SiC Coated Support til LPE PE2061S

VeTek Semiconductor er en førende SiC Coated Support til LPE PE2061S producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC coating materiale i mange år. Vi tilbyder en SiC Coated Support til LPE PE2061S designet specifikt til LPE silicium epitaksereaktorer. Denne SiC Coated Support til LPE PE2061S er bunden af tønde susceptor. Den kan modstå 1600 grader Celsius høj temperatur, forlænge produktets levetid af grafit reservedel. Velkommen til at sende os forespørgsel.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Højkvalitets SiC Coated Support til LPE PE2061S tilbydes af den kinesiske producent VeTek Semiconductor. Køb SiC Coated Support til LPE PE2061S som er af høj kvalitet direkte til lav pris.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Support til LPE PE2061S i siliciumepitaksiudstyr, brugt i forbindelse med en susceptor af tøndetype til at understøtte og holde de epitaksiale wafere (eller substrater) under den epitaksiale vækstproces.

Bundpladen bruges hovedsageligt med tøndepitaksialovnen, tøndeepitaksialovnen har et større reaktionskammer og en højere produktionseffektivitet end den flade epitaksiale susceptor.

Støtten har et rundt huldesign og bruges primært til udstødningsudløb inde i reaktoren.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Support til LPE PE2061S er til Liquid Phase Epitaxy (LPE) reaktorsystem, med høj renhed, ensartet belægning, høj temperatur stabilitet, korrosionsbestandighed, høj hårdhed, fremragende termisk ledningsevne, lav termisk ekspansionskoefficient og kemisk inerthed .

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning:

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom	Typisk værdi
Krystal struktur	FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
Massefylde	3,21 g/cm³
Hårdhed	2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Kornstørrelse	2~10μm
Kemisk renhed	99,99995 %
Varmekapacitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700℃
Bøjningsstyrke	415 MPa RT 4-punkt
Youngs modul	430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
Varmeledningsevne	300W·m-1·K-1
Termisk ekspansion (CTE)	4,5×10-6K-1