VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiprocessen. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.
De vigtigste produkter erTantalcarbid-belægningsdefektorring, TaC-belagt afledningsring, TaC-belagte halvmånedele, Tantalcarbide-belagt planetrotationsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringe; TaC belagt porøs grafit; Tantalkarbidbelægning grafitsusceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalcarbid belagt plade; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC belægningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunkosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.
TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:
Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystalvækstproces.
●Temperaturstabilitet
●Ultra høj renhed
●Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si
●Modstandsdygtighed over for termisk materiale
●Stærk vedhæftning til grafit
●Konform belægningsdækning
● Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)
● Induktiv varmemodtager
● Resistivt varmeelement
● Varmeskjold
Fysiske egenskaber ved TaC-belægning | |
Tæthed | 14,3 (g/cm³) |
Specifik emissionsevne | 0.3 |
Termisk udvidelseskoefficient | 6,3 10-6/K |
Hårdhed (HK) | 2000 HK |
Modstand | 1×10-5Ohm*cm |
Termisk stabilitet | <2500℃ |
Grafitstørrelsen ændres | -10~-20um |
Belægningstykkelse | ≥20um typisk værdi (35um±10um) |
Element | Atomprocent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Gennemsnit | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductors CVD TaC Coating Ring er en yderst fordelagtig komponent designet til at opfylde de krævende krav til siliciumcarbid (SiC) krystalvækstprocesser. CVD TaC belægningsringen giver enestående modstandsdygtighed over for høje temperaturer og kemisk inerthed, hvilket gør den til et ideelt valg til miljøer præget af høje temperaturer og korrosive forhold. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselLPE SiC Epi Halfmoon af VeTek Semiconductor, et revolutionerende produkt designet til at hæve LPE-reaktor SiC-epitaksiprocesser. Denne banebrydende løsning kan prale af adskillige nøglefunktioner, der sikrer overlegen ydeevne og effektivitet gennem hele din fremstillingsproces. Ser frem til at etablere et langsigtet samarbejde med dig.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende leverandør af TaC-belægninger og SiC-belægningsgrafitdele. Vi specialiserer os i produktion af banebrydende LED EPI Susceptorer, essentielle for LED-epitaksiprocesser. Med et stærkt fokus på innovation og kvalitet tilbyder vi pålidelige løsninger, der opfylder LED-industriens strenge krav. Kontakt os i dag for at diskutere dine forespørgsler og finde ud af, hvordan vores produkter kan forbedre dine fremstillingsprocesser.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en omfattende leverandør involveret i forskning, udvikling, produktion, design og salg af TaC-belægninger og SiC-belægningsdele. Vores ekspertise ligger i produktionen af avanceret MOCVD Susceptor med TaC Coating, som spiller en afgørende rolle i LED-epitaksiprocessen. Vi byder dig velkommen til at diskutere med os forespørgsler og yderligere information.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en integreret leverandør, der beskæftiger sig med forskning og udvikling, produktion, design og salg af TaC-belægninger. Vi er specialiserede i fremstilling af kantskærende TaC Coated UV LED Susceptorer, som er afgørende komponenter i LED-epitaxiprocessen. Vores TaC Coated Deep UV LED Susceptor tilbyder høj termisk ledningsevne, høj mekanisk styrke, forbedret produktionseffektivitet og epitaksial waferbeskyttelse. Velkommen til at forespørge os.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er den førende producent og leverandør i Kina for Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, vi har specialiseret os i R&D og produktion, kan kontrollere kvaliteten godt og tilbyde en konkurrencedygtig pris. Du er velkommen til at besøge vores fabrik for yderligere diskussion om et langsigtet samarbejde.
Læs mereSend forespørgsel