) udstyr til at understøtte og rotere wafere for at sikre ensartet materialeaflejring og effektiv reaktion. Det er en nøglekomponent i halvlederbehandling. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

<1 2 3 4 5...8 >

Som en professionel Tantalcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Tantalcarbid belægning fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.