VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiprocessen. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.
De vigtigste produkter erTantalcarbid-belægningsdefektorring, TaC-belagt afledningsring, TaC-belagte halvmånedele, Tantalcarbide-belagt planetrotationsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringe; TaC belagt porøs grafit; Tantalkarbidbelægning grafitsusceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalcarbid belagt plade; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC belægningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunkosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.
TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:
Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystalvækstproces.
●Temperaturstabilitet
●Ultra høj renhed
●Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si
●Modstandsdygtighed over for termisk materiale
●Stærk vedhæftning til grafit
●Konform belægningsdækning
● Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)
● Induktiv varmemodtager
● Resistivt varmeelement
● Varmeskjold
Fysiske egenskaber ved TaC-belægning | |
Tæthed | 14,3 (g/cm³) |
Specifik emissionsevne | 0.3 |
Termisk udvidelseskoefficient | 6,3 10-6/K |
Hårdhed (HK) | 2000 HK |
Modstand | 1×10-5Ohm*cm |
Termisk stabilitet | <2500℃ |
Grafitstørrelsen ændres | -10~-20um |
Belægningstykkelse | ≥20um typisk værdi (35um±10um) |
Element | Atomprocent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Gennemsnit | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor er en professionel producent og leder af CVD TaC Coating Crucible-produkter i Kina. CVD TaC Coating Crucible er baseret på tantal carbon (TaC) coating. Tantal-carbonbelægningen er jævnt dækket på overfladen af digelen gennem kemisk dampaflejring (CVD) proces for at forbedre dens varmebestandighed og korrosionsbestandighed. Det er et materialeværktøj specielt brugt i ekstreme højtemperaturmiljøer. Velkommen til din videre konsultation.
Læs mereSend forespørgselSom en professionel CVD TaC Coating Wafer Carrier produktproducent og fabrik i Kina, er VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier et waferbærende værktøj specielt designet til høje temperaturer og korrosive miljøer i halvlederfremstilling. og CVD TaC Coating Wafer Carrier har høj mekanisk styrke, fremragende korrosionsbestandighed og termisk stabilitet, hvilket giver den nødvendige garanti for fremstilling af højkvalitets halvlederenheder. Dine yderligere henvendelser er velkomne.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende producent og innovator af TaC Coating Heater i Kina. Dette produkt har et ekstremt højt smeltepunkt (ca. 3880°C). Det høje smeltepunkt af TaC Coating Heater gør det muligt for den at fungere ved ekstremt høje temperaturer, især i væksten af galliumnitrid (GaN) epitaksiale lag i den metalorganiske kemiske dampudfældning (MOCVD). VeTek Semiconductor er forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSom en professionel producent og leverandør af TaC Coated Chuck i Kina er VeTek Semiconductors TaC Coating Chuck specielt designet til halvlederovne. Med sin høje temperaturbestandighed, kemiske inertitet og fremragende ydeevne giver Vetek Semiconductors innovative teknologi en pålidelig løsning til halvlederfremstillingsindustrien for at sikre højkvalitets produktionsstandarder. Vi tror på, at vores produkter kan bringe dig avanceret teknologi og produktløsninger af høj kvalitet.
Læs mereSend forespørgselSom en professionel TaC Coating Tube producent og leverandør i Kina er VeTek Semiconductor's TaC coating tube en nøglekomponent for den succesfulde vækst af siliciumcarbid enkeltkrystaller. Med sin høje temperaturbestandighed, kemiske inerthed og fremragende ydeevne sikrer den produktionen af højkvalitetskrystaller med ensartede resultater. Stol på vores innovative løsninger til at forbedre din PVT-metode SiC krystalvækstproces og opnå fremragende resultater. Velkommen til at forespørge os.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende producent, innovator og leder af CVD TAC Coating i Kina. I mange år har vi haft fokus på forskellige CVD TAC Coating produkter såsom CVD TaC coating cover, CVD TaC Coating Ring, CVD TaC Coating carrier osv. VeTek Semiconductor understøtter kundetilpassede produktservices og tilfredsstillende produktpriser, og ser frem til din videre konsultation.
Læs mereSend forespørgsel