SiC Coated Pandekage Susceptor til LPE PE3061S 6'' Wafers

VeTek Semiconductor er en førende SiC Coated Pancake Susceptor til LPE PE3061S 6'' wafers producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC coating materiale i mange år. Vi tilbyder en SiC coated pandekage susceptor designet specifikt til LPE PE3061S 6" wafers . Denne epitaksiale susceptor har høj korrosionsbestandighed, god varmeledningsevne, god ensartethed. Vi byder dig velkommen til at besøge vores fabrik i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Som den professionelle producent vil VeTek Semiconductor gerne give dig højkvalitets SiC Coated Pancake Susceptor til LPE PE3061S 6'' wafere.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor til LPE PE3061S 6" wafere er et kritisk udstyr, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser.

SiC Coated Pandekage Susceptor til LPE PE3061S 6" wafere Produktegenskaber:

Højtemperaturstabilitet: SiC udviser fremragende højtemperaturstabilitet, bevarer sin struktur og ydeevne i højtemperaturmiljøer.

Enestående termisk ledningsevne: SiC har enestående varmeledningsevne, hvilket muliggør hurtig og ensartet varmeoverførsel til hurtig og jævn opvarmning.

Korrosionsbestandighed: SiC har fremragende kemisk stabilitet, modstår korrosion og oxidation i forskellige varmemiljøer.

Ensartet opvarmningsfordeling: SiC-belagt waferbærer giver ensartet varmefordeling, hvilket sikrer ensartet temperatur over overfladen af waferen under opvarmning.

Velegnet til halvlederproduktion: Si-epitaksi-waferbærer er meget udbredt i halvlederfremstillingsprocesser, især til Si-epitaksivækst og andre højtemperaturopvarmningsprocesser.

Produktfordele:

Forbedret produktionseffektivitet: SiC-belagt pandekagesusceptor muliggør hurtig og ensartet opvarmning, reducerer opvarmningstiden og forbedrer produktionseffektiviteten.

Sikret produktkvalitet: Ensartet opvarmningsfordeling sikrer ensartethed under waferbehandling, hvilket fører til forbedret produktkvalitet.

Forlænget udstyrs levetid: SiC-materiale tilbyder fremragende varmebestandighed og kemisk stabilitet, hvilket bidrager til en længere levetid for pandekagemodtageren.

Skræddersyede løsninger: SiC-belagt susceptor, Si epitaxy wafer-bærer kan skræddersyes til forskellige størrelser og specifikationer baseret på kundens krav.

SEM data and structure of CVD SIC films

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning:

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom	Typisk værdi
Krystal struktur	FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
Tæthed	3,21 g/cm³
Hårdhed	2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Kornstørrelse	2~10μm
Kemisk renhed	99,99995 %
Varmekapacitet	640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur	2700 ℃
Bøjestyrke	415 MPa RT 4-punkt
Youngs modul	430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
Termisk ledningsevne	300W·m-1·K-1
Termisk udvidelse (CTE)	4,5×10-6K-1

VeTek Semiconductor Production Shop

Oversigt over halvlederchip-epitaksi-industrikæden:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Hot Tags: SiC-belagt pandekageoptager til LPE PE3061S 6'' wafers, Kina, producent, leverandør, fabrik, tilpasset, køb, avanceret, holdbar, fremstillet i Kina