SiC Coating Wafer Carrier

Vetek Semiconductor har specialiseret sig i at fremstille og levere højtydende SiC-coating wafer-bærere og er forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien.

I halvlederfremstilling er Vetek Semiconductors SiC-belægningswaferbærer en nøglekomponent i udstyr til kemisk dampaflejring (CVD), især i udstyr til organisk kemisk dampaflejring (MOCVD). Dens hovedopgave er at støtte og opvarme enkeltkrystalsubstratet, så det epitaksiale lag kan vokse ensartet. Dette er afgørende for fremstilling af højkvalitets halvlederenheder.

Korrosionsbestandigheden af ​​SiC-belægning er meget god, hvilket effektivt kan beskytte grafitbasen mod ætsende gasser. Dette er især vigtigt i høje temperaturer og korrosive miljøer. Derudover er den termiske ledningsevne af SiC-materiale også meget fremragende, som jævnt kan lede varme og sikre ensartet temperaturfordeling og derved forbedre vækstkvaliteten af ​​epitaksiale materialer.

SiC-belægning bevarer kemisk stabilitet i høj temperatur og korrosiv atmosfære, hvilket undgår problemet med belægningsfejl. Endnu vigtigere er den termiske udvidelseskoefficient for SiC ligner den for grafit, hvilket kan undgå problemet med belægningstab på grund af termisk udvidelse og sammentrækning og sikre den langsigtede stabilitet og pålidelighed af belægningen.

Grundlæggende fysiske egenskaber vedSiC Coating Wafer Carrier:

Produktionsbutik:

Oversigt over halvlederchip-epitaksi-industrikæden: