TaC Coating piedestal støtteplade

VeTek Semiconductor er en kinesisk producent og leverandør, der hovedsageligt producerer CVD TaC belægningssusceptorer, indløbsring, Wafer Chunck, TaC belagt holder, TaC Coating Pedestal Support Plate med mange års erfaring. Håber at opbygge forretningsforbindelser med dig.

TaC-keramik har et smeltepunkt på op til 3880 ℃, høj hårdhed (Mohs hårdhed 9 ~ 10), stor termisk ledningsevne (22W·m-1·K−1), stor bøjningsstyrke (340 ~ 400MPa) og lille termisk udvidelse koefficient (6,6×10−6K−1), og viser fremragende termokemisk stabilitet og fremragende fysiske egenskaber. Det har god kemisk og mekanisk kompatibilitet med grafit- og C/C-kompositmaterialer, så TaC-belægning er meget udbredt i rumfarts termisk beskyttelse, enkeltkrystalvækst og epitaksiale reaktorer som Aixtron, LPE EPI-reaktor i halvlederindustrien. TaC-belagt grafit har bedre kemisk korrosionsbestandighed end blot stenblæk eller SiC-belagt grafit, kan bruges stabilt ved 2200° høj temperatur, reagerer ikke med mange metalelementer, er tredje generation af halvleder-enkeltkrystalvækst, epitaksi og waferætsningsscene af den bedste ydeevne belægning, kan væsentligt forbedre processen med temperatur- og urenhedskontrol, Forberedelse af højkvalitets siliciumcarbidskiver og relaterede epitaksiale wafere. Det er især velegnet til dyrkning af GaN eller AlN enkeltkrystal i MOCVD-udstyr og SiC-enkeltkrystal i PVT-udstyr, og kvaliteten af ​​den dyrkede enkeltkrystal er naturligvis forbedret.

TaC coating og SiC coating Reservedele vi kan lave:

Parameter for TaC-belægning:

Industriel kæde:

Produktionsbutik