> Produkter > Siliciumcarbid keramik > Ovn til oxidation og diffusion

Nye produkter

Kina Ovn til oxidation og diffusion producent, leverandør, fabrik

Ovne til oxidation og diffusion bruges inden for forskellige områder, såsom halvlederenheder, diskrete enheder, optoelektroniske enheder, kraftelektroniske enheder, solceller og storstilet fremstilling af integrerede kredsløb. De bruges til processer, herunder diffusion, oxidation, udglødning, legering og sintring af wafers.

VeTek Semiconductor er en førende producent med speciale i produktion af højrent grafit, siliciumcarbid og kvarts komponenter i oxidations- og diffusionsovne. Vi er forpligtet til at levere højkvalitets ovnkomponenter til halvleder- og fotovoltaiske industrier og er på forkant med overfladebelægningsteknologi, såsom CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbon osv.

Fordelene ved VeTek Semiconductor siliciumcarbidkomponenter:

Høj temperatur modstand (op til 1600 ℃)

Fremragende varmeledningsevne og termisk stabilitet

God kemisk korrosionsbestandighed

Lav termisk udvidelseskoefficient

Høj styrke og hårdhed

Lang levetid

I oxidations- og diffusionsovne kræver mange komponenter på grund af tilstedeværelsen af høje temperaturer og korrosive gasser brug af højtemperatur- og korrosionsbestandige materialer, blandt hvilke siliciumcarbid (SiC) er et almindeligt anvendt valg. Følgende er almindelige siliciumcarbidkomponenter, der findes i oxidationsovne og diffusionsovne:

Wafer båd

Siliciumcarbid wafer boat er en beholder, der bruges til at bære silicium wafers, som kan modstå høje temperaturer og ikke vil reagere med silicium wafers.

Ovnrør

Ovnrøret er kernekomponenten i diffusionsovnen, der bruges til at rumme siliciumwafers og styre reaktionsmiljøet. Siliciumcarbid ovnrør har fremragende ydeevne ved høj temperatur og korrosionsbestandighed.

Baffelplade

Bruges til at regulere luftstrømmen og temperaturfordelingen inde i ovnen

Termoelement beskyttelsesrør

Anvendes til at beskytte temperaturmålende termoelementer mod direkte kontakt med ætsende gasser.

Cantilever pagaj

Siliciumcarbid udkragede skovle er modstandsdygtige over for høj temperatur og korrosion og bruges til at transportere siliciumbåde eller kvartsbåde, der bærer siliciumwafers ind i diffusionsovnsrørene.

Gasinjektor

Bruges til at indføre reaktionsgas i ovnen, den skal være modstandsdygtig over for høj temperatur og korrosion.

Bådtransportør

Siliciumcarbid wafer bådholder bruges til at fiksere og understøtte silicium wafers, som har fordele såsom høj styrke, korrosionsbestandighed og god strukturel stabilitet.

Ovndør

Siliciumcarbidbelægninger eller -komponenter kan også anvendes på indersiden af ovndøren.

Varmeelement

Siliciumcarbid varmeelementer er velegnede til høje temperaturer, høj effekt og kan hurtigt hæve temperaturer til over 1000 ℃.

SiC Liner

Brugt til at beskytte den indvendige væg af ovnrør, kan det hjælpe med at reducere tabet af varmeenergi og modstå barske miljøer såsom høj temperatur og højt tryk.

View as

High Purity SiC Cantilever-pagaj

VeTek Semiconductor er en førende producent og innovator af High Purity SiC Cantilever Paddle i Kina. High Purity SiC Cantilever Paddles bruges almindeligvis i halvlederdiffusionsovne som wafer-overførsels- eller ladeplatforme. VeTek Semiconductor er forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

Lodret søjle wafer båd & piedestal

Som en professionel Vertical Column Wafer Boat & Pedestal producent og leverandør i Kina er Vetek Semiconductor's Vertical Column Wafer Boat & Pedestal lavet af højrent kvarts eller silicium carbon keramiske (SiC) materialer, med fremragende høj temperaturbestandighed, kemisk stabilitet og mekanisk styrke , og er en uundværlig kernekomponent i halvlederfremstillingsprocessen. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mere Send forespørgsel

Sammenhængende wafer båd

Vetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat er et avanceret udstyr til halvlederbehandling. Produktstrukturen af Contiguous Wafer Boat er omhyggeligt designet til at sikre effektiv behandling og produktion af præcisionswafers. Vetek Semiconductor er forpligtet til at levere fremragende teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

Horisontal SiC Wafer Carrier

VeTek Semiconductor er en professionel producent og leverandør af TaC-coated guidering, horisontal SiC wafer carrier og SiC-coated susceptorer i Kina. Vi er forpligtet til at levere perfekt teknisk support og ultimative produktløsninger til halvlederindustrien. Velkommen til at kontakte os.

Læs mere Send forespørgsel

SiC Wafer båd

VeTek Semiconductors SiC Wafer Boat er et meget højtydende produkt. Vores SiC Wafer Boat bruges normalt i halvlederoxidationsdiffusionsovne for at sikre, at temperaturen er jævnt fordelt på waferen og forbedre siliciumwaferens behandlingskvalitet. SiC-materialernes høje temperaturstabilitet og høje termiske ledningsevne sikrer effektiv og pålidelig halvlederbehandling. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

SiC procesrør

VeTek Semiconductor leverer højtydende SiC-procesrør til halvlederfremstilling. Vores SiC-procesrør udmærker sig i oxidations- og diffusionsprocesser. Med overlegen kvalitet og håndværk tilbyder disse rør højtemperaturstabilitet og termisk ledningsevne til effektiv halvlederbehandling. Vi tilbyder konkurrencedygtige priser og søger at være din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

<1 2 3 >

Som en professionel Ovn til oxidation og diffusion producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Ovn til oxidation og diffusion fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.