VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.
Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.
Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.
Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.
Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning | |
Ejendom | Typisk værdi |
Krystal struktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret |
Tæthed | 3,21 g/cm³ |
Hårdhed | 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning) |
Kornstørrelse | 2~10μm |
Kemisk renhed | 99,99995 % |
Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
Termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor er en førende producent og leverandør af MOCVD SiC-belægningssusceptorer i Kina, med fokus på F&U og produktion af SiC-belægningsprodukter i mange år. Vores MOCVD SiC-belægningssusceptorer har fremragende højtemperaturtolerance, god termisk ledningsevne og lav termisk udvidelseskoefficient, hvilket spiller en nøglerolle i at understøtte og opvarme silicium- eller siliciumcarbidwafere (SiC) og ensartet gasaflejring. Velkommen til at høre nærmere.
Læs mereSend forespørgselSom en professionel halvlederproducent og -leverandør kan VeTek Semiconductor levere en række grafitkomponenter, der kræves til SiC epitaksiale vækstsystemer. Disse SiC-belægningshalvmånegrafitdele er designet til gasindløbssektionen af epitaksialreaktoren og spiller en afgørende rolle i optimering af halvlederfremstillingsprocessen. VeTek Semiconductor stræber altid efter at give kunderne de bedste kvalitetsprodukter til de mest konkurrencedygtige priser. VeTek Semiconductor ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor Hot Zone grafitvarmer er designet til at håndtere de ekstreme forhold i højtemperaturovne og opretholde fremragende ydeevne og stabilitet i komplekse processer såsom kemisk dampaflejring (CVD), epitaksial vækst og højtemperaturudglødning. VeTekSemi fokuserer altid på at producere og levere højkvalitets Hot Zone grafitvarmere for at sikre den bedste omkostningseffektivitet for kunderne. Vi inviterer dig oprigtigt til at kontakte os.
Læs mereSend forespørgselVeTek Semiconductor er en førende producent og leverandør af VEECO MOCVD-varmerprodukter i Kina. MOCVD-varmeren har fremragende kemisk renhed, termisk stabilitet og korrosionsbestandighed. Det er et uundværligt produkt i processen med metalorganisk kemisk dampaflejring (MOCVD). Velkommen til dine yderligere forespørgsler.
Læs mereSend forespørgselSom en førende producent og leverandør af VEECO MOCVD Susceptor-produkter i Kina repræsenterer VeTek Semiconductors MOCVD Susceptor toppen af innovation og ingeniørmæssig ekspertise, specielt tilpasset til at opfylde de komplekse krav i moderne halvlederfremstillingsprocesser. Velkommen til dine yderligere forespørgsler.
Læs mereSend forespørgselSom en avanceret SiC-forseglingsdel-produktproducent og fabrik i Kina. VeTek Semiconducto SiC Sealing Part er en højtydende tætningskomponent, der er meget udbredt i halvlederbehandling og andre ekstreme høje temperaturer og højtryksprocesser. Velkommen til din videre konsultation.
Læs mereSend forespørgsel