> Produkter > Tantalcarbid belægning

Nye produkter

Kina Tantalcarbid belægning producent, leverandør, fabrik

VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiproces. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.

De vigtigste produkter erTantalcarbid-belægningsdefektorring, TaC-belagt afledningsring, TaC-belagte halvmånedele, Tantalcarbide-belagt planetrotationsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringe; TaC belagt porøs grafit; Tantalkarbidbelægning grafitsusceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalcarbid belagt plade; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC belægningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunkosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.

TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystalvækstproces.

Nøglefunktioner:

Temperaturstabilitet

Ultra høj renhed

Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si

Modstandsdygtighed over for termisk materiale

Stærk vedhæftning til grafit

Konform belægningsdækning

Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)

Ansøgninger:

Wafer bærer

Induktiv varmemodtager

Resistivt varmeelement

Satellit disk

Brusehoved

Styrering

LED Epi modtager

Indsprøjtningsdyse

Maskeringsring

Varmeskjold

Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne	0.3
Termisk udvidelseskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhed (HK)	2000 HK
Modstand	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstørrelsen ændres	-10~-20um
Belægningstykkelse	≥20um typisk værdi (35um±10um)

TaC coating EDX data：

TaC coating EDX data

TaC coating krystal struktur data

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gennemsnit
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk TaC belagt plade TaC Coating Rotationsplade TaC coating susceptor CVD TaC belægningsdæksel CVD TaC belægningsring TaC belægningsplade

View as

CVD TaC belægningsring

VeTek Semiconductors CVD TaC Coating Ring er en yderst fordelagtig komponent designet til at opfylde de krævende krav til siliciumcarbid (SiC) krystalvækstprocesser. CVD TaC belægningsringen giver enestående modstandsdygtighed over for høje temperaturer og kemisk inerthed, hvilket gør den til et ideelt valg til miljøer præget af høje temperaturer og korrosive forhold. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

LPE SiC EPI Halvmåne

LPE SiC Epi Halfmoon af VeTek Semiconductor, et revolutionerende produkt designet til at hæve LPE-reaktor SiC-epitaksiprocesser. Denne banebrydende løsning kan prale af adskillige nøglefunktioner, der sikrer overlegen ydeevne og effektivitet gennem hele din fremstillingsproces. Ser frem til at etablere et langsigtet samarbejde med dig.

Læs mere Send forespørgsel

LED EPI modtager

VeTek Semiconductor er en førende leverandør af TaC-belægninger og SiC-belægningsgrafitdele. Vi specialiserer os i produktion af banebrydende LED EPI Susceptorer, essentielle for LED-epitaksiprocesser. Med et stærkt fokus på innovation og kvalitet tilbyder vi pålidelige løsninger, der opfylder LED-industriens strenge krav. Kontakt os i dag for at diskutere dine forespørgsler og finde ud af, hvordan vores produkter kan forbedre dine fremstillingsprocesser.

Læs mere Send forespørgsel

MOCVD Susceptor med TaC Coating

VeTek Semiconductor er en omfattende leverandør involveret i forskning, udvikling, produktion, design og salg af TaC-belægninger og SiC-belægningsdele. Vores ekspertise ligger i produktionen af avanceret MOCVD Susceptor med TaC Coating, som spiller en afgørende rolle i LED-epitaksiprocessen. Vi byder dig velkommen til at diskutere med os forespørgsler og yderligere information.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coated Dyb UV LED Susceptor

VeTek Semiconductor er en integreret leverandør, der beskæftiger sig med forskning og udvikling, produktion, design og salg af TaC-belægninger. Vi er specialiserede i fremstilling af kantskærende TaC Coated UV LED Susceptorer, som er afgørende komponenter i LED-epitaxiprocessen. Vores TaC Coated Deep UV LED Susceptor tilbyder høj termisk ledningsevne, høj mekanisk styrke, forbedret produktionseffektivitet og epitaksial waferbeskyttelse. Velkommen til at forespørge os.

Læs mere Send forespørgsel

Tantalcarbide TaC Coated Halfmoon

VeTek Semiconductor er den førende producent og leverandør i Kina for Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, vi har specialiseret os i R&D og produktion, kan kontrollere kvaliteten godt og tilbyde en konkurrencedygtig pris. Du er velkommen til at besøge vores fabrik for yderligere diskussion om et langsigtet samarbejde.

Læs mere Send forespørgsel

<...3 4 5 6 7 >

Som en professionel Tantalcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Tantalcarbid belægning fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.