Solid SiC gas brusehoved

VeTek Semiconductor er en førende producent og innovatør af solidt SiC-gasbrusehoved i Kina. Vi har været specialiseret i halvledermateriale i mange år.VeTek Semiconductor Solid SiC-gasbrusehoveds design med flere porøsitet sikrer, at den varme, der genereres i CVD-processen, kan spredes , der sikrer, at underlaget opvarmes jævnt. Vi ser frem til at etablere langsigtet med dig i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Solid SiC gas brusehoved

VeTek Semiconductor er en integreret virksomhed dedikeret til forskning, produktion og salg. Med over 20 års erfaring er vores team specialiseret i SiC, TaC-belægninger og CVD Solid SiC. Velkommen til at købe hos os Solid SiC Gas Brusehoved.

VeTek Semiconductor Solid SiC-gasbrusehoved bruges almindeligvis til at fordele forstadiegasser jævnt på substratoverfladen under halvleder-CVD-processer. Brug af CVD-SiC-materiale til brusehoveder giver flere fordele. Dens høje termiske ledningsevne hjælper med at sprede varme genereret i CVD-processen, hvilket sikrer ensartet temperaturfordeling på substratet. Derudover gør Solid SiC-gasbrusehovedets kemiske stabilitet det i stand til at modstå ætsende gasser og barske miljøer, der almindeligvis forekommer i CVD-processer. Designet af CVD-SiC brusehoveder kan skræddersyes til specifikke CVD-systemer og proceskrav. De består dog typisk af en plade- eller skiveformet komponent med en række præcisionsborede huller eller slidser. Hulmønsteret og geometrien er omhyggeligt designet til at sikre ensartet gasfordeling og strømningshastighed over substratoverfladen.

Fysiske egenskaber af fast SiC

Fysiske egenskaber af fast SiC
Massefylde	3.21	g/cm3
Elektricitetsresistivitet	102	Ω/cm
Bøjningsstyrke	590	MPa	(6000 kgf/cm2)
Youngs modul	450	GPa	(6000 kgf/mm2)
Vickers hårdhed	26	GPa	(2650 kgf/mm2)
C.T.E. (RT-1000℃)	4.0	x10-6/K
Termisk ledningsevne (RT)	250	W/mK