CVD TAC belægning

VeTek Semiconductor er Kinas førende producent af CVD TAC Coating produkter. I mange år har vi fokuseret på forskellige CVD TAC Coating produkter som CVD TaC coating cover, CVD TaC Coating Ring. VeTek Semiconductor understøtter kundetilpassede produkttjenester og tilfredsstillende produktpriser, og ser frem til din videre konsultation.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

CVD TaC Coating (kemisk dampaflejring tantalcarbid coating) er et coatingprodukt, der hovedsageligt består af tantalcarbid (TaC). TaC-belægning har ekstrem høj hårdhed, slidstyrke og høj temperaturbestandighed, hvilket gør den til et ideelt valg til beskyttelse af nøgleudstyrskomponenter og forbedring af procespålidelighed. Det er et uundværligt materiale i halvlederbehandling.

CVD TaC Coating-produkter bruges normalt i reaktionskamre, waferbærere og ætseudstyr og spiller følgende nøgleroller i dem.

CVD TaC-belægning bruges ofte til indvendige komponenter i reaktionskamre såsom substrater, vægpaneler og varmeelementer. Kombineret med dens fremragende højtemperaturbestandighed kan den effektivt modstå erosion af høje temperaturer, ætsende gasser og plasma og dermed effektivt forlænge udstyrets levetid og sikre stabiliteten af processen og renheden af produktproduktionen.

Derudover har TaC-belagte waferbærere (såsom kvartsbåde, armaturer osv.) også fremragende varmebestandighed og kemisk korrosionsbestandighed. Waferbæreren kan give pålidelig støtte til waferen ved høje temperaturer, forhindre waferforurening og deformation og dermed forbedre det samlede spånudbytte.

Ydermere er VeTek Semiconductors TaC-belægning også meget brugt i forskelligt ætsnings- og tyndfilmsudfældningsudstyr, såsom plasmaætsere, kemiske dampaflejringssystemer osv. I disse behandlingssystemer kan CVD TAC Coating modstå højenergi-ionbombardement og stærke kemiske reaktioner , hvorved processens nøjagtighed og repeterbarhed sikres.

Uanset hvad dine specifikke krav er, vil vi matche den bedste løsning til dine CVD TAC Coating-behov og ser frem til din konsultation til enhver tid.

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD TAC Coating:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne	0.3
Termisk udvidelseskoefficient	6.3x10^-6/K
Hårdhed (HK)	2000 HK
Modstand	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstørrelsen ændres	-10~-20um
Belægningstykkelse	≥20um typisk værdi (35um±10um)