SiC Coated Pandekage Susceptor til LPE PE3061S 6'' Wafers

SiC Coated Pancake Susceptor til LPE PE3061S 6'' wafers er en af kernekomponenterne, der bruges i 6'' wafers epitaksial wafer-behandling. VeTek Semiconductor er i øjeblikket en førende producent og leverandør af SiC Coated Pancake Susceptor til LPE PE3061S 6'' wafere i Kina. Den SiC Coated Pancake Susceptor, den giver, har fremragende egenskaber såsom høj korrosionsbestandighed, god termisk ledningsevne og god ensartethed. Ser frem til din forespørgsel.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Som den professionelle producent vil VeTek Semiconductor gerne give dig højkvalitets SiC Coated Pancake Susceptor til LPE PE3061S 6'' wafere.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor til LPE PE3061S 6" wafere er et kritisk udstyr, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser.

SiC Coated Pandekage Susceptor til LPE PE3061S 6" wafers Produktegenskaber:

Højtemperaturstabilitet: SiC udviser fremragende højtemperaturstabilitet og bevarer sin struktur og ydeevne i højtemperaturmiljøer.

Fremragende varmeledningsevne: SiC har enestående varmeledningsevne, hvilket muliggør hurtig og ensartet varmeoverførsel til hurtig og jævn opvarmning.

Korrosionsbestandighed: SiC har fremragende kemisk stabilitet, modstår korrosion og oxidation i forskellige varmemiljøer.

Ensartet opvarmningsfordeling: SiC-belagt waferbærer giver ensartet varmefordeling, hvilket sikrer ensartet temperatur over overfladen af waferen under opvarmning.

Velegnet til halvlederproduktion: Si-epitaksi-waferbærer er meget udbredt i halvlederfremstillingsprocesser, især til Si-epitaksevækst og andre højtemperaturopvarmningsprocesser.

Produktfordele:

Forbedret produktionseffektivitet: SiC-belagt pandekagesusceptor muliggør hurtig og ensartet opvarmning, reducerer opvarmningstiden og forbedrer produktionseffektiviteten.

Sikret produktkvalitet: Ensartet opvarmningsfordeling sikrer ensartethed under waferbehandling, hvilket fører til forbedret produktkvalitet.

Forlænget udstyrs levetid: SiC-materiale tilbyder fremragende varmebestandighed og kemisk stabilitet, hvilket bidrager til en længere levetid for pandekagemodtageren.

Skræddersyede løsninger: SiC-belagt susceptor, Si epitaxy wafer-bærer kan skræddersyes til forskellige størrelser og specifikationer baseret på kundens krav.

cvd-sic-coating-film-crystal-structure

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning:

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom	Typisk værdi
Krystal struktur	FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
Tæthed	3,21 g/cm³
Hårdhed	2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Kornstørrelse	2~10μm
Kemisk renhed	99,99995 %
Varmekapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimeringstemperatur	2700℃
Bøjestyrke	415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul	430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
Termisk ledningsevne	300W·m^-1·K^-1
Termisk udvidelse (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VeTek Semiconductor Production Shop

Oversigt over halvlederchip-epitaksi-industrikæden:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Hot Tags: SiC-belagt pandekageoptager til LPE PE3061S 6'' wafers, Kina, producent, leverandør, fabrik, tilpasset, køb, avanceret, holdbar, fremstillet i Kina

Produkt Tag

Relateret kategori