> Produkter > Tantalcarbid belægning

Nye produkter

Kina Tantalcarbid belægning producent, leverandør, fabrik

VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiproces. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.

De vigtigste produkter erTantalcarbid-belægningsdefektorring, TaC-belagt afledningsring, TaC-belagte halvmånedele, Tantalcarbide-belagt planetrotationsskive (Aixtron G10), TaC-belagt smeltedigel; TaC-belagte ringe; TaC belagt porøs grafit; Tantalkarbidbelægning grafitsusceptor; TaC Coated Guide Ring; TaC Tantalcarbid belagt plade; TaC Coated Wafer Susceptor; TaC belægningsring; TaC Coating Grafit Cover; TaC Coated Chunkosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.

TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC-krystalvækstproces.

Nøglefunktioner:

Temperaturstabilitet

Ultra høj renhed

Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si

Modstandsdygtighed over for termisk materiale

Stærk vedhæftning til grafit

Konform belægningsdækning

Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)

Ansøgninger:

Wafer bærer

Induktiv varmemodtager

Resistivt varmeelement

Satellit disk

Brusehoved

Styrering

LED Epi modtager

Indsprøjtningsdyse

Maskeringsring

Varmeskjold

Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne	0.3
Termisk udvidelseskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhed (HK)	2000 HK
Modstand	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstørrelsen ændres	-10~-20um
Belægningstykkelse	≥20um typisk værdi (35um±10um)

TaC coating EDX data：

TaC coating EDX data

TaC coating krystal struktur data

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gennemsnit
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk TaC belagt plade TaC Coating Rotationsplade TaC coating susceptor CVD TaC belægningsdæksel CVD TaC belægningsring TaC belægningsplade

View as

TaC Coating Reservedel

VeTek Semiconductor er en professionel producent af TaC Coating Plate og andre TaC Coating reservedele i Kina. TaC Coating bruges i øjeblikket hovedsageligt i processer som siliciumcarbid-enkeltkrystalvækst (PVT-metoden), epitaksialskive (inklusive siliciumcarbidepitaksi, LED-epitaksi) osv. Kombineret med den gode langsigtede stabilitet af TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate er blevet benchmark for TaC Coating reservedele. Vi ser frem til, at du bliver vores langsigtede partner.

Læs mere Send forespørgsel

GaN på SiC epi-acceptor

VeTek Semiconductor er en professionel producent af GaN på SiC epi susceptor, CVD SiC coating og CVD TAC COATING grafit susceptor i Kina. Blandt dem spiller GaN på SiC epi-susceptor en vital rolle i halvlederbehandling. Gennem sin fremragende varmeledningsevne, højtemperaturbehandlingsevne og kemiske stabilitet sikrer den den høje effektivitet og materialekvalitet af GaN epitaksial vækstproces. Vi ser frem til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

CVD TaC Coating Carrier

VeTek Semiconductors CVD TaC Coating-bærer er hovedsageligt designet til den epitaksiale proces af halvlederfremstilling. CVD TaC Coating-bærerens ultrahøje smeltepunkt, fremragende korrosionsbestandighed og enestående termisk stabilitet bestemmer uundværligheden af dette produkt i halvlederepitaksiale processer. Vi håber inderligt at opbygge et langsigtet forretningsforhold med dig.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coating Guide Ring

VeTek Semiconductors TaC Coating Guide Ring er skabt ved at påføre tantalcarbid coating på grafitdele ved hjælp af en meget avanceret teknik kaldet kemisk dampaflejring (CVD). Denne metode er veletableret og tilbyder exceptionelle belægningsegenskaber. Ved at bruge TaC Coating Guide Ring kan levetiden for grafitkomponenter forlænges betydeligt, bevægelsen af grafiturenheder kan undertrykkes, og SiC og AIN enkeltkrystalkvaliteten kan opretholdes pålideligt. Velkommen til at forespørge os.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coated Grafit Susceptor

VeTek Semiconductors TaC Coated Graphite Susceptor bruger kemisk dampaflejring (CVD) metode til at forberede tantalcarbid coating på overfladen af grafitdele. Denne proces er den mest modne og har de bedste belægningsegenskaber. TaC Coated Graphite Susceptor kan forlænge levetiden af grafitkomponenter, hæmme migrationen af grafiturenheder og sikre kvaliteten af epitaksi. VeTek Semiconductor ser frem til din forespørgsel.

Læs mere Send forespørgsel

TaC Coating Susceptor

VeTek Semiconductor præsenterer TaC Coating Susceptor, Med sin exceptionelle TaC coating tilbyder denne susceptor en lang række fordele, der adskiller den fra konventionelle løsninger. TaC Coating Susceptoren integreres problemfrit i eksisterende systemer og garanterer kompatibilitet og effektiv drift. Dens pålidelige ydeevne og højkvalitets TaC-belægning leverer konsekvent exceptionelle resultater i SiC-epitaksiprocesser. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

<1 2 3 4 5...7 >

Som en professionel Tantalcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Tantalcarbid belægning fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.