> Produkter > Tantalcarbid belægning

Nye produkter

Kina Tantalcarbid belægning producent, leverandør, fabrik

VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiprocessen. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.

De vigtigste produkter erTantalcarbid-belægningsdefektorring, TaC-belagt afledningsring, TaC-belagte halvmånedele, Tantalcarbide-belagt planetrotationsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringe; TaC belagt porøs grafit; Tantalkarbidbelægning grafitsusceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalcarbid belagt plade; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC belægningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunkosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.

TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystalvækstproces.

Nøglefunktioner:

●Temperaturstabilitet

●Ultra høj renhed

●Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si

●Modstandsdygtighed over for termisk materiale

●Stærk vedhæftning til grafit

●Konform belægningsdækning

● Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)

Ansøgninger:

●Wafer bærer

● Induktiv varmemodtager

● Resistivt varmeelement

●Satellit disk

●Brusehoved

●Styrering

●LED Epi modtager

●Indsprøjtningsdyse

●Maskeringsring

● Varmeskjold

Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne	0.3
Termisk udvidelseskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhed (HK)	2000 HK
Modstand	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstørrelsen ændres	-10~-20um
Belægningstykkelse	≥20um typisk værdi (35um±10um)

TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating

TaC coating krystal struktur data:

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gennemsnit
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk TaC belagt plade TaC Coating Rotationsplade TaC coating modtager CVD TaC belægningsdæksel CVD TaC belægningsring TaC belægningsplade

View as

Tantalkarbidbelagt rør til krystalvækst

VeTek Semiconductor er en førende tantalkarbidbelagt rør til krystalvækst-producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i keramisk belægning i mange år. Vores produkter har en høj renhed og høj temperaturbestandighed. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

TaC belagt ring til SiC epitaksial reaktor

VeTek Semiconductor er en storstilet TaC Coated Ring til SiC Epitaxial Reactor producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i TaC coating i mange år. Vores produkter har høj renhed, høj stabilitet, fremragende korrosionsbestandighed, høj bindingsstyrke. frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

Tantalkarbidbelagt halvmånedel til LPE

VeTek Semiconductor er en storskala tantalkarbidbelagt halvmånedel til LPE-producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i TaC-belægning i mange år.Vores produkter kan modstå temperaturer over 2000 grader Celsius, forlænge levetiden af forbrugsstoffer.Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coated Guide Ring

VeTek Semiconductor er en førende TaC Coated Guide Ring producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i keramisk coating i mange år. TaC Coated Guide Ring bruges primært til at styre og kontrollere luftstrømmen, hvilket øger udbyttet af enkeltkrystalvækst. Velkommen til at forespørge os for yderligere information.

Læs mere Send forespørgsel

Tantalkarbidbelagt planetrotationsskive

VeTek Semiconductor er en førende producent og innovator af tantalkarbidbelagte planetariske rotationsskiver i Kina. Vi har været specialiseret i keramisk belægning i mange år. Vores produkter har en høj renhed og høj temperaturbestandighed. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coated Graphite Wafer Carrier

VeTek Semiconductor er en førende TaC Coated Graphite Wafer Carrier producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC og TaC coating i mange år. Vores TaC coated grafit wafer carrier har en højere temperaturbestandighed og slidstærk. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

<...4 5 6 7 8 >

Som en professionel Tantalcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Tantalcarbid belægning fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.