MOCVD Acceptor

Som producent af CVD SiC-belægning vil VeTek Semiconductor gerne give dig Aixtron G5 MOCVD-susceptorer, som er lavet af grafit med høj renhed og CVD SiC-belægning (under 5 ppm).

Velkommen til at forespørge os.

Mikro LED-teknologi forstyrrer det eksisterende LED-økosystem med metoder og tilgange, der indtil nu kun er set i LCD- eller halvlederindustrien, og Aixtron G5 MOCVD-systemet understøtter perfekt disse strenge udvidelseskrav. Aixtron G5 er en kraftig MOCVD-reaktor designet primært til siliciumbaseret GaN-epitaksivækst.

Det er vigtigt, at alle producerede epitaksiale wafere har en meget stram bølgelængdefordeling og meget lave overfladedefektniveauer, hvilket kræver innovativ MOCVD-teknologi.

Aixtron G5 er et horisontalt planetskive-epitaksisystem, hovedsageligt planetskive, MOCVD-susceptor, dækring, loft, støttering, dækskive, udstødningskollektor, stiftskive, kollektorindløbsring osv., De vigtigste produktmaterialer er CVD SiC coating+ høj renhed grafit, halvleder kvarts, CVD TaC belægning + høj renhed grafit, stift filt og andre materialer.

MOCVD Susceptor funktioner er som følger:

Beskyttelse af basismateriale: CVD SiC-belægning fungerer som et beskyttende lag i den epitaksiale proces, som effektivt kan forhindre erosion og beskadigelse af det ydre miljø på basismaterialet, give pålidelige beskyttelsesforanstaltninger og forlænge udstyrets levetid.

Fremragende termisk ledningsevne: CVD SiC-belægningen har fremragende varmeledningsevne og kan hurtigt overføre varme fra basismaterialet til belægningsoverfladen, hvilket forbedrer den termiske styringseffektivitet under epitaksi og sikrer, at udstyret fungerer inden for det passende temperaturområde.

Forbedre filmkvaliteten: CVD SiC-belægning kan give en flad, ensartet overflade, hvilket giver et godt grundlag for filmvækst. Det kan reducere defekter forårsaget af gittermismatch, forbedre krystalliniteten og kvaliteten af ​​filmen og dermed forbedre ydeevnen og pålideligheden af ​​den epitaksiale film.

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning:

Industriel kæde:

Produktionsbutik