VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.
Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.
Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.
Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.
Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning | |
Ejendom | Typisk værdi |
Krystal struktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret |
Tæthed | 3,21 g/cm³ |
Hårdhed | 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kemisk renhed | 99,99995 % |
Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Vetek Semiconductor er professionel i fremstilling af CVD SiC-belægning, TaC-belægning på grafit- og siliciumcarbidmateriale. Vi leverer OEM- og ODM-produkter som SiC-belagt piedestal, wafer-holder, wafer-patron, wafer-bærerbakke, planetarisk disk og så videre. Med 1000-klasses renrum og renseenhed kan vi give dig produkter med urenheder under 5 ppm. Ser frem til at høre fra dig snart.
Læs mereSend forespørgselVetek Semiconductor udmærker sig ved at samarbejde tæt med kunder om at lave skræddersyede designs til SiC Coating-indløbsring skræddersyet til specifikke behov. Disse SiC Coating Indløbsring er omhyggeligt konstrueret til forskellige applikationer såsom CVD SiC-udstyr og siliciumcarbidepitaksi. For skræddersyede SiC Coating Inlet Ring-løsninger, tøv ikke med at kontakte Vetek Semiconductor for personlig assistance.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en professionel Kina-producent og leverandør, der hovedsageligt producerer SiC-belagte støtteringe, CVD-siliciumcarbid (SiC) belægninger, tantalcarbid (TaC) belægninger, bulk SiC, SiC-pulvere og højrent SiC-materialer. Vi er forpligtet til at levere perfekt teknisk support og ultimative produktløsninger til halvlederindustrien, velkommen til at kontakte os.
Læs mereSend forespørgselVetek Semiconductors wafer-patron spiller afgørende roller i halvlederproduktionen, hvilket muliggør hurtigt output af høj kvalitet. Med egen produktion, konkurrencedygtige priser og robust R&D-support udmærker Vetek Semiconductor sig i OEM/ODM-tjenester til præcisionskomponenter. Ser frem til din forespørgsel.
Læs mereSend forespørgselALD-proces, betyder Atomic Layer Epitaxy-proces. Vetek Semiconductor- og ALD-systemproducenter har udviklet og produceret SiC-belagte ALD Planetary Susceptorer, der opfylder de høje krav fra ALD-processen til jævnt at fordele luftstrømmen over underlaget. Samtidig sikrer Vetek Semiconductors CVD SiC-belægning med høj renhed renhed i processen. Velkommen til at diskutere samarbejde med os.
Læs mereSend forespørgselVetek Semiconductor fokuserer på forskning og udvikling og industrialisering af CVD SiC-belægning og CVD TaC-belægning. Tager man SiC-belægningssusceptor som et eksempel, er produktet stærkt forarbejdet med høj præcision, tæt CVD SIC-belægning, høj temperaturbestandighed og stærk korrosionsbestandighed. En forespørgsel til os er velkommen.
Læs mereSend forespørgsel