Kina Siliciumcarbid belægning producent, leverandør, fabrik

VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.

Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.

Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.

Reaktordele vi kan lave:

Siliciumcarbidbelægning flere unikke fordele:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom	Typisk værdi
Krystal struktur	FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
Tæthed	3,21 g/cm³
Hårdhed	2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Kornstørrelse	2~10μm
Kemisk renhed	99,99995 %
Varmekapacitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Bøjestyrke	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
Termisk ledningsevne	300W·m-1·K-1
Termisk ekspansion (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

Wafer Lift Pin

VeTek Semiconductor er en førende EPI Wafer Lift Pin-producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC-belægning på overfladen af grafit i mange år. Vi tilbyder en EPI Wafer Lift Pin til Epi-processen. Med høj kvalitet og konkurrencedygtig pris byder vi dig velkommen til at besøge vores fabrik i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

SiC Coated Barrel Susceptor

VeTek Semiconductor tilbyder et omfattende sæt af komponentløsninger til LPE siliciumepitaksi-reaktionskamre, der leverer lang levetid, stabil kvalitet og forbedret epitaksiallagsudbytte. Vores produkt såsom SiC Coated Barrel Susceptor modtog positionsfeedback fra kunder. Vi yder også teknisk support til Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy og mere. Spørg gerne for prisoplysninger.

Læs mere Send forespørgsel

Hvis EPI-modtageren

VeTek Semiconductor er en fabrik, der kombinerer præcisionsbearbejdning og halvleder SiC- og TaC-belægningsegenskaber. Tøndetypen Si Epi Susceptor giver mulighed for temperatur- og atmosfærekontrol, hvilket forbedrer produktionseffektiviteten i epitaksiale halvleder-vækstprocesser. Ser frem til at etablere et samarbejde med dig.

Læs mere Send forespørgsel

SiC Coated Epi-receptor

Som den førende indenlandske producent af siliciumcarbid- og tantalcarbid-belægninger er VeTek Semiconductor i stand til at levere præcisionsbearbejdning og ensartet belægning af SiC Coated Epi Susceptor, der effektivt kontrollerer renheden af belægningen og produktet under 5 ppm. Produktets levetid er sammenlignelig med SGL. Velkommen til at spørge os.

Læs mere Send forespørgsel

LPE SI EPI receptor sæt

VeTek Semiconductor er en førende LPE Si Epi Susceptor Set producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC coating og TaC coating i mange år. Vi tilbyder et LPE Si Epi Susceptor Set designet specielt til LPE PE2061S 4'' wafere. Den matchende grad af grafitmateriale og SiC-belægning er god, ensartetheden er fremragende, og levetiden er lang, hvilket kan forbedre udbyttet af epitaksial lagvækst under LPE-processen (Liquid Phase Epitaxy). Vi byder dig velkommen til at besøge vores fabrik i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

Aixtron G5 MOCVD Susceptorer

VeTek Semiconductor er en førende Aixtron G5 MOCVD Susceptor producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC coating materiale i mange år. Vi tilbyder en Aixtron G5 MOCVD Susceptor designet specielt til Aixtron G5 MOCVD reaktor. Dette Aixtron G5 MOCVD Susceptors-sæt er en alsidig og effektiv løsning til halvlederfremstilling med dens optimale størrelse, kompatibilitet og høje produktivitet. Velkommen til at spørge os.

Læs mere Send forespørgsel

<...6 7 8 9 10...12 >

Som en professionel Siliciumcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Siliciumcarbid belægning fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.