TaC Coating Chuck

VeTek Semiconductors TaC Coating Chuck er den ideelle løsning til at opnå exceptionelle resultater i SiC EPI-processen. Med sin TaC-belægning, modstandsdygtighed over for høje temperaturer og kemisk inerthed, giver vores produkt dig mulighed for at producere krystaller af høj kvalitet med præcision og pålidelighed. Velkommen til at forespørge os.

TaC (tantalcarbid) er et materiale, der almindeligvis anvendes til at belægge overfladen af ​​indre dele af epitaksialt udstyr. Det har følgende egenskaber:

Fremragende modstandsdygtighed over for høje temperaturer: TaC-belægninger kan modstå temperaturer op til 2200°C, hvilket gør dem ideelle til applikationer i højtemperaturmiljøer, såsom epitaksiale reaktionskamre.

Høj hårdhed: Hårdheden af ​​TaC når omkring 3000-4000 HV, hvilket er meget hårdere end almindeligt anvendt rustfrit stål eller aluminiumslegering, som effektivt kan forhindre overfladeslid.

Stærk kemisk stabilitet: TaC-belægning fungerer godt i kemisk korrosive miljøer og kan i høj grad forlænge levetiden for epitaksiale udstyrskomponenter.

God elektrisk ledningsevne: TaC belægning har god elektrisk ledningsevne, som er befordrende for elektrostatisk frigivelse og varmeledning.

Disse egenskaber gør TaC-belægning til et ideelt materiale til fremstilling af kritiske dele såsom indvendige bøsninger, reaktionskammervægge og varmeelementer til epitaksialt udstyr. Ved at belægge disse komponenter med TaC, kan den samlede ydeevne og levetid for det epitaksiale udstyr forbedres.

For siliciumcarbid-epitaksi kan TaC-belægningsklump også spille en vigtig rolle. Overfladen af ​​TaC-belægning er glat og tæt, hvilket er befordrende for dannelsen af ​​højkvalitets siliciumcarbidfilm. Samtidig kan den fremragende termiske ledningsevne af TaC hjælpe med at forbedre ensartetheden af ​​temperaturfordelingen inde i udstyret, og derved forbedre temperaturkontrolnøjagtigheden af ​​den epitaksiale proces og i sidste ende opnå højere kvalitet siliciumcarbid epitaksial lagvækst.

Produktparameter for TaC Coating Chunk:

Industriel kæde:

Produktionsbutik