Hjem > Produkter > Siliciumcarbid belægning

Kina Siliciumcarbid belægning producent, leverandør, fabrik

VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.

Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.

Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.


Reaktordele vi kan lave:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Siliciumcarbidbelægning flere unikke fordele:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom Typisk værdi
Krystal struktur FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
Tæthed 3,21 g/cm³
Hårdhed 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Kornstørrelse 2~10μm
Kemisk renhed 99,99995 %
Varmekapacitet 640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Bøjestyrke 415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
Termisk ledningsevne 300W·m-1·K-1
Termisk ekspansion (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
LPE Halfmoon SiC EPI-reaktor

LPE Halfmoon SiC EPI-reaktor

VeTek Semiconductor er en professionel LPE Halfmoon SiC EPI Reactor produktproducent, innovator og leder i Kina. LPE Halfmoon SiC EPI Reactor er en enhed, der er specielt designet til fremstilling af højkvalitets siliciumcarbid (SiC) epitaksiale lag, hovedsagelig brugt i halvlederindustrien. VeTek Semiconductor er forpligtet til at levere førende teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien og hilser dine yderligere forespørgsler velkommen.

Læs mereSend forespørgsel
Aixtron MOCVD-receptor

Aixtron MOCVD-receptor

Som en professionel Aixtron MOCVD Susceptor producent og leverandør i Kina, er Vetek Semiconductor's Aixtron MOCVD Susceptor meget udbredt i tyndfilmaflejringsprocessen i halvlederproduktion, især involverer MOCVD-processen. Vetek Semiconductor fokuserer på at fremstille og levere højtydende Aixtron MOCVD Susceptor-produkter. Velkommen til din forespørgsel.

Læs mereSend forespørgsel
siliciumcarbid keramisk belægning grafit varmelegeme

siliciumcarbid keramisk belægning grafit varmelegeme

Som en professionel siliciumcarbid keramisk belægning grafitvarmer producent og leverandør i Kina, er Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater en højtydende varmelegeme lavet af grafitsubstrat og belagt med silicium carbon keramisk (SiC) belægning på overfladen. Med sit kompositmaterialedesign giver dette produkt fremragende varmeløsninger inden for halvlederfremstilling. Velkommen til din forespørgsel.

Læs mereSend forespørgsel
varmelegeme i siliciumcarbid keramisk belægning

varmelegeme i siliciumcarbid keramisk belægning

VeTek Semiconductor er en professionel producent af siliciumcarbid keramisk belægningsvarmer i Kina. Den keramiske siliciumcarbidbelægningsvarmer er hovedsageligt designet til de høje temperaturer og det barske miljø inden for halvlederfremstilling. Dets ultrahøje smeltepunkt, fremragende korrosionsbestandighed og enestående varmeledningsevne bestemmer dette produkts uundværlighed i halvlederproduktionsprocessen. Vi håber oprigtigt at etablere et langsigtet forretningsforhold med dig.

Læs mereSend forespørgsel
Siliciumcarbid keramisk belægning

Siliciumcarbid keramisk belægning

Som en professionel producent og leverandør af siliciumcarbid keramisk belægning i Kina, er Vetek Semiconductors keramiske siliciumcarbidbelægning i vid udstrækning brugt på nøglekomponenter i halvlederfremstillingsudstyr, især når CVD- og PECVD-processer er involveret. Velkommen til din forespørgsel.

Læs mereSend forespørgsel
EPI-modtager

EPI-modtager

VeTek Semiconductors EPI-susceptor er designet til krævende epitaksialudstyrsapplikationer. Dens højrent siliciumcarbid (SiC) belagt grafitstruktur tilbyder fremragende varmebestandighed, ensartet termisk ensartethed for ensartet epitaksial lagtykkelse og modstandsdygtighed og langvarig kemisk resistens. Vi ser frem til at samarbejde med dig.

Læs mereSend forespørgsel
Som en professionel Siliciumcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Siliciumcarbid belægning fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept