VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.
Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.
Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.
Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.
Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning | |
Ejendom | Typisk værdi |
Krystal struktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret |
Tæthed | 3,21 g/cm³ |
Hårdhed | 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kemisk renhed | 99,99995 % |
Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
CVD SiC coated wafer Barrel holder er nøglekomponenten i epitaksial vækstovn, der er meget udbredt i MOCVD epitaksial vækstovne. VeTek Semiconductor giver dig meget tilpassede produkter. Uanset hvad dine behov er for CVD SiC coated wafer Barrel holder, velkommen til at kontakte os.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor CVD SiC belægning tønde susceptor er kernekomponenten i den tønde type epitaksial ovn.Ved hjælp af CVD SiC belægning tønde susceptor, er mængden og kvaliteten af epitaksial vækst stærkt forbedret.VeTek Semiconductor er en professionel producent og leverandør af SiC Coated Barrel Susceptor, og er på det førende niveau i Kina og endda i verden.VeTek Semiconductor ser frem til at etablere et tæt samarbejde med dig i halvlederindustrien.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor CVD SiC coating wafer Epi susceptor er en uundværlig komponent til SiC-epitaksevækst, der tilbyder overlegen termisk styring, kemisk resistens og dimensionsstabilitet. Ved at vælge VeTek Semiconductors CVD SiC coating wafer Epi susceptor, forbedrer du ydeevnen af dine MOCVD processer, hvilket fører til produkter af højere kvalitet og større effektivitet i din halvlederproduktion. Velkommen til dine yderligere forespørgsler.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor CVD SiC coating grafit susceptor er en af de vigtige komponenter i halvlederindustrien, såsom epitaksial vækst og waferbehandling. Det bruges i MOCVD og andet udstyr til at understøtte forarbejdning og håndtering af wafers og andre højpræcisionsmaterialer. VeTek Semiconductor har Kinas førende SiC-belagt grafit-susceptor og TaC-coated grafit-susceptor-produktion og -produktion, og ser frem til din konsultation.
Læs mereSend forespørgselCVD SiC-belægning Varmeelement spiller en kernerolle i opvarmningsmaterialer i PVD-ovne (Evaporation Deposition). VeTek Semiconductor er en førende CVD SiC-belagt varmeelementproducent i Kina. Vi har avancerede CVD-belægningskapaciteter og kan give dig tilpassede CVD SiC-belægningsprodukter. VeTek Semiconductor ser frem til at blive din partner inden for SiC-belagt varmeelement.
Læs mereSend forespørgselRoterende susceptor af høj renhed af grafit spiller en vigtig rolle i den epitaksielle vækst af galliumnitrid (MOCVD-proces). VeTek Semiconductor er en førende grafit roterende susceptor producent og leverandør i Kina. Vi har udviklet mange højrente grafitprodukter baseret på højrente grafitmaterialer, som fuldt ud opfylder kravene fra halvlederindustrien. VeTek Semiconductor ser frem til at blive din partner i Rotating Graphite susceptor.
Læs mereSend forespørgsel