VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.
Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.
Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.
Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.
Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning | |
Ejendom | Typisk værdi |
Krystal struktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret |
Tæthed | 3,21 g/cm³ |
Hårdhed | 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kemisk renhed | 99,99995 % |
Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Velkommen til VeTek Semiconductor, din betroede producent af CVD SiC-belægninger. Vi sætter en ære i at tilbyde Aixtron SiC Coating Collector Top, som er ekspertdesignet ved hjælp af højrent grafit og har en avanceret CVD SiC-belægning med urenheder under 5 ppm. Tøv ikke med at kontakte os med spørgsmål eller forespørgsler
Læs mereSend forespørgselMed vores ekspertise inden for CVD SiC-belægningsfremstilling, præsenterer VeTek Semiconductor stolt Aixtron SiC Coating Collector Bottom. Disse SiC Coating Collector Bottom er konstrueret med høj renhed grafit og er belagt med CVD SiC, hvilket sikrer urenhed under 5 ppm. Du er velkommen til at kontakte os for yderligere information og forespørgsler.
Læs mereSend forespørgselHos VeTek Semiconductor er vi specialiseret i forskning, udvikling og industrialisering af CVD SiC-belægning og CVD TaC-belægning. Et eksemplarisk produkt er SiC Coating Cover Segments Inner, som gennemgår omfattende forarbejdning for at opnå en meget præcis og tæt belagt CVD SiC overflade. Denne belægning demonstrerer enestående modstandsdygtighed over for høje temperaturer og giver robust korrosionsbeskyttelse. Du er velkommen til at kontakte os for eventuelle forespørgsler.
Læs mereSend forespørgselVetek Semiconductor er dedikeret til fremme og kommercialisering af CVD SiC-belægning og CVD TaC-belægning. Som en illustration gennemgår vores SiC Coating Cover-segmenter en omhyggelig forarbejdning, hvilket resulterer i en tæt CVD SiC-belægning med enestående præcision. Det udviser bemærkelsesværdig modstandsdygtighed over for høje temperaturer og giver robust beskyttelse mod korrosion. Vi glæder os over dine henvendelser.
Læs mereSend forespørgselVetek Semiconductor fokuserer på forskning og udvikling og industrialisering af CVD SiC-belægning og CVD TaC-belægning. Tager man MOCVD Susceptor som et eksempel, er produktet stærkt forarbejdet med høj præcision, tæt CVD SIC-belægning, høj temperaturbestandighed og stærk korrosionsbestandighed. En forespørgsel til os er velkommen.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en innovator af SiC-belægningsproducenten i Kina. Forvarmering leveret af VeTek Semiconductor er designet til epitaksiproces. Den ensartede siliciumcarbidbelægning og high-end grafitmateriale som råmateriale sikrer ensartet aflejring og forbedrer kvaliteten og ensartetheden af det epitaksiale lag. Vi ser frem til at etablere et langsigtet samarbejde med dig.
Læs mereSend forespørgsel