SiC-belagt støttering

VeTek Semiconductor, en førende producent og leverandør baseret i Kina, har specialiseret sig i at producere en række produkter, herunderSiC-belagte støtteringe, CVD-siliciumcarbidbelægninger, tantalcarbidbelægninger, bulk SiC, SiC-pulvere og højrent SiC-materialer. Vores dedikation ligger i at tilbyde omfattende teknisk assistance og optimale produktopløsninger skræddersyet til halvledersektoren. Du er velkommen til at kontakte os for yderligere information og hjælp.

VeTek Semiconductor’sSiC-belagte støtteringeer en ny generation af højtemperaturbestandige materialer. Som korrosionsbestandige belægninger, oxidationsbestandige belægninger og slidbestandige belægninger kan de bruges i miljøer over 1650 ℃ og er meget udbredt i halvlederområder.

Den høje kvalitet egenskaber vedSiC-belagte støtteringespiller en meget vigtig rolle i den epitaksiale vækst af tredje generations halvlederkomponenter.

Opretholdelse af ensartet temperatur: SiC-belagte støtteringe har fremragende varmeledningsevne og kan give ensartet temperaturfordeling under epitaksial vækst. Dette hjælper med at reducere termiske gradienter og spændinger på waferoverfladen og forbedrer derved kvaliteten af ​​det epitaksiale lag.

Ekstrem kemisk stabilitet: Under den epitaksiale vækstproces,SiC-belagte støtteringeer i stand til at modstå kemiske angreb fra reaktionsgasserne, forlænge levetiden af ​​støtteringene og bevare processens integritet. Denne kemiske stabilitet hjælper med at reducere risikoen for kontaminering og forbedrer renheden og ydeevnen af ​​halvlederenheder.

Præcis positionering: SiC-belagte støtteringe er i stand til at opretholde den præcise placering af waferen, hvilket er afgørende for at opnå ensartet lagaflejring. Denne præcise positionering hjælper med at sikre konsistensen af ​​tykkelsen og kvaliteten af ​​det epitaksiale lag.

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning:

VeTek Semiconductor Production Shop:

Oversigt over halvlederchip-epitaksi-industrikæden: