Hjem > Produkter > Siliciumcarbid belægning

Kina Siliciumcarbid belægning producent, leverandør, fabrik

VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.

Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.

Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.

Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.


Reaktordele vi kan lave:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Siliciumcarbidbelægning flere unikke fordele:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter:

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom Typisk værdi
Krystal struktur FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
Tæthed 3,21 g/cm³
Hårdhed 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Kornstørrelse 2~10μm
Kemisk renhed 99,99995 %
Varmekapacitet 640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Bøjestyrke 415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
Termisk ledningsevne 300W·m-1·K-1
Termisk ekspansion (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
SiC Coating Wafer Carrier

SiC Coating Wafer Carrier

Som en professionel SiC coating wafer carrier producent og leverandør i Kina, bruges Vetek Semiconductors SiC coating wafer carriers hovedsageligt til at forbedre vækstens ensartethed af epitaksialt lag, hvilket sikrer deres stabilitet og integritet i høje temperaturer og korrosive miljøer. Ser frem til din forespørgsel.

Læs mereSend forespørgsel
ALD-receptor

ALD-receptor

VeTek Semiconductor er en professionel producent af ALD Susceptor, CVD SiC belægning, CVD TAC COATING grafitbase i Kina. Vetek Semiconductor udviklede og producerede i fællesskab SiC-belagte ALD-planetbaser med ALD-systemproducenter for at opfylde de høje krav til ALD-processen og jævnt fordele luftstrømmen på underlaget. Vi ser frem til yderligere samarbejde med dig.

Læs mereSend forespørgsel
CVD SiC Coated Loft

CVD SiC Coated Loft

Som en professionel CVD SiC-belagt loftproducent og -leverandør i Kina har VeTek Semiconductors CVD SiC-belagt loft fremragende egenskaber såsom høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, høj hårdhed og lav termisk udvidelseskoefficient, hvilket gør det til et ideelt materialevalg i halvlederfremstilling. Vi ser frem til yderligere samarbejde med dig.

Læs mereSend forespørgsel
MOCVD LED Epi Susceptor

MOCVD LED Epi Susceptor

VeTek Semiconductor er en professionel producent af MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor i Kina. VeTek Semiconductors MOCVD LED Epi Susceptor er designet til krævende epitaksialudstyrsapplikationer. Dens høje termiske ledningsevne, kemiske stabilitet og holdbarhed er nøglefaktorer for at sikre en stabil epitaksial vækstproces og højkvalitets halvlederfilmproduktion. Vi ser frem til yderligere samarbejde med dig.

Læs mereSend forespørgsel
SiC belægning ALD susceptor

SiC belægning ALD susceptor

Som en professionel SiC belægning ALD susceptor producent og leverandør i Kina, er VeTek Semiconductor's SiC belægning ALD susceptor en støttekomponent, der specifikt bruges i atomlagsdeposition (ALD) processen. Det spiller en nøglerolle i ALD-udstyret og sikrer ensartetheden og præcisionen af ​​deponeringsprocessen. Vi tror på, at vores ALD Planetary Susceptor-produkter kan give dig produktløsninger af høj kvalitet.

Læs mereSend forespørgsel
SiC Coating Epi modtager

SiC Coating Epi modtager

VeTek Semiconductor er en førende producent, innovator og leder af SiC Coating Epi Susceptor-produkter i Kina. I mange år har vi fokuseret på forskellige SiC Coating produkter såsom SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, SiC Coating Susceptor, SiC coating ALD susceptor osv. VeTek Semiconductor er forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederen industri. Velkommen til din videre konsultation.

Læs mereSend forespørgsel
Som en professionel Siliciumcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Siliciumcarbid belægning fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept