Hjem > Produkter > Siliciumcarbid belægning

Kina Siliciumcarbid belægning producent, leverandør, fabrik

VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.

Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.

Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.


Reaktordele vi kan lave:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Siliciumcarbidbelægning flere unikke fordele:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom Typisk værdi
Krystal struktur FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
Tæthed 3,21 g/cm³
Hårdhed 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Kornstørrelse 2~10μm
Kemisk renhed 99,99995 %
Varmekapacitet 640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Bøjestyrke 415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
Termisk ledningsevne 300W·m-1·K-1
Termisk ekspansion (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
SiC belagt piedestal

SiC belagt piedestal

Vetek Semiconductor er professionel i fremstilling af CVD SiC-belægning, TaC-belægning på grafit- og siliciumcarbidmateriale. Vi leverer OEM- og ODM-produkter som SiC-belagt piedestal, wafer-holder, wafer-patron, wafer-bærerbakke, planetarisk disk og så videre. Med 1000-klasses renrum og renseenhed kan vi give dig produkter med urenheder under 5 ppm. Ser frem til at høre fra dig snart.

Læs mereSend forespørgsel
SiC Coating Indløbsring

SiC Coating Indløbsring

Vetek Semiconductor udmærker sig ved at samarbejde tæt med kunder om at lave skræddersyede designs til SiC Coating-indløbsring skræddersyet til specifikke behov. Disse SiC Coating Indløbsring er omhyggeligt konstrueret til forskellige applikationer såsom CVD SiC-udstyr og siliciumcarbidepitaksi. For skræddersyede SiC Coating Inlet Ring-løsninger, tøv ikke med at kontakte Vetek Semiconductor for personlig assistance.

Læs mereSend forespørgsel
SiC-belagt støttering

SiC-belagt støttering

VeTek Semiconductor er en professionel Kina-producent og leverandør, der hovedsageligt producerer SiC-belagte støtteringe, CVD-siliciumcarbid (SiC) belægninger, tantalcarbid (TaC) belægninger, bulk SiC, SiC-pulvere og højrent SiC-materialer. Vi er forpligtet til at levere perfekt teknisk support og ultimative produktløsninger til halvlederindustrien, velkommen til at kontakte os.

Læs mereSend forespørgsel
Wafer Chuck

Wafer Chuck

Vetek Semiconductors wafer-patron spiller afgørende roller i halvlederproduktionen, hvilket muliggør hurtigt output af høj kvalitet. Med egen produktion, konkurrencedygtige priser og robust R&D-support udmærker Vetek Semiconductor sig i OEM/ODM-tjenester til præcisionskomponenter. Ser frem til din forespørgsel.

Læs mereSend forespørgsel
ALD Planetarisk Susceptor

ALD Planetarisk Susceptor

ALD-proces, betyder Atomic Layer Epitaxy-proces. Vetek Semiconductor- og ALD-systemproducenter har udviklet og produceret SiC-belagte ALD Planetary Susceptorer, der opfylder de høje krav fra ALD-processen til jævnt at fordele luftstrømmen over underlaget. Samtidig sikrer Vetek Semiconductors CVD SiC-belægning med høj renhed renhed i processen. Velkommen til at diskutere samarbejde med os.

Læs mereSend forespørgsel
SiC Coating Susceptor

SiC Coating Susceptor

Vetek Semiconductor fokuserer på forskning og udvikling og industrialisering af CVD SiC-belægning og CVD TaC-belægning. Tager man SiC-belægningssusceptor som et eksempel, er produktet stærkt forarbejdet med høj præcision, tæt CVD SIC-belægning, høj temperaturbestandighed og stærk korrosionsbestandighed. En forespørgsel til os er velkommen.

Læs mereSend forespørgsel
<...7891011...16>
Som en professionel Siliciumcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Siliciumcarbid belægning fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept