> Produkter > Siliciumcarbid keramik > Ovn til oxidation og diffusion

Nye produkter

Kina Ovn til oxidation og diffusion producent, leverandør, fabrik

Ovne til oxidation og diffusion bruges inden for forskellige områder, såsom halvlederenheder, diskrete enheder, optoelektroniske enheder, kraftelektroniske enheder, solceller og storstilet fremstilling af integrerede kredsløb. De bruges til processer, herunder diffusion, oxidation, udglødning, legering og sintring af wafers.

VeTek Semiconductor er en førende producent med speciale i produktion af højrent grafit, siliciumcarbid og kvarts komponenter i oxidations- og diffusionsovne. Vi er forpligtet til at levere højkvalitets ovnkomponenter til halvleder- og fotovoltaiske industrier og er på forkant med overfladebelægningsteknologi, såsom CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbon osv.

Fordelene ved VeTek Semiconductor siliciumcarbidkomponenter:

Høj temperatur modstand (op til 1600 ℃)

Fremragende varmeledningsevne og termisk stabilitet

God kemisk korrosionsbestandighed

Lav termisk udvidelseskoefficient

Høj styrke og hårdhed

Lang levetid

I oxidations- og diffusionsovne kræver mange komponenter på grund af tilstedeværelsen af høje temperaturer og korrosive gasser brug af højtemperatur- og korrosionsbestandige materialer, blandt hvilke siliciumcarbid (SiC) er et almindeligt anvendt valg. Følgende er almindelige siliciumcarbidkomponenter, der findes i oxidationsovne og diffusionsovne:

Wafer båd

Siliciumcarbid wafer boat er en beholder, der bruges til at bære silicium wafers, som kan modstå høje temperaturer og ikke vil reagere med silicium wafers.

Ovnrør

Ovnrøret er kernekomponenten i diffusionsovnen, der bruges til at rumme siliciumwafers og styre reaktionsmiljøet. Siliciumcarbid ovnrør har fremragende ydeevne ved høj temperatur og korrosionsbestandighed.

Baffelplade

Bruges til at regulere luftstrømmen og temperaturfordelingen inde i ovnen

Termoelement beskyttelsesrør

Anvendes til at beskytte temperaturmålende termoelementer mod direkte kontakt med ætsende gasser.

Cantilever pagaj

Siliciumcarbid udkragede skovle er modstandsdygtige over for høj temperatur og korrosion og bruges til at transportere siliciumbåde eller kvartsbåde, der bærer siliciumwafers ind i diffusionsovnsrørene.

Gasinjektor

Bruges til at indføre reaktionsgas i ovnen, den skal være modstandsdygtig over for høj temperatur og korrosion.

Bådtransportør

Siliciumcarbid wafer bådholder bruges til at fiksere og understøtte silicium wafers, som har fordele såsom høj styrke, korrosionsbestandighed og god strukturel stabilitet.

Ovndør

Siliciumcarbidbelægninger eller -komponenter kan også anvendes på indersiden af ovndøren.

Varmeelement

Siliciumcarbid varmeelementer er velegnede til høje temperaturer, høj effekt og kan hurtigt hæve temperaturer til over 1000 ℃.

SiC Liner

Brugt til at beskytte den indvendige væg af ovnrør, kan det hjælpe med at reducere tabet af varmeenergi og modstå barske miljøer såsom høj temperatur og højt tryk.

View as

SiC Cantilever-pagaj

VeTek Semiconductors SiC Cantilever Paddle er et meget højtydende produkt. Vores SiC Cantilever Paddle bruges normalt i varmebehandlingsovne til håndtering og understøttelse af siliciumwafers, kemisk dampaflejring (CVD) og andre behandlingsprocesser i halvlederfremstillingsprocesser. SiC-materialets høje temperaturstabilitet og høje termiske ledningsevne sikrer høj effektivitet og pålidelighed i halvlederbehandlingsprocessen. Vi er forpligtet til at levere produkter af høj kvalitet til konkurrencedygtige priser og ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

Siliciumcarbid waferbåd til vandret ovn

VeTek Semiconductor er en professionel producent og leverandør i Kina for siliciumcarbid wafer båd til horisontal ovn, med mange års erfaring i R&D og produktion, kan kontrollere kvaliteten godt og tilbyde en konkurrencedygtig pris. Du kan være sikker på at købe siliciumcarbid waferbåden til horisontal ovn hos os.

Læs mere Send forespørgsel

SiC Coated Silicium Carbide Wafer Boat

VeTek Semiconductor er professionel producent og leverandør i Kina til SiC-belagt siliciumcarbid wafer-båd, med mange års erfaring inden for R&D og produktion, kan kontrollere kvaliteten godt og tilbyde en konkurrencedygtig pris. Velkommen til at besøge vores fabrik og have yderligere diskussion om samarbejde.

Læs mere Send forespørgsel

Siliciumcarbid Cantilever-pagaj

VeTek Semiconductors Silicon Carbide Cantilever Paddle er en vigtig komponent i halvlederfremstillingsprocessen, især velegnet til diffusionsovne eller LPCVD-ovne i højtemperaturprocesser som diffusion og RTP. Vores siliciumcarbid Cantilever Paddle er omhyggeligt designet og fremstillet med fremragende højtemperaturmodstand og mekanisk styrke, og kan sikkert og pålideligt transportere wafere til procesrøret under barske procesforhold til forskellige højtemperaturprocesser såsom diffusion og RTP. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

High Pure Silicium Carbide Wafer Carrier

VeTek Semiconductor High Pure Silicium Carbide Wafer Carrier er vigtige komponenter i halvlederbehandling, designet til sikkert at holde og transportere sarte siliciumwafers, der spiller en nøglerolle i alle stadier af fremstillingen. VeTek Semiconductors High Pure Silicium Carbide Wafer Carrier er omhyggeligt designet og fremstillet for at sikre fremragende ydeevne og pålidelighed. VeTek Semiconductor er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, og vi ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

Siliciumcarbid wafer båd

VeTek Semiconductors højrenhed Siliciumcarbid Wafer Boat er lavet af ekstremt rent siliciumcarbidmateriale med fremragende termisk stabilitet, mekanisk styrke og kemisk modstandsdygtighed. Højren siliciumcarbidwaferbåd bruges i varmezoner i halvlederfremstilling, især i højtemperaturmiljøer, og spiller en vigtig rolle i at beskytte wafers, transportere materialer og opretholde stabile processer. VeTek Semiconductor vil fortsætte med at arbejde hårdt for at innovere og forbedre ydeevnen af højrent siliciumcarbidwaferbåd for at imødekomme de skiftende behov for halvlederfremstilling. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

<1 2 >

Som en professionel Ovn til oxidation og diffusion producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Ovn til oxidation og diffusion fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.