VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.
Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.
Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.
Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.
Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning | |
Ejendom | Typisk værdi |
Krystal struktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret |
Tæthed | 3,21 g/cm³ |
Hårdhed | 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kemisk renhed | 99,99995 % |
Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Som en professionel SiC coating wafer carrier producent og leverandør i Kina, bruges Vetek Semiconductors SiC coating wafer carriers hovedsageligt til at forbedre vækstens ensartethed af epitaksialt lag, hvilket sikrer deres stabilitet og integritet i høje temperaturer og korrosive miljøer. Ser frem til din forespørgsel.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en professionel producent af ALD Susceptor, CVD SiC belægning, CVD TAC COATING grafitbase i Kina. Vetek Semiconductor udviklede og producerede i fællesskab SiC-belagte ALD-planetbaser med ALD-systemproducenter for at opfylde de høje krav til ALD-processen og jævnt fordele luftstrømmen på underlaget. Vi ser frem til yderligere samarbejde med dig.
Læs mereSend forespørgselSom en professionel CVD SiC-belagt loftproducent og -leverandør i Kina har VeTek Semiconductors CVD SiC-belagt loft fremragende egenskaber såsom høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, høj hårdhed og lav termisk udvidelseskoefficient, hvilket gør det til et ideelt materialevalg i halvlederfremstilling. Vi ser frem til yderligere samarbejde med dig.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en professionel producent af MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor i Kina. VeTek Semiconductors MOCVD LED Epi Susceptor er designet til krævende epitaksialudstyrsapplikationer. Dens høje termiske ledningsevne, kemiske stabilitet og holdbarhed er nøglefaktorer for at sikre en stabil epitaksial vækstproces og højkvalitets halvlederfilmproduktion. Vi ser frem til yderligere samarbejde med dig.
Læs mereSend forespørgselSom en professionel SiC belægning ALD susceptor producent og leverandør i Kina, er VeTek Semiconductor's SiC belægning ALD susceptor en støttekomponent, der specifikt bruges i atomlagsdeposition (ALD) processen. Det spiller en nøglerolle i ALD-udstyret og sikrer ensartetheden og præcisionen af deponeringsprocessen. Vi tror på, at vores ALD Planetary Susceptor-produkter kan give dig produktløsninger af høj kvalitet.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende producent, innovator og leder af SiC Coating Epi Susceptor-produkter i Kina. I mange år har vi fokuseret på forskellige SiC Coating produkter såsom SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, SiC Coating Susceptor, SiC coating ALD susceptor osv. VeTek Semiconductor er forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederen industri. Velkommen til din videre konsultation.
Læs mereSend forespørgsel