Solid SiC gas brusehoved

Solid SiC gas brusehoved

VeTek Semiconductor er en integreret virksomhed dedikeret til forskning, produktion og salg. Med over 20 års erfaring er vores team specialiseret i SiC, TaC-belægninger og CVD Solid SiC. Velkommen til at købe hos os Solid SiC Gas Brusehoved.

VeTek Semiconductor Solid SiC-gasbrusehoved bruges almindeligvis til at fordele forstadiegasser jævnt på substratoverfladen under halvleder-CVD-processer. Brug af CVD-SiC-materiale til brusehoveder giver flere fordele. Dens høje termiske ledningsevne hjælper med at sprede varme genereret i CVD-processen, hvilket sikrer ensartet temperaturfordeling på underlaget. Derudover gør CVD sic brusehovedets kemiske stabilitet det i stand til at modstå ætsende gasser og barske miljøer, der almindeligvis forekommer i CVD-processer. 

Designet af CVD SiC brusehoveder kan skræddersyes til specifikke CVD-systemer og proceskrav. De består dog typisk af en plade- eller skiveformet komponent med en række præcisionsborede huller eller slidser. Hulmønsteret og geometrien er omhyggeligt designet til at sikre ensartet gasfordeling og strømningshastighed over substratoverfladen.

Fysiske egenskaber af fast SiC